1.一種在由固態(tài)材料形成的物品的外表面上形成非光學可檢測的可識別標記的方法,所述方法包括以下步驟:
(i)在對由固態(tài)材料形成的物品的外表面涂敷的光致抗蝕劑的預定區(qū)域內形成多個凹部,
其中,通過雙光子吸收光刻來形成所述多個凹部,并且
其中,一個或多個所述凹部至少部分地通過所述光致抗蝕劑、并且從所述光致抗蝕劑的外表面、以及朝向由固態(tài)材料形成的所述物品的所述外表面來延伸;以及
(iii)應用蝕刻處理,以致使得所述物品的所述外表面的至少一部分被暴露并且被蝕刻,以便形成從所述物品的外表面延伸到所述物品中的并且對應于所述多個凹部的多個被蝕刻部分;
其中,所述光致抗蝕劑的所述預定區(qū)域限定將被施加到所述物品的外表面的可識別標記;
其中,所述多個被蝕刻部分在所述物品的外表面上形成所述非光學可識別標記;并且
其中,所述被蝕刻部分的最大寬度小于200nm,以致使得所述可識別標記在可見光光譜中是非光學可檢測的。
2.根據權利要求1所述的方法,其中,
所述多個凹部中的一個或多個凹部延伸通過所述光致抗蝕劑,并且由此提供貫穿其中的一個或多個孔,并且
在應用所述蝕刻處理之前提供所述物品的所述外表面的一個或多個暴露部分,以致使得與所述一個或多個孔對應的被蝕刻部分在所述物品中的深度具有大致相同的深度。
3.根據權利要求1所述的方法,其中,
在應用所述蝕刻處理之前,所述凹部以相對于彼此而不同的深度來延伸通過所述光致抗蝕劑,以致使得所述被蝕刻部分在所述物品中具有不同的深度。
4.根據前述權利要求中的任一項所述的方法,其中,
所述光致抗蝕劑具有在從10nm至500μm的范圍內的厚度。
5.根據前述權利要求中的任一項所述的方法,其中,
所述凹部具有在從10nm至200nm以下的范圍內的最大寬度。
6.根據前述權利要求中的任一項所述的方法,其中,
所述被蝕刻部分具有在大約5nm至大約30nm的范圍內的深度。
7.根據前述權利要求中的任一項所述的方法,其中,
在光致抗蝕劑的所述預定區(qū)域內,相對于彼此以非周期和非均勻的排列來布置所述多個凹部中的凹部。
8.根據前述權利要求中的任一項所述的方法,其中,
所述光致抗蝕劑具有均勻厚度。
9.根據權利要求1至7中的任一項所述的方法,其中,
所述光致抗蝕劑具有非均勻厚度。
10.根據前述權利要求中的任一項所述的方法,其中,
所述多個凹部的孔是相同寬度。
11.根據前述權利要求中的任一項所述的方法,其中,
所述多個凹部中的凹部具有非均勻寬度。
12.根據前述權利要求中的任一項所述的方法,其中,
由多個相鄰凹部來形成一個或多個凹部。
13.根據前述權利要求中的任一項所述的方法,其中,
所述蝕刻處理是等離子蝕刻處理。
14.根據前述權利要求中的任一項所述的方法,其中,
所述蝕刻處理是縱橫比決定蝕刻(ARDE)微波等離子體蝕刻。
15.根據權利要求14所述的方法,其中,
在所述蝕刻處理期間施加射頻(RF)偏置。
16.根據權利要求1至12中的任一項所述的方法,其中,
所述蝕刻處理是反應離子蝕刻(RIE)處理。
17.根據權利要求1至13中的任一項所述的方法,其中,
所述蝕刻處理是電感耦合等離子體(ICP)蝕刻處理。
18.根據權利要求1至12中的任一項所述的方法,其中,
所述蝕刻處理是聚焦離子束(FIB)蝕刻處理。
19.根據權利要求1至12中的任一項所述的方法,其中,
所述蝕刻處理是氦離子顯微鏡(HIM)蝕刻處理。
20.根據前述權利要求中的任一項所述的方法,其中,
所述固態(tài)材料選自包括寶石的組。
21.根據前述權利要求中的任一項所述的方法,其中,
所述固態(tài)材料是鉆石。
22.根據前述權利要求中的任一項所述的方法,其中,
所述固態(tài)材料包括珍珠、硅、合成藍寶石等。
23.根據權利要求1至22中的任一項所述的方法,其中,
所述固態(tài)材料是基于藍寶石的材料。
24.根據權利要求23所述的方法,其中,
所述蝕刻處理包括存在有氯氣、三氯化硼(BCl3)氣體或其組合。
25.根據前述權利要求中的任一項所述的方法,
其中,相對于被形成在所述物品的外表面上的光學可識別標記,在所述物品的外表面以預定空間排列來形成所述非光學可識別標記,
其中,對所述光學可檢測標記的檢測允許通過參考所述預定空間排列來進行所述非光學標記的后續(xù)檢測。
26.根據權利要求1至24中的任一項所述的方法,
其中,在所述物品的外表面,以具有所述物品的光學可識別屬性的預定空間排列來形成所述非光學可識別標記,
其中,具有所述物品的所述光學可識別屬性的所述空間排列允許通過參考關于所述物品的所述光學可識別屬性的所述預定空間排列來進行所述非光學標記的后續(xù)檢測。
27.根據前述權利要求中的任一項所述的方法,其中,
所述可識別標記是在可見光光譜中非光學可檢測的,并且是在紫外(UV)光譜中可觀察到的。
28.根據權利要求27所述的方法,其中,
所述可識別標記是通過微分干涉對比(DIC)顯微鏡或掃描電子顯微鏡(SEM)可觀察到的。
29.一種由固態(tài)材料形成的物品,在所述物品上具有非光學可檢測的可識別標記,其中,
所述非光學可檢測的可識別標記被通過根據權利要求1至20中的任一項所述的方法而施加到所述固態(tài)材料。
30.根據權利要求29所述的物品,其中,
所述固態(tài)材料選自包括寶石的組。
31.根據權利要求29或權利要求30所述的物品,其中,
所述固態(tài)材料是鉆石。
32.根據權利要求29至31中的任一項所述的物品,其中,
所述固態(tài)材料包括珍珠、硅、合成藍寶石等。
33.根據權利要求29至32中的任一項所述的物品,其中,
所述非光學可檢測的可識別標記是在可見光光譜中非光學可檢測的,并且是在紫外(UV)光譜中可觀察到的。
34.根據權利要求33所述的物品,其中,
所述可識別標記是通過微分干涉對比(DIC)顯微鏡或通過掃描電子顯微鏡(SEM)可觀察到的。
35.根據權利要求29至34中的任一項所述的物品,
其中,相對于被形成在所述物品的外表面上的光學可識別標記,在所述物品的外表面以預定空間排列來形成所述非光學可識別標記,
其中,對所述光學可檢測標記的檢測允許通過參考所述預定空間排列來進行所述非光學標記的后續(xù)檢測。
36.根據權利要求29至34中的任一項所述的物品,
其中,在所述物品的外表面,以具有所述物品的光學可識別屬性的預定空間排列來形成所述非光學可識別標記,
其中,具有所述物品的所述光學可識別屬性的所述空間排列允許通過參考關于所述物品的所述光學可識別屬性的所述預定空間排列來進行所述非光學標記的后續(xù)檢測。