一種砂漿循環(huán)過濾供給裝置制造方法
【專利摘要】一種砂漿循環(huán)過濾供給裝置，它包括連接線切割機(jī)的砂漿缸，特別之處是：所述裝置設(shè)有砂漿過濾罐，砂漿缸經(jīng)砂漿泵和管路連通砂漿過濾罐的進(jìn)口筒，砂漿過濾罐設(shè)有砂漿輸出泵，砂漿輸出泵經(jīng)管路連接線切割機(jī)，砂漿過濾罐設(shè)有過濾結(jié)構(gòu)。采用本實(shí)用新型的設(shè)計(jì)，砂漿在砂漿過濾罐中經(jīng)過三重過濾，可以將砂漿中的雜質(zhì)徹底清除，保證線切割機(jī)使用高質(zhì)量的砂漿，避免因砂漿中的雜質(zhì)影響切割質(zhì)量。此外，本實(shí)用新型的過濾結(jié)構(gòu)很便于清理和更換濾網(wǎng)，在實(shí)際生產(chǎn)中可定期清理濾網(wǎng)和濾袋，以保證過濾效果。
【專利說明】一種砂漿循環(huán)過濾供給裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種線切割設(shè)備，特別是用于線切割設(shè)備的砂漿循環(huán)過濾供給裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]硅單晶片是一種重要的半導(dǎo)體材料，生產(chǎn)硅單晶片首先要通過單晶爐生產(chǎn)出硅單晶棒，再通過線切割工序加工出硅單晶片產(chǎn)品。在硅片線切割工序中，砂漿對(duì)硅片的切割質(zhì)量起著重要作用。隨著近年來的線切割技術(shù)的工藝改進(jìn)和企業(yè)降低成本，在硅單晶棒的線切割加工工序，切割使用的砂漿不斷被回收再利用，而回收的砂漿中不可避免的混有大量雜質(zhì)，砂漿中混入的雜質(zhì)，極易造成切割中跳線、線痕和斷線事故的發(fā)生。目前，由于線切割機(jī)本身沒有對(duì)砂漿的過濾裝置，而是采用切割回流時(shí)在砂漿缸上設(shè)置一個(gè)濾網(wǎng)對(duì)回流的砂漿進(jìn)行簡單過濾。這種過濾方法很難徹底去除砂漿中摻入的雜質(zhì)，給生產(chǎn)造成了事故隱患，并且由于過濾網(wǎng)不易清理，增加人力的投入。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)之弊端，提供一種可徹底過濾砂漿中雜質(zhì)從而提高線切割質(zhì)量的砂漿循環(huán)過濾供給裝置。
[0004]本實(shí)用新型所述問題是以下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
[0005]一種單砂漿循環(huán)過濾供給裝置，包括連接線切割機(jī)的砂漿缸，特別之處是:所述裝置設(shè)有砂漿過濾罐，砂漿缸經(jīng)砂漿泵和管路連通砂漿過濾罐的進(jìn)口筒，砂漿過濾罐設(shè)有砂漿輸出泵，砂漿輸出泵經(jīng)管路連接線切割機(jī)，砂漿過濾罐設(shè)有過濾結(jié)構(gòu)。
[0006]上述砂漿循環(huán)過濾供給裝置，所述過濾結(jié)構(gòu)由上至下設(shè)置為濾袋、第一濾網(wǎng)、第二濾網(wǎng)，濾袋固定在進(jìn)口筒下部，進(jìn)口筒插接在砂漿過濾罐的上蓋處；第一濾網(wǎng)、第二濾網(wǎng)分別設(shè)置在第一濾框、第二濾框處，第一濾框、第二濾框位于砂漿過濾罐內(nèi)，其位置對(duì)應(yīng)濾袋。
[0007]上述砂漿循環(huán)過濾供給裝置，所述砂漿過濾罐內(nèi)的上部區(qū)域設(shè)有隔板，所述過濾結(jié)構(gòu)設(shè)置在隔板一側(cè)，在隔板另一側(cè)設(shè)有砂漿輸出泵吸管和攪拌軸，攪拌軸與攪拌電機(jī)傳動(dòng)連接，攪拌軸下部設(shè)有攪拌葉片，攪拌電機(jī)固定在砂漿過濾罐的上蓋處。
[0008]上述砂漿循環(huán)過濾供給裝置，所述第一濾框、第二濾框?yàn)榘雸A形，第一濾框、第二濾框的一端與砂漿過濾罐鉸接，第一濾框、第二濾框的另一端設(shè)有鎖環(huán)，砂漿過濾罐上設(shè)有固定環(huán)，插桿穿過鎖環(huán)、固定環(huán)將第一濾框、第二濾框鎖閉。
[0009]上述砂漿循環(huán)過濾供給裝置，所述砂漿過濾罐上部為圓柱體形、下部為球形，所述攪拌葉片為與砂漿過濾罐下部球形弧度匹配的弧形葉片。
[0010]本實(shí)用新型針對(duì)解決徹底過濾砂漿雜質(zhì)問題進(jìn)行了改進(jìn)，設(shè)計(jì)了一種砂漿循環(huán)過濾供給裝置。所述裝置將增設(shè)的砂漿過濾罐與砂漿缸、線切割機(jī)由管路連接，切割使用過的砂漿排入砂漿缸，然后泵入砂漿過濾罐充分過濾雜質(zhì)后，再回輸?shù)骄€切割進(jìn)使用。砂漿在砂漿過濾罐中需經(jīng)過三重過濾，可以將砂漿中的雜質(zhì)徹底清除，保證線切割機(jī)使用高質(zhì)量的砂漿，避免因砂漿中的雜質(zhì)影響切割質(zhì)量。此外，本實(shí)用新型過濾結(jié)構(gòu)很便于清理和更換濾網(wǎng)，在實(shí)際生產(chǎn)中可定期清理濾網(wǎng)和濾袋，以保證過濾效果。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
[0012]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖2是砂漿過濾罐的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖3是圖2的A-A剖視圖；
[0015]圖4是圖2的左視圖。
[0016]圖中各標(biāo)號(hào)清單為:1、砂漿過濾罐，2、第二濾框，2-1、第二濾網(wǎng)，3、第一濾框，3-1、第一濾網(wǎng)，4、上蓋，5、進(jìn)口筒，6、攪拌電機(jī)，7、砂漿輸出泵，8、砂漿泵，9、砂漿缸，10、線切割機(jī)，11、濾袋，12、隔板，13、攪拌軸，14、砂衆(zhòng)輸出泵吸管，15、攪拌葉片，16、固定環(huán)，17、插桿，
18、鎖環(huán)。
【具體實(shí)施方式】
[0017]參看圖1，本實(shí)用新型包括線切割機(jī)10的砂漿缸9，線切割機(jī)與砂漿缸由管路連接，線切割機(jī)使用過的砂漿排入砂漿缸中。為解決砂漿徹底過濾問題，本實(shí)用新型設(shè)置了砂漿過濾罐I，砂漿過濾罐上部為圓柱體形、下部為球形，砂漿缸的砂漿經(jīng)砂漿泵8和管路由砂漿過濾罐的進(jìn)口筒5通入砂漿過濾罐，將使用過的砂漿泵入砂漿過濾罐進(jìn)行深度過濾，經(jīng)過濾的砂漿再經(jīng)過砂漿輸出泵7輸出到線切割機(jī)。
[0018]參看圖2，砂漿過濾罐設(shè)有過濾結(jié)構(gòu)，過濾結(jié)構(gòu)對(duì)砂漿由上至下進(jìn)行三重過濾。第一重過濾為濾袋11，濾袋固定在進(jìn)口筒5下部，進(jìn)口筒插接在砂漿過濾罐的上蓋4處，濾袋對(duì)砂漿進(jìn)行粗過濾，進(jìn)口筒5可以方便的取下，以清理濾袋11內(nèi)的雜質(zhì)。在濾袋下部設(shè)置第一濾網(wǎng)3-1，第一濾網(wǎng)固定在第一濾框3處，第一濾網(wǎng)對(duì)砂漿進(jìn)行第二重過濾。經(jīng)第一濾網(wǎng)過濾的砂漿，再進(jìn)入第二濾網(wǎng)2-1進(jìn)行經(jīng)過濾，第二濾網(wǎng)固定在第二濾框2處，第一濾框、第二濾框均位于砂漿過濾罐內(nèi)。
[0019]參看圖2、圖3，砂漿過濾罐內(nèi)的上部區(qū)域設(shè)有隔板12，過濾結(jié)構(gòu)設(shè)置在隔板一側(cè)，在隔板另一側(cè)設(shè)有砂漿輸出泵吸管14和攪拌軸13，攪拌軸與攪拌電機(jī)6傳動(dòng)連接，攪拌軸下部設(shè)有攪拌葉片15，攪拌葉片為與砂漿過濾罐下部球形弧度匹配的弧形葉片。攪拌電機(jī)固定在砂漿過濾罐的上蓋4處。攪拌電機(jī)經(jīng)攪拌軸帶動(dòng)攪拌葉片旋轉(zhuǎn)，防止砂漿沉淀，經(jīng)充分過濾和攪拌的砂漿由砂漿輸出泵7輸出，供給線切割機(jī)使用。
[0020]仍參看圖2、圖3，為便于清理第一濾網(wǎng)3-1和第二濾網(wǎng)2-1，第一濾框3、第二濾框2設(shè)計(jì)為可由砂漿過濾罐內(nèi)旋轉(zhuǎn)拉出的活動(dòng)結(jié)構(gòu)。第一濾框3、第二濾框?yàn)榘雸A形，第一濾框、第二濾框的一端與砂漿過濾罐鉸接，第一濾框、第二濾框的另一端設(shè)有鎖環(huán)18，砂漿過濾罐上設(shè)有固定環(huán)16，插桿17穿過鎖環(huán)、固定環(huán)將第一濾框、第二濾框鎖閉。該結(jié)構(gòu)當(dāng)需要清理第一濾網(wǎng)、第二濾網(wǎng)時(shí)，拔出插桿，將一濾框、第二濾框拉出即可，在砂漿過濾罐工作狀態(tài)，將一濾框、第二濾框由插桿固定。
【權(quán)利要求】
1.一種砂漿循環(huán)過濾供給裝置，包括連接線切割機(jī)(10)的砂漿缸(9)，其特征在于:所述裝置設(shè)有砂漿過濾罐(1)，砂漿缸經(jīng)砂漿泵(8)和管路連通砂漿過濾罐的進(jìn)口筒(5)，砂漿過濾罐設(shè)有砂漿輸出泵(7)，砂漿輸出泵經(jīng)管路連接線切割機(jī)，砂漿過濾罐設(shè)有過濾結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的砂漿循環(huán)過濾供給裝置，其特征在于，所述過濾結(jié)構(gòu)由上至下設(shè)置為濾袋(11)、第一濾網(wǎng)(3-1)、第二濾網(wǎng)(2-1)，濾袋固定在進(jìn)口筒下部，進(jìn)口筒插接在砂漿過濾罐的上蓋處；第一濾網(wǎng)、第二濾網(wǎng)分別設(shè)置在第一濾框(3)、第二濾框(2)處，第一濾框、第二濾框位于砂漿過濾罐內(nèi)，其位置對(duì)應(yīng)濾袋。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的砂漿循環(huán)過濾供給裝置，其特征在于，所述砂漿過濾罐(I)內(nèi)的上部區(qū)域設(shè)有隔板(12)，所述過濾結(jié)構(gòu)設(shè)置在隔板一側(cè)，在隔板另一側(cè)設(shè)有砂漿輸出泵吸管(14)和攪拌軸(13)，攪拌軸與攪拌電機(jī)(6)傳動(dòng)連接，攪拌軸下部設(shè)有攪拌葉片(15)，攪拌電機(jī)固定在砂漿過濾罐的上蓋(4)處。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的砂漿循環(huán)過濾供給裝置，其特征在于，所述第一濾框(3)、第二濾框?yàn)?2)半圓形，第一濾框、第二濾框的一端與砂漿過濾罐鉸接，第一濾框、第二濾框的另一端設(shè)有鎖環(huán)(18)，砂漿過濾罐上設(shè)有固定環(huán)(16)，插桿(17)穿過鎖環(huán)、固定環(huán)將第一濾框、第二濾框鎖閉。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的砂漿循環(huán)過濾供給裝置，其特征在于，所述砂漿過濾罐上部為圓柱體形、下部為球形，所述攪拌葉片為與砂漿過濾罐下部球形弧度匹配的弧形葉片。
【文檔編號(hào)】B28D7/00GK203818355SQ201420197674
【公開日】2014年9月10日 申請(qǐng)日期:2014年4月23日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月23日
【發(fā)明者】陳世杰, 黃永恩, 范全東, 朱琛浩 申請(qǐng)人:寧晉賽美港龍電子材料有限公司