光刻膠回收裝置，涂布系統(tǒng)及涂布方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及液晶制程領(lǐng)域，公開了一種光刻膠回收裝置，涂布系統(tǒng)和涂布方法。光刻膠回收裝置，包括：第一容納單元，用于容納從光刻膠出膠口流出的光刻膠；空心體，其位于第一容納單元的下方且位于上方的部分具有可單向出氣的排氣口；第一連接管，其位于上方的一端與第一容納單元位于下方的部分相連通，其位于下方的一端與空心體位于上方的部分相連通；第一容納單元內(nèi)的光刻膠經(jīng)第一連接管滴落至空心體內(nèi)；其中，空心體用于通過可單向出氣的排氣口將光刻膠中的氣體排出。涂布系統(tǒng)包括上述光刻膠回收裝置。涂布方法是涂布系統(tǒng)的涂布方法。本發(fā)明使得在基板上形成的膜厚度均勻，同時，不僅節(jié)約了光刻膠，而且保證了回收的光刻膠的潔凈度。
【專利說明】光刻膠回收裝置，涂布系統(tǒng)及涂布方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及液晶制程領(lǐng)域，特別涉及一種光刻膠回收裝置，涂布系統(tǒng)及涂布方法?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]光刻膠的涂布是液晶制程必不可少的一種工藝。
[0003]傳統(tǒng)涂布機(jī)的涂布過程如圖1所示，涂布機(jī)的噴嘴10 (即光刻膠出膠口)的吐膠量是隨時間變化的。涂布機(jī)的噴嘴10在接觸玻璃基板20的邊緣時開始吐膠，此時的時刻用表示；噴嘴的吐膠量從零逐漸變大，直至達(dá)到穩(wěn)定值，此時的時刻用表示；這樣，在玻璃基板20上形成膜的起始部31。之后，噴嘴10的吐膠量保持在穩(wěn)定值。涂布機(jī)的噴嘴10在快接觸玻璃基板20的后邊緣時停止吐膠，此時的時刻用tff±表示；噴嘴10的吐膠量從穩(wěn)定值逐漸變小，直至達(dá)到零，此時的時刻用表示；這樣，在玻璃基板上形成膜的結(jié)束部32?？梢钥闯鲈趪娮扉_始吐膠到達(dá)到穩(wěn)定值和噴嘴停止吐膠到達(dá)零的時間段，噴嘴的吐膠量是變化的，因此在玻璃基板上形成的膜厚也是不均勻的，膜的不均勻會導(dǎo)致光刻后的圖形不一致。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明提供了一種光刻膠回收裝置，涂布系統(tǒng)和涂布方法，該涂布系統(tǒng)使用該涂布方法進(jìn)行涂布時，使得在基板上形成的膜厚度均勻，同時，不僅節(jié)約了光刻膠，而且保證了回收的光刻膠的潔凈度。
[0005]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供以下技術(shù)方案:
[0006]一種光刻膠回收裝置,包括:
[0007]第一容納單元，用于容納從光刻膠出膠口流出的光刻膠；
[0008]空心體，其位于第一容納單元的下方且位于上方的部分具有可單向出氣的排氣Π ；
[0009]第一連接管，其位于上方的一端與所述第一容納單元位于下方的部分相連通，其位于下方的一端與所述空心體位于上方的部分相連通；所述第一容納單元內(nèi)的光刻膠經(jīng)所述第一連接管滴落至所述空心體內(nèi)；
[0010]其中，所述空心體用于在所述第一容納單元內(nèi)的光刻膠經(jīng)所述第一連接管滴落至所述空心體內(nèi)的過程中，通過可單向出氣的排氣口將光刻膠中的氣體排出。
[0011]優(yōu)選的，所述空心體是橢圓形空心體；所述橢圓形空心體的長軸沿豎直方向。
[0012]優(yōu)選的，還包括第二容納單元，其位于所述空心體的下方；
[0013]第二連接管，其位于上方的一端與所述空心體位于下方的部分相連通，其位于下方的一端與所述第二容納單元相連通；經(jīng)所述第一連接管滴落的光刻膠匯集在所述空心體內(nèi)，所述空心體內(nèi)的光刻膠在受到足夠壓力的情況下，經(jīng)所述第二連接管向下流動至所述第二容納單元內(nèi)。
[0014] 優(yōu)選的，還包括充氣吸氣單元，其與所述第一容納單元相連通；[0015]在光刻膠從第一容納單元向下流動時，所述充氣吸氣單元向第一容納單元充氣，所充的氣體推動光刻膠向下流動；
[0016]在光刻膠全部流動到第一連接管時，所述充氣吸氣單元從所述第一容納單元吸氣，回收氣體。
[0017]優(yōu)選的，所述第一容納單元還包括密封門，所述密封門可將第一開口密封。
[0018]優(yōu)選的，所述第一容納單元設(shè)置有第一開口，所述第一開口可與光刻膠出膠口密封連接；
[0019]所述光刻膠回收裝置還包括抽氣單元，其與所述第一容納單元相連通；在光刻膠出膠口和所述第一開口密封連接后，所述抽氣單元可抽取所述第一容納單元中的氣體。
[0020]本發(fā)明還提供了以下技術(shù)方案:
[0021]一種涂布系統(tǒng)，包括:
[0022]光刻膠出膠口 ；[0023]用于放置待涂布基板的長方形機(jī)臺，其包括相對設(shè)置的第一工作側(cè)和第二工作偵牝所述光刻膠出膠口可在所述第一工作側(cè)和第二工作側(cè)之間往復(fù)運(yùn)動以對待涂布基板進(jìn)行涂布；
[0024]上述任一所述的光刻膠回收裝置，其設(shè)置在所述第一工作側(cè)的一端且與所述第一工作側(cè)相鄰。
[0025]優(yōu)選的，所述光刻膠回收裝置是兩個，另一個設(shè)置在所述第二工作側(cè)的一端且與所述第二工作側(cè)相鄰；設(shè)置有光刻膠回收裝置的第一工作側(cè)的一端與設(shè)置有光刻膠回收裝置的第二工作側(cè)的一端位于所述機(jī)臺的對角線上。
[0026]優(yōu)選的，還包括:
[0027]流量傳感器，其安裝在所述光刻膠出膠口 ；
[0028]控制單元，其與所述流量傳感器通信連接，根據(jù)流量傳感器的吐膠量，控制光刻膠出膠口。
[0029]本發(fā)明還提供了以下技術(shù)方案:
[0030]一種涂布方法，包括如下步驟:
[0031]將基板置于長方形機(jī)臺上；
[0032]將光刻膠出膠口和光刻膠回收裝置的第一容納單元的第一開口密封連接；
[0033]開始出膠，光刻膠經(jīng)光刻膠出膠口和第一開口流入光刻膠回收裝置；
[0034]在光刻膠出膠口的出膠達(dá)到穩(wěn)定的數(shù)值后，光刻膠出膠口離開光刻膠回收裝置的第一容納單元的第一開口，開始對待涂布基板進(jìn)行涂膠；
[0035]在涂膠結(jié)束后，將光刻膠出膠口和光刻膠回收裝置的第一容納單元的第一開口密封連接，光刻膠出膠口停止出膠，光刻膠出膠口吐膠量逐漸減小，直至達(dá)到零。
[0036]優(yōu)選的,在光刻膠出膠口和光刻膠回收裝置的第一容納單兀的第一開口密封連接后，還包括以下步驟:
[0037]抽氣單元抽取第一容納單元中的氣體直至第一容納單元中的氣體濃度達(dá)到要求。
[0038]優(yōu)選的，在光刻膠出膠口離開光刻膠回收裝置的第一容納單元的第一開口后，還包括如下步驟:
[0039]密封門將第一開口密封；[0040]充氣吸氣單元向第一容納單元充氣，所充的氣體推動光刻膠向下流動；
[0041]在光刻膠全部流動到第一連接管時，所述充氣吸氣單元從所述第一容納單元吸氣，回收氣體。
[0042]優(yōu)選的，光刻膠出膠口停止出膠后，還包括以下步驟:
[0043]充氣吸氣單元向第一容納單元充氣，所充的氣體推動光刻膠向下流動；
[0044]在光刻膠全部流動到第一連接管時，所述充氣吸氣單元從所述第一容納單元吸氣，回收氣體。
[0045]本發(fā)明提供的光刻膠回收裝置，涂布系統(tǒng)和涂布方法，該涂布系統(tǒng)使用該涂布方法進(jìn)行涂布時，當(dāng)光刻膠出膠口的吐膠量穩(wěn)定時，對基板進(jìn)行涂布，使得在基板上形成的膜厚度均勻。當(dāng)光刻膠出膠口的吐膠量不穩(wěn)定時，光刻膠回收裝置的第一容納單元容納從光刻膠出膠口吐出的光刻膠，再經(jīng)所述第一連接管滴落至所述空心體中，在此過程中通過可單向出氣的排氣口將光刻膠中的氣體排出。這樣將光刻膠出膠口的吐膠量不穩(wěn)定時所吐出的膠，進(jìn)行排氣后進(jìn)行回收，不僅節(jié)約了光刻膠，而且保證了回收的光刻膠的潔凈度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0046]圖1為傳統(tǒng)涂布機(jī)的涂布過程示意圖；
[0047]圖2為本發(fā)明的涂布系統(tǒng)的機(jī)臺和光刻膠回收裝置的示意圖；
[0048]圖3為本發(fā)明的涂布系統(tǒng)的光刻膠出膠口和光刻膠回收裝置的示意圖；
[0049]圖4為本發(fā)明的涂布系統(tǒng)在光刻膠出膠口吐膠量從零逐漸變化到穩(wěn)定值過程的示意圖；
[0050]圖5為本發(fā)明的涂布系統(tǒng)的涂布過程示意圖。
[0051]主要元件附圖標(biāo)記說明:
[0052]現(xiàn)有技術(shù)中:
[0053]10噴嘴，20玻璃基板，31膜的起始部，32膜的結(jié)束部；
[0054]本發(fā)明中:
[0055]100光刻膠出膠口，200機(jī)臺，210第一工作側(cè)，220第二工作側(cè)，
[0056]300光刻膠回收裝置，
[0057] 310第一容納單元，311抽氣單元，312惰性氣體的充氣吸氣單元，
[0058]320排氣單元，321橢圓形空心體，322可單向出氣的排氣口，
[0059]330第二容納單元，
[0060]341第一連接管，342第二連接管，
[0061]400玻璃基板。
【具體實(shí)施方式】
[0062]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0063]本發(fā)明的一個實(shí)施例的涂布系統(tǒng)，如圖2和圖3所示，包括:[0064]光刻膠出膠口 100;
[0065]用于放置待涂布玻璃基板的長方形機(jī)臺200，其包括相對設(shè)置的第一工作側(cè)210和第二工作側(cè)220，光刻膠出膠口可在第一工作側(cè)210和第二工作側(cè)220之間往復(fù)運(yùn)動以對待涂布基板進(jìn)行涂布；
[0066]兩個光刻膠回收裝置300，一個設(shè)置在第一工作側(cè)210的一端且與第一工作側(cè)210相鄰，另一個設(shè)置在第二工作側(cè)220的一端且與第二工作側(cè)220相鄰；設(shè)置有光刻膠回收裝置的第一工作側(cè)的一端與設(shè)置有光刻膠回收裝置的第二工作側(cè)的一端位于機(jī)臺200的對角線上。
[0067]流量傳感器，其安裝在光刻膠出膠口 ；
[0068]控制單元，其與流量傳感器通信連接，根據(jù)流量傳感器的吐膠量，控制光刻膠出膠□。[0069]其中，如圖3所示，光刻膠回收裝置300包括第一容納單元310，抽氣單元311，惰性氣體的充氣吸氣單元312，排氣單元320，第一連接管341，第二容納單元330和第二連接管 342。
[0070]第一容納單元310包括位于其上表面的第一開口和密封門，密封門可將第一開口密封。第一開口可與光刻膠出膠口 100密封連接；第一容納單元310用于容納經(jīng)光刻膠出膠口和第一開口流入的光刻膠。
[0071]抽氣單元311與第一容納單元310相連通。在光刻膠出膠口 100和第一開口密封連接后，抽氣單元311可抽取第一容納單元310中的氣體。
[0072]惰性氣體的充氣吸氣單元312與第一容納單元310相連通。在光刻膠從第一容納單元310向下流動時，惰性氣體的充氣吸氣單元312向第一容納單元310充氣，所充的惰性氣體推動光刻膠向下流動；在光刻膠全部流動到第一連接管時，惰性氣體的充氣吸氣單元312從第一容納單元310吸氣，回收惰性氣體。
[0073]排氣單元320是位于第一容納單元的下方的橢圓形空心體321，橢圓形空心體321的長軸沿豎直方向，其位于上方的部分具有可單向出氣的排氣口 322。
[0074]第一連接管341的位于上方的一端與第一容納單元310位于下方的部分相連通，位于下方的一端與橢圓形空心體321位于上方的部分相連通。第一容納單元內(nèi)310的光刻膠經(jīng)第一連接管341滴落至橢圓形空心體321內(nèi)，為了實(shí)現(xiàn)光刻膠經(jīng)第一連接管滴落至橢圓形空心體內(nèi)，需要使得第一連接管的直徑比較小。其中，第一容納單元310內(nèi)的光刻膠經(jīng)第一連接管341滴落至橢圓形空心體321內(nèi)，在滴狀光刻膠進(jìn)入橢圓形空心體內(nèi)321時，由于橢圓形空心體對滴狀光刻膠的吸附力大，少量的滴狀光刻膠會在橢圓形空心體內(nèi)匯集而不向下流動，為了實(shí)現(xiàn)少量的滴狀光刻膠會在橢圓形空心體內(nèi)匯集而不向下流動，需要使得第二連接管的直徑比較小。
[0075]在滴狀光刻膠進(jìn)入橢圓形空心體內(nèi)的匯集的光刻膠中時，滴狀光刻膠逐漸下沉，會受到橢圓形空心體內(nèi)的光刻膠對其的壓力，這個壓力使得滴狀光刻膠中的氣體受到擠壓，進(jìn)而破裂上升，再從可單向出氣的排氣口排出，從而起到了將光刻膠中的氣體排出的作用。
[0076]第二容納單元330位于排氣單元320的下方。
[0077]第二連接管342的位于上方的一端與橢圓形空心體321位于下方的部分相連通，位于下方的一端與第二容納單元330相連通；在橢圓形空心體內(nèi)的光刻膠受到足夠大的壓力的情況下，即這個壓力足夠克服橢圓形空心體對其的吸附力，橢圓形空心體內(nèi)的光刻膠經(jīng)第二連接管向下流動至第二容納單元內(nèi)；其中，圓形空心體內(nèi)的光刻膠受到的壓力可以來自橢圓形空心體內(nèi)的光刻膠逐漸增多產(chǎn)生的壓力，還可以來自惰性氣體的充氣吸氣單元所充入的惰性氣體產(chǎn)生的壓力。第二容納單元內(nèi)的光刻膠可經(jīng)回收管回收再次使用。
[0078]使用涂布系統(tǒng)對玻璃基板進(jìn)行涂布的涂布方法包括如下步驟:
[0079]步驟SOOl:將玻璃基板置于長方形機(jī)臺上；
[0080]步驟S002:將光刻膠出膠口和光刻膠回收裝置的第一容納單元的第一開口密封連接；
[0081]步驟S003:如圖4所示，光刻膠出膠口開始出膠，此時的時刻用t0表示，光刻膠經(jīng)光刻膠出膠口和第一開口流入光刻膠回收裝置；
[0082]步驟S004:如圖4所示，在光刻膠出膠口的出膠達(dá)到穩(wěn)定的數(shù)值后，此時的時刻用tl表不,光刻膠出膠口離開光刻膠回收裝置的第一容納單兀的第一開口，開始對待涂布玻璃基板400進(jìn)行涂膠；
[0083]其中，安裝在光刻膠出膠口流量傳感器獲得在光刻膠出膠口的吐膠量；控制單元根據(jù)流量傳感器的出膠量，判斷光刻膠出膠口的出膠是否達(dá)到穩(wěn)定的數(shù)值；在光刻膠出膠口的出膠達(dá)到穩(wěn)定的數(shù)值后，控制單元控制光刻膠出膠口離開光刻膠回收裝置的第一容納單元的第一開口，開始對待涂布玻璃基板400進(jìn)行涂膠；
[0084]步驟S005:在涂膠結(jié)束后，將光刻膠出膠口和光刻膠回收裝置的第一容納單元的第一開口密封連接，光刻膠出膠口停止吐膠，此時的時刻用t2表示；光刻膠出膠口吐膠量逐漸減小，直至達(dá)到零，此時的時刻用t3表示，如圖5所示。
[0085]這樣，當(dāng)光刻膠出膠口的吐膠量穩(wěn)定時，對基板進(jìn)行涂布，使得在基板上形成的膜厚度均勻。當(dāng)光刻膠出膠口的吐膠量不穩(wěn)定時，光刻膠回收裝置的第一容納單元容納從光刻膠出膠口吐出的光刻膠，再經(jīng)第一連接管滴落至排氣單元中，在此過程中排氣單元將光亥IJ膠中的氣體排出。這樣將光刻膠出膠口的吐膠量不穩(wěn)定時所吐出的膠，進(jìn)行排氣后進(jìn)行回收，不僅節(jié)約了光刻膠，而且保證了回收的光刻膠的潔凈度。
[0086]進(jìn)一步地，在步驟S002之后，還包括以下步驟:
[0087]抽氣單元抽取第一容納單元中的氣體直至第一容納單元中的氣體濃度達(dá)到要求。
[0088]這樣，可以將第一容納單元中的氣體，主要是空氣抽出，減少第一容納單元中的空氣，減少即將進(jìn)入第一容納單元的光刻膠進(jìn)入空氣的量，減少對光刻膠的污染。
[0089]進(jìn)一步地，在步驟S004之后，還包括如下步驟:
[0090]密封門將第一開口密封；
[0091] 充氣吸氣單元向第一容納單元充氣，所充的惰性氣體推動光刻膠向下流動；
[0092]在光刻膠全部流動到第一連接管時，充氣吸氣單元從第一容納單元吸氣，回收氣體。
[0093]這樣，密封門將第一開口密封，一方面可以減少空氣進(jìn)入第一容納單元的量，另一方面，在充氣吸氣單元向第一容納單元充氣時，所充的氣體不會進(jìn)入到空氣中；在充氣吸氣單元從第一容納單元吸氣時，吸入的氣體仍然是濃度較高的惰性氣體。將惰性氣體吸走，可以提高惰性氣體的使用效率。[0094]進(jìn)一步地，在步驟S005之后，還包括如下步驟:
[0095]充氣吸氣單元向第一容納單元充氣，所充的氣體推動光刻膠向下流動；
[0096]在光刻膠全部流動到第一連接管時，充氣吸氣單元從第一容納單元吸氣，回收氣體。
[0097]作為一種優(yōu)選的方式，涂布系統(tǒng)可以還包括光刻膠出膠口的清洗單元和風(fēng)干單元，在光刻膠出膠口開始吐膠之前和/或吐膠之后，對光刻膠出膠口進(jìn)行清洗和風(fēng)干。
[0098]作為一種可選的方式，涂布系統(tǒng)可以只包括一個光刻膠回收裝置，設(shè)置在第一工作側(cè)的一端且與第一工作側(cè)相鄰。
[0099]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明實(shí)施例進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也 意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種光刻膠回收裝置，其特征在于，包括: 第一容納單元，用于容納從光刻膠出膠口流出的光刻膠； 空心體，其位于第一容納單元的下方且位于上方的部分具有可單向出氣的排氣口； 第一連接管，其位于上方的一端與所述第一容納單元位于下方的部分相連通，其位于下方的一端與所述空心體位于上方的部分相連通；所述第一容納單元內(nèi)的光刻膠經(jīng)所述第一連接管滴落至所述空心體內(nèi)； 其中，所述空心體用于在所述第一容納單元內(nèi)的光刻膠經(jīng)所述第一連接管滴落至所述空心體內(nèi)的過程中，通過可單向出氣的排氣口將光刻膠中的氣體排出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻膠回收裝置，其特征在于，所述空心體是橢圓形空心體；所述橢圓形空心體的長軸沿豎直方向。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光刻膠回收裝置，其特征在于，還包括第二容納單元，其位于所述空心體的下方； 第二連接管，其位于上方的一端與所述空心體位于下方的部分相連通，其位于下方的一端與所述第二容納單元相連通；經(jīng)所述第一連接管滴落的光刻膠匯集在所述空心體內(nèi)，所述空心體內(nèi)的光刻膠在受到足夠壓力的情況下，經(jīng)所述第二連接管向下流動至所述第二容納單元內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光刻膠回收裝置，其特征在于，還包括充氣吸氣單元，其與所述第一容納單元相連通； 在光刻膠從第一容納單元向下流動時，所述充氣吸氣單元向第一容納單元充氣，所充的氣體推動光刻膠向下流動； 在光刻膠全部流動到第一連接管時，所述充氣吸氣單元從所述第一容納單元吸氣，回收氣體。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光刻膠回收裝置，其特征在于，所述第一容納單元還包括密封門，所述密封門可將第一開口密封。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光刻膠回收裝置，其特征在于，所述第一容納單元設(shè)置有第一開口，所述第一開口可與光刻膠出膠口密封連接； 所述光刻膠回收裝置還包括抽氣單元，其與所述第一容納單元相連通；在光刻膠出膠口和所述第一開口密封連接后，所述抽氣單元可抽取所述第一容納單元中的氣體。
7.一種涂布系統(tǒng)，其特征在于，包括: 光刻膠出膠口； 用于放置待涂布基板的長方形機(jī)臺，其包括相對設(shè)置的第一工作側(cè)和第二工作側(cè)，所述光刻膠出膠口可在所述第一工作側(cè)和第二工作側(cè)之間往復(fù)運(yùn)動以對待涂布基板進(jìn)行涂布； 權(quán)利要求1-6任一所述 的光刻膠回收裝置，其設(shè)置在所述第一工作側(cè)的一端且與所述第一工作側(cè)相鄰。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，所述光刻膠回收裝置是兩個，另一個設(shè)置在所述第二工作側(cè)的一端且與所述第二工作側(cè)相鄰；設(shè)置有光刻膠回收裝置的第一工作側(cè)的一端與設(shè)置有光刻膠回收裝置的第二工作側(cè)的一端位于所述機(jī)臺的對角線上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，還包括:流量傳感器，其安裝在所述光刻膠出膠口 ； 控制單元，其與所述流量傳感器通信連接，根據(jù)流量傳感器的吐膠量，控制光刻膠出膠□。
10.一種涂布方法，其特征在于，包括如下步驟: 將基板置于長方形機(jī)臺上； 將光刻膠出膠口和光刻膠回收裝置的第一容納單元的第一開口密封連接； 開始出膠，光刻膠經(jīng)光刻膠出膠口和第一開口流入光刻膠回收裝置； 在光刻膠出膠口的出膠達(dá)到穩(wěn)定的數(shù)值后，光刻膠出膠口離開光刻膠回收裝置的第一容納單元的第一開口，開始對待涂布基板進(jìn)行涂膠； 在涂膠結(jié)束后，將光刻膠出膠口和光刻膠回收裝置的第一容納單元的第一開口密封連接，光刻膠出膠口停止出膠，光刻膠出膠口吐膠量逐漸減小，直至達(dá)到零。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的涂布方法，其特征在于，在光刻膠出膠口和光刻膠回收裝置的第一容納單元的第一開口密封連接后，還包括以下步驟: 抽氣單元抽取第一容納單元中的氣體直至第一容納單元中的氣體濃度達(dá)到要求。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的涂布方法，其特征在于，在光刻膠出膠口離開光刻膠回收裝置的第一容納單元的第一開口后，還包括如下步驟: 密封門將第一開口密封； 充氣吸氣單元向第一容納單元充氣，所充的氣體推動光刻膠向下流動； 在光刻膠全部流動到第一連接管時，所述充氣吸氣單元從所述第一容納單元吸氣，回收氣體。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的涂布方法，其特征在于，光刻膠出膠口停止出膠后，還包括以下步驟: 充氣吸氣單元向第一容納單元充氣，所充的氣體推動光刻膠向下流動； 在光刻膠全部流動到第一連接管時，所述充氣吸氣單元從所述第一容納單元吸氣，回收氣體。
【文檔編號】C03C17/00GK103910493SQ201410108616
【公開日】2014年7月9日 申請日期:2014年3月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月21日
【發(fā)明者】李曉光, 袁劍峰, 吳洪江, 姜晶晶, 肖宇, 黎敏 申請人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 北京京東方顯示技術(shù)有限公司