強化玻璃基板制造方法
強化玻璃基板制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種強化玻璃基板的制造方法，其特征在于，具有如下的工序：使玻璃基板與第1槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液接觸的化學(xué)強化工序；使完成了化學(xué)強化工序的前述玻璃基板與第2槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液接觸的冷卻工序；以及去除附著于玻璃基板的表面的化學(xué)強化鹽熔液的除液工序，前述第1槽和前述第2槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液使用實質(zhì)上相同組成的化學(xué)強化鹽，前述第2槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液的溫度T2低于第1槽的化學(xué)強化鹽熔液的溫度，且與前述化學(xué)強化鹽的熔點Tmp滿足Tmp<T2≤Tmp+50的關(guān)系，前述除液工序中的前述玻璃基板的周圍溫度T3滿足Tmp<T3≤Tmp+50的關(guān)系。
【專利說明】強化玻璃基板制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及強化玻璃基板的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]玻璃基板正在顯示器、太陽能電池用的蓋板玻璃等中使用。近年來，根據(jù)用途，要求玻璃基板的輕量化、薄型化以及強度的維持、提高。
[0003]作為提高玻璃基板的強度的一種方法，已知有進行化學(xué)強化的方法?；瘜W(xué)強化是指，通過使玻璃基板與化學(xué)強化鹽熔液接觸來改變玻璃基板表面的組成、并在表面形成壓縮應(yīng)力層的強化方法。
[0004]進行化學(xué)強化的步驟的一例中，在化學(xué)強化鹽熔液中浸潰玻璃基板而進行化學(xué)強化后，在被保持為與化學(xué)強化鹽熔液相同溫度下的環(huán)境中保持規(guī)定時間。該規(guī)定時間后，對附著于玻璃基板的化學(xué)強化鹽熔液進行除液，然后進行空氣冷卻。
[0005]然而，在除液工序期間，由于玻璃基板被保持在高溫下，因此有時會產(chǎn)生壓縮應(yīng)力層的應(yīng)力松弛，強化程度降低。
[0006]為了抑制壓縮應(yīng)力層的應(yīng)力松弛，也可以考慮縮短除液的時間、或完全不進行除液。然而，這些可考慮的方法的情況下，附著、殘留于玻璃基板的表面的化學(xué)強化鹽熔液在玻璃基板表面上凝固，因此變得無法回收，從資源保護、成本的觀點出發(fā)不優(yōu)選。進而，此時，為了去除附著于玻璃基板表面的化學(xué)強化鹽熔液的凝固物，對清洗玻璃基板的工序的負荷變大。
[0007]另外，除液工序后，利用空氣冷卻將玻璃基板冷卻至室溫左右的情況下，在直接接觸空氣的部分與不直接接觸空氣的部分之間產(chǎn)生溫度差。特別是在化學(xué)強化工序中，為了一次對多個玻璃基板進行處理，在將玻璃基板安裝在被稱為載具(cassette)的架子的狀態(tài)下進行強化處理。因此，冷卻工序中，根據(jù)安裝有玻璃基板的載具內(nèi)的位置，有時壓縮應(yīng)力層的應(yīng)力松弛程度產(chǎn)生差異、得到的強化玻璃的性能產(chǎn)生偏差。
[0008]作為在進行化學(xué)強化工序后冷卻玻璃基板的方法，專利文獻I中提出了使玻璃基板接觸熔化有固化溫度低于化學(xué)強化鹽的物質(zhì)而得到的處理液的方法的一例。
[0009]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0010]專利文獻
[0011]專利文獻1:國際公開第2007/111149號
【發(fā)明內(nèi)容】
[0012]發(fā)明要解決的問題
[0013]然而，如專利文獻I中所提出的那樣冷卻玻璃基板的方法的情況下，由于使用與化學(xué)強化鹽熔液的組成、材料不同的冷卻用的處理液，因此有時在冷卻用的處理液中會混入化學(xué)強化鹽熔液的成分。另外，保持玻璃基板的載具被重復(fù)使用，因此有時附著于載具的冷卻用的處理液會混入到化學(xué)強化熔液中。因此，該提出的冷卻玻璃基板的方法中，化學(xué)強化鹽熔液和冷卻處理液的組成容易變化，有時玻璃基板的強化程度根據(jù)批次而產(chǎn)生偏差。另外，若化學(xué)強化鹽熔液和冷卻用的處理液容易發(fā)生組成變化，則需要以高頻率更換化學(xué)強化鹽熔液和冷卻用的處理液，從資源保護、成本的觀點出發(fā)不優(yōu)選。進而，由于更換化學(xué)強化鹽熔液和冷卻用的處理液的期間需要停止生產(chǎn)，因此導(dǎo)致生產(chǎn)率降低。
[0014]本發(fā)明鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的問題，其目的之一在于，提供在進行化學(xué)強化時能夠抑制壓縮應(yīng)力層的應(yīng)力松弛并生產(chǎn)率良好地制造品質(zhì)穩(wěn)定的強化玻璃基板的強化玻璃基板的制造方法。
[0015]用于解決問題的方案
[0016]本發(fā)明提供一種強化玻璃基板的制造方法，其特征在于，具有如下的工序:使玻璃基板與第I槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液接觸的化學(xué)強化工序；使完成了化學(xué)強化工序的前述玻璃基板與第2槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液接觸的冷卻工序；以及去除附著于前述玻璃基板的表面的化學(xué)強化鹽熔液的除液工序，前述第I槽和前述第2槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液使用實質(zhì)上相同組成的化學(xué)強化鹽，前述第2槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液的溫度T2低于第I槽的化學(xué)強化鹽熔液的溫度，且與前述化學(xué)強化鹽的熔點Tmp滿足Tmp〈T2 ( Tmp+50的關(guān)系，前述除液工序中的前述玻璃基板的周圍溫度T3滿足Tmp〈T3 ( Tmp+50的關(guān)系。
[0017]發(fā)明的效果
[0018]根據(jù)本發(fā)明，能夠抑制壓縮應(yīng)力層的應(yīng)力松弛，生產(chǎn)率良好地制造品質(zhì)穩(wěn)定的強化玻璃基板。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0019]圖1為本發(fā)明的強化玻璃基板的制造方法的說明圖。
【具體實施方式】
[0020]以下，參照【專利附圖】
【附圖說明】用于實施本發(fā)明的方式，但本發(fā)明不限定于下述實施方式，可以不超出本發(fā)明的范圍地、對下述實施方式加以各種變形和替換。
[0021]本發(fā)明的強化玻璃基板的制造方法具有如下的工序:使玻璃基板與第I槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液接觸的化學(xué)強化工序；使完成了化學(xué)強化工序的玻璃基板與第2槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液接觸的冷卻工序；以及去除附著于玻璃基板的表面的化學(xué)強化鹽熔液的除液工序。此外，前述第I槽和第2槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液使用實質(zhì)上相同組成的化學(xué)強化鹽，前述第2槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液的溫度T2低于第I槽的化學(xué)強化鹽熔液的溫度，且與前述化學(xué)強化鹽的熔點Tmp滿足Tmp〈T2 ( Tmp+50的關(guān)系。另外，特征在于，前述除液工序中的玻璃基板的周圍溫度T3滿足Tmp〈T3 ( Tmp+50的關(guān)系。需要說明的是，本發(fā)明的強化玻璃基板的制造方法可以在前述除液工序結(jié)束后接著準備另外的玻璃基板來重復(fù)進行前述化學(xué)強化工序、冷卻工序和除液工序。
[0022]使用示意性地示出本實施方式的強化玻璃基板的制造方法的步驟的圖1進行說明。
[0023]圖1的(a)中示出在放入有化學(xué)強化鹽熔液的第I槽11中浸潰保持有多個玻璃基板13的載具14并使玻璃基板13與第I槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液接觸，進行化學(xué)強化的化學(xué)強化工序。
[0024]此處，作為玻璃基板13，圖1中示出平坦的板形狀的基板，但并不限定于該形狀的基板，也可以制成具有曲面的形狀、或制成各種立體形狀。這是因為，本發(fā)明中，如后所述在第2槽12中使用液體冷卻玻璃基板13，因此具有立體形狀的玻璃基板也能夠均勻冷卻，能夠制造性能穩(wěn)定的強化玻璃。
[0025]另外，對玻璃基板13的厚度也沒有特別限定，特別是從能夠優(yōu)選地用于要求薄型化的用途的玻璃基板出發(fā)，優(yōu)選為0.1mm以上且5mm以下、更優(yōu)選為0.3mm以上且3mm以下、特別優(yōu)選為0.5mm以上且2mm以下。I張玻璃基板的板厚局部不同時，優(yōu)選的是，玻璃基板的板厚的最大值和最小值均落入上述范圍內(nèi)。
[0026]對玻璃基板13的玻璃材料的組成也沒有限定，可以使用各種組成的玻璃基板。
[0027]例如，關(guān)于玻璃基板13中使用的玻璃材料的成分，可以優(yōu)選地使用以氧化物基準的摩爾分數(shù)計含有 Si0250%?80%、Al2O30.5%?20%、Na206%~ 20%, K2OO ?11%、MgOO?15%、CaOO?10%、ZrO2O?5%的玻璃材料。另外，玻璃基板13中可以更優(yōu)選地使用以氧化物基準的摩爾分數(shù)計含有Si0260%?80%、A12032%?15%、Na2OlO^?18%、K2OO ?6%、Mg02%?12%、CaOO ?5%、ZrO2O ~ 3% 的玻璃材料。
[0028]載具14可以按照以將玻璃基板13保持于載具14內(nèi)的狀態(tài)來輸送的方式構(gòu)成。此時，優(yōu)選按照如下方式構(gòu)成:通過在第I槽11或第2槽12內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液中浸潰載具14，從而能夠不需要特別的操作地使保持于內(nèi)部的玻璃基板13與化學(xué)強化鹽熔液接觸。另夕卜，優(yōu)選按照在進行除液時去除附著于玻璃基板13和載具14的化學(xué)強化鹽熔液方式構(gòu)成。
[0029]保持、輸送玻璃基板13的手段不限定于使用載具14的方式，只要按照在規(guī)定的時機與第I槽11和第2槽12中的化學(xué)強化鹽熔液接觸并能進行除液的方式構(gòu)成即可。
[0030]本發(fā)明中的化學(xué)強化工序通過使玻璃基板13與第I槽11內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液接觸來進行。通過玻璃基板13與化學(xué)強化鹽熔液接觸，從而玻璃基板13的表面附近的堿金屬(X)離子與化學(xué)強化鹽熔液中的堿金屬(Y)離子進行置換。此時，Y離子的離子半徑大于X離子的離子半徑。離子半徑大于X離子的Y離子進入到玻璃基板13的表面，從而在玻璃基板13的表面產(chǎn)生壓縮應(yīng)力，玻璃基板13得到強化。
[0031]因此，通過重復(fù)化學(xué)強化工序，第I槽11中的化學(xué)強化鹽熔液中的Y離子減少，同時X離子增加，產(chǎn)生化學(xué)強化鹽熔液的劣化。因此，進行多次化學(xué)強化工序后，化學(xué)強化鹽熔液的Y離子減少，玻璃基板13變得無法得到充分程度的化學(xué)強化時，優(yōu)選將第I槽11中的化學(xué)強化鹽熔液更換成未劣化的化學(xué)強化鹽熔液。
[0032]作為第I槽11內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液中使用的化學(xué)強化鹽，可以根據(jù)進行化學(xué)強化的玻璃基板13的材料等來選擇，例如可以使用硝酸鉀、硝酸鈉等。特別優(yōu)選的是，化學(xué)強化鹽包含硝酸鉀。
[0033]對第I槽11中進行玻璃基板13的化學(xué)強化的時間、溫度等條件沒有特別限定，可以根據(jù)所使用的玻璃基板13、化學(xué)強化鹽的種類、所要求的玻璃基板13的表面壓縮應(yīng)力的程度等來選擇。
[0034]然后，如圖1的(b)所示那樣，進行化學(xué)強化工序后，利用輸送構(gòu)件15自第I槽11取出玻璃基板13。接著，通過在第2槽12的化學(xué)強化鹽熔液內(nèi)浸潰玻璃基板13，從而使玻璃基板13與第2槽12的化學(xué)強化鹽熔液接觸。
[0035]由于優(yōu)選在化學(xué)強化工序后快速地冷卻玻璃基板13，因此自第I槽11取出的玻璃基板13不進行除液地向第2槽12輸送，但優(yōu)選在以第I槽11的化學(xué)強化鹽熔液的液位不會大幅降低的水平使附著于載具14和玻璃基板13的化學(xué)強化鹽熔液回落到第I槽11中之后進行輸送。
[0036]第2槽12的化學(xué)強化鹽熔液如上所述地使用將與第I槽11的情況實質(zhì)上相同組成的化學(xué)強化鹽熔化而成的熔液。需要說明的是，第I槽11中的化學(xué)強化工序重復(fù)進行時，第I槽11中的化學(xué)強化鹽熔液中的堿金屬離子與玻璃基板13中的堿金屬離子進行置換，因此隨著重復(fù)進行化學(xué)強化，化學(xué)強化熔融鹽劣化。
[0037]因此，第I槽11中的化學(xué)強化鹽熔液的組成在制造本發(fā)明的強化玻璃基板13的過程中發(fā)生變化。另外，在第2槽12中也會混入附著于自第I槽11輸送來的玻璃基板13、載具14等的包含X離子的化學(xué)強化鹽熔液，或者在冷卻工序中玻璃基板13的表面的X離子也會溶出到第2槽12的化學(xué)強化鹽熔液中，由此存在X離子混入到第2槽12中的可能性。因此，本發(fā)明中，實質(zhì)上相同組成的化學(xué)強化鹽熔液是指:不考慮因進行化學(xué)強化工序而產(chǎn)生的化學(xué)強化鹽熔液的劣化和因進行冷卻工序而產(chǎn)生的X離子向第2槽12中的混入所導(dǎo)致的化學(xué)強化鹽熔液的組成的變化，未劣化的第I槽11中的化學(xué)強化鹽熔液與X離子混入前的第2槽12的化學(xué)強化鹽熔液相同。
[0038]此外，為了在第I槽11中進行化學(xué)強化后冷卻玻璃基板13，第2槽12的化學(xué)強化鹽熔液的溫度T2被設(shè)定得低于第I槽11的化學(xué)強化鹽熔液的溫度(Tl)。特別是通過在進行化學(xué)強化后快速地冷卻玻璃基板13的溫度，能夠抑制壓縮應(yīng)力層的應(yīng)力松弛，因此第2槽12的溫度優(yōu)選設(shè)為盡可能低的溫度。但是，為化學(xué)強化鹽的熔點以下時，第2槽12的化學(xué)強化鹽變得無法以熔液的形式存在，無法與玻璃基板13接觸，因此設(shè)定為高于化學(xué)強化鹽的熔點Tmp的溫度。
[0039]因此，第2槽12的化學(xué)強化鹽熔液的溫度T2設(shè)定為滿足Tmp〈T2 ( Tmp+50的關(guān)系，由于如上所述地優(yōu)選第2槽12的化學(xué)強化鹽熔液的溫度低，因此更優(yōu)選滿足Tmp〈T2 ( Tmp+30。另外，由于優(yōu)選為了使化學(xué)強化鹽熔液不凝固而設(shè)定為遠離熔點的溫度，因此特別優(yōu)選為Tmp+10〈T2 ( Tmp+30。
[0040]此外，優(yōu)選在第2槽12內(nèi)強制地使化學(xué)強化鹽熔液對流。這是因為，通過使化學(xué)強化鹽熔液在第2槽12內(nèi)對流而使熔液內(nèi)的溫度更均勻，不依賴于位置地均勻冷卻配置于第2槽12內(nèi)的玻璃基板13。通過在本工序中均勻地冷卻玻璃基板13，能夠抑制玻璃基板13的強化程度的偏差。
[0041]作為使熔液對流的方法，沒有特別限定，可以使用各種手段，例如可列舉出利用攪拌機攪拌熔液進行對流的方法、利用循環(huán)裝置使第2槽12內(nèi)的熔液循環(huán)并進行對流的方法、通過吹入氣體而進行攪拌的方法等。
[0042]對于第2槽12中的進行冷卻工序的時間也沒有特別限定，可以根據(jù)玻璃基板13的溫度等來選擇。
[0043]然后，如圖1的(C)所示，利用輸送手段15自第2槽12取出玻璃基板13，進行除液工序。
[0044]除液工序是用于去除附著于玻璃基板13的表面的化學(xué)強化鹽熔液的工序，在除液工序期間，玻璃基板13的周圍溫度T3滿足Tmp〈T3 ( Tmp+50的關(guān)系。這是為了在除液工序期間防止附著于玻璃基板13的表面的化學(xué)強化鹽熔液在玻璃基板13的表面凝固。另夕卜，由于將玻璃基板13的溫度保持在化學(xué)強化鹽的熔點附近的溫度，因此能夠抑制壓縮應(yīng)力層的應(yīng)力松弛。
[0045]在除液工序期間，玻璃基板13的周圍溫度滿足上述范圍即可，但由于優(yōu)選將玻璃基板13的溫度保持得盡量較低，因此更優(yōu)選為Tmp〈T3 ( Tmp+30。進而，由于優(yōu)選為了使化學(xué)強化鹽熔液不凝固而設(shè)定為遠離熔點的溫度，因此特別優(yōu)選為Tmp+10〈T3 ( Tmp+30。
[0046]除液工序期間的玻璃基板13的周圍溫度T3可以與第2槽12的化學(xué)強化鹽熔液的溫度T2無關(guān)地進行選擇，但由于在第2槽12中進行冷卻，因此進一步優(yōu)選還滿足T3 ( T2的關(guān)系。
[0047]對于除液工序，只要按照能夠?qū)⒉ＡЩ?3的周圍保持在上述溫度范圍內(nèi)并對附著于玻璃基板13的表面的化學(xué)強化鹽熔液進行除液的方式構(gòu)成，就對具體的構(gòu)成沒有限定，例如可以采取圖1的(c)所示那樣的構(gòu)成。
[0048]圖1的(c)中，使用如下的構(gòu)成:利用輸送手段15將保持有玻璃基板13的載具14固定在第2槽12的上部，并能夠?qū)⑤d具14的周圍的溫度保持在上述溫度范圍內(nèi)。通過使用這種構(gòu)成，能夠?qū)⑼ㄟ^除液回收的化學(xué)強化鹽熔液直接返回到第2槽12中。另外，利用來自第2槽12的化學(xué)強化鹽熔液的熱，能夠使玻璃基板13的周圍成為與第2槽12的溫度相同或其附近的溫度。因此，能夠容易地將除液工序期間的玻璃基板13的周圍溫度保持在上述范圍內(nèi)。
[0049]此時，如圖1的(C)所示，以熱不易自第2槽12的開口部經(jīng)載具14的周邊部分散失的方式設(shè)置覆蓋構(gòu)件(蓋部)。需要說明的是，圖1的(c)中，作為輸送手段15所附帶的設(shè)備，記載了覆蓋構(gòu)件，但并不限定于該方式。
[0050]進而，也可以在覆蓋構(gòu)件內(nèi)部或其周邊配置用于將玻璃基板13的周圍溫度控制在規(guī)定的溫度的加熱器、絕熱材料等。
[0051]除了圖1的(C)以外，也可以采取如下的構(gòu)成:另行設(shè)置除液工序用的化學(xué)強化鹽熔液回收槽，在該槽內(nèi)將玻璃基板13的周圍溫度保持在規(guī)定的溫度范圍內(nèi)并回收化學(xué)強化鹽熔液。
[0052]通過本發(fā)明的強化玻璃基板的制造方法得到的強化玻璃基板的表面壓縮應(yīng)力優(yōu)選為200MPa以上且1200MPa以下、更優(yōu)選為400MPa以上且900MPa以下。通過具有這種表面壓縮應(yīng)力，在謀求玻璃基板的輕量化、薄型化時也能夠制成在各種用途中具有充分的強度的玻璃基板。另外，表面壓縮應(yīng)力優(yōu)選在自強化玻璃基板的表面起5 μ m?60 μ m的深度處產(chǎn)生，進一步優(yōu)選在15 μ m?50 μ m的深度處產(chǎn)生。通過使表面壓縮應(yīng)力在前述范圍的深度處產(chǎn)生，從而即使在玻璃基板的表面上產(chǎn)生劃痕等也能夠抑制強化玻璃基板的裂紋，故而優(yōu)選。
[0053]根據(jù)以上說明的本發(fā)明的強化玻璃基板的制造方法，使用第2槽的化學(xué)強化鹽熔液冷卻進行化學(xué)強化工序后的玻璃基板，然后進行除液，從而能夠抑制壓縮應(yīng)力層的應(yīng)力松弛，并且防止化學(xué)強化鹽在玻璃基板的表面凝固。進而，冷卻玻璃基板時，利用第2槽的化學(xué)強化鹽熔液進行冷卻，從而能夠均勻地冷卻，能夠抑制玻璃基板的強化程度產(chǎn)生偏差。
[0054]另外，第I槽和第2槽的化學(xué)強化鹽熔液使用實質(zhì)上相同組成的化學(xué)強化鹽，因此即使在一者的化學(xué)強化鹽熔液進入到另一者時，也不易引起各槽的化學(xué)強化鹽熔液的組成的變化，能夠使玻璃基板的強化程度大致均勻。進而，能夠比以往減少化學(xué)強化鹽熔液的更換頻率，因此能夠提高生產(chǎn)率。
[0055]產(chǎn)業(yè)h的可利用件
[0056]本發(fā)明可以用于各種玻璃基板的制造。
[0057]本申請基于2012年4月27日向日本專利局申請的日本特愿2012-103245主張優(yōu)先權(quán),通過參照而包含該申請的全部內(nèi)容。
[0058]附圖標記說明
[0059]11 第 I槽
[0060]12 第 2 槽
[0061]13玻璃基板
【權(quán)利要求】
1.一種強化玻璃基板的制造方法，其特征在于，具有如下工序: 使玻璃基板與第I槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液接觸的化學(xué)強化工序； 使完成了化學(xué)強化工序的所述玻璃基板與第2槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液接觸的冷卻工序；以及 去除附著于所述玻璃基板的表面的化學(xué)強化鹽熔液的除液工序， 所述第I槽和所述第2槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液使用實質(zhì)上相同組成的化學(xué)強化鹽，所述第2槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液的溫度T2低于第I槽的化學(xué)強化鹽熔液的溫度，且與所述化學(xué)強化鹽的熔點Tmp滿足Tmp〈T2 ( Tmp+50的關(guān)系， 所述除液工序中的所述玻璃基板的周圍溫度T3滿足Tmp〈T3 ( Tmp+50的關(guān)系。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的強化玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述化學(xué)強化鹽包含硝酸鉀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的強化玻璃基板的制造方法，其特征在于，在所述第2槽內(nèi)強制地使所述化學(xué)強化鹽熔液對流。
4.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項所述的強化玻璃基板的制造方法，其中，所述玻璃基板中使用的玻璃材料的成分以氧化物基準的摩爾分數(shù)計含有: Si0250 ?80%、
Al2O30.5 ?20%、 Na206 ?20%、 K2OO ?11%、 MgOO ?15%、 CaOO ?10%、 ZrO2O ?5%。
【文檔編號】C03C21/00GK104284871SQ201380021996
【公開日】2015年1月14日 申請日期:2013年4月18日 優(yōu)先權(quán)日:2012年4月27日
【發(fā)明者】堀順士 申請人:旭硝子株式會社
【專利摘要】本發(fā)明提供一種強化玻璃基板的制造方法，其特征在于，具有如下的工序：使玻璃基板與第1槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液接觸的化學(xué)強化工序；使完成了化學(xué)強化工序的前述玻璃基板與第2槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液接觸的冷卻工序；以及去除附著于玻璃基板的表面的化學(xué)強化鹽熔液的除液工序，前述第1槽和前述第2槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液使用實質(zhì)上相同組成的化學(xué)強化鹽，前述第2槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液的溫度T2低于第1槽的化學(xué)強化鹽熔液的溫度，且與前述化學(xué)強化鹽的熔點Tmp滿足Tmp<T2≤Tmp+50的關(guān)系，前述除液工序中的前述玻璃基板的周圍溫度T3滿足Tmp<T3≤Tmp+50的關(guān)系。
【專利說明】強化玻璃基板制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及強化玻璃基板的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]玻璃基板正在顯示器、太陽能電池用的蓋板玻璃等中使用。近年來，根據(jù)用途，要求玻璃基板的輕量化、薄型化以及強度的維持、提高。
[0003]作為提高玻璃基板的強度的一種方法，已知有進行化學(xué)強化的方法?；瘜W(xué)強化是指，通過使玻璃基板與化學(xué)強化鹽熔液接觸來改變玻璃基板表面的組成、并在表面形成壓縮應(yīng)力層的強化方法。
[0004]進行化學(xué)強化的步驟的一例中，在化學(xué)強化鹽熔液中浸潰玻璃基板而進行化學(xué)強化后，在被保持為與化學(xué)強化鹽熔液相同溫度下的環(huán)境中保持規(guī)定時間。該規(guī)定時間后，對附著于玻璃基板的化學(xué)強化鹽熔液進行除液，然后進行空氣冷卻。
[0005]然而，在除液工序期間，由于玻璃基板被保持在高溫下，因此有時會產(chǎn)生壓縮應(yīng)力層的應(yīng)力松弛，強化程度降低。
[0006]為了抑制壓縮應(yīng)力層的應(yīng)力松弛，也可以考慮縮短除液的時間、或完全不進行除液。然而，這些可考慮的方法的情況下，附著、殘留于玻璃基板的表面的化學(xué)強化鹽熔液在玻璃基板表面上凝固，因此變得無法回收，從資源保護、成本的觀點出發(fā)不優(yōu)選。進而，此時，為了去除附著于玻璃基板表面的化學(xué)強化鹽熔液的凝固物，對清洗玻璃基板的工序的負荷變大。
[0007]另外，除液工序后，利用空氣冷卻將玻璃基板冷卻至室溫左右的情況下，在直接接觸空氣的部分與不直接接觸空氣的部分之間產(chǎn)生溫度差。特別是在化學(xué)強化工序中，為了一次對多個玻璃基板進行處理，在將玻璃基板安裝在被稱為載具(cassette)的架子的狀態(tài)下進行強化處理。因此，冷卻工序中，根據(jù)安裝有玻璃基板的載具內(nèi)的位置，有時壓縮應(yīng)力層的應(yīng)力松弛程度產(chǎn)生差異、得到的強化玻璃的性能產(chǎn)生偏差。
[0008]作為在進行化學(xué)強化工序后冷卻玻璃基板的方法，專利文獻I中提出了使玻璃基板接觸熔化有固化溫度低于化學(xué)強化鹽的物質(zhì)而得到的處理液的方法的一例。
[0009]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0010]專利文獻
[0011]專利文獻1:國際公開第2007/111149號
【發(fā)明內(nèi)容】
[0012]發(fā)明要解決的問題
[0013]然而，如專利文獻I中所提出的那樣冷卻玻璃基板的方法的情況下，由于使用與化學(xué)強化鹽熔液的組成、材料不同的冷卻用的處理液，因此有時在冷卻用的處理液中會混入化學(xué)強化鹽熔液的成分。另外，保持玻璃基板的載具被重復(fù)使用，因此有時附著于載具的冷卻用的處理液會混入到化學(xué)強化熔液中。因此，該提出的冷卻玻璃基板的方法中，化學(xué)強化鹽熔液和冷卻處理液的組成容易變化，有時玻璃基板的強化程度根據(jù)批次而產(chǎn)生偏差。另外，若化學(xué)強化鹽熔液和冷卻用的處理液容易發(fā)生組成變化，則需要以高頻率更換化學(xué)強化鹽熔液和冷卻用的處理液，從資源保護、成本的觀點出發(fā)不優(yōu)選。進而，由于更換化學(xué)強化鹽熔液和冷卻用的處理液的期間需要停止生產(chǎn)，因此導(dǎo)致生產(chǎn)率降低。
[0014]本發(fā)明鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的問題，其目的之一在于，提供在進行化學(xué)強化時能夠抑制壓縮應(yīng)力層的應(yīng)力松弛并生產(chǎn)率良好地制造品質(zhì)穩(wěn)定的強化玻璃基板的強化玻璃基板的制造方法。
[0015]用于解決問題的方案
[0016]本發(fā)明提供一種強化玻璃基板的制造方法，其特征在于，具有如下的工序:使玻璃基板與第I槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液接觸的化學(xué)強化工序；使完成了化學(xué)強化工序的前述玻璃基板與第2槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液接觸的冷卻工序；以及去除附著于前述玻璃基板的表面的化學(xué)強化鹽熔液的除液工序，前述第I槽和前述第2槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液使用實質(zhì)上相同組成的化學(xué)強化鹽，前述第2槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液的溫度T2低于第I槽的化學(xué)強化鹽熔液的溫度，且與前述化學(xué)強化鹽的熔點Tmp滿足Tmp〈T2 ( Tmp+50的關(guān)系，前述除液工序中的前述玻璃基板的周圍溫度T3滿足Tmp〈T3 ( Tmp+50的關(guān)系。
[0017]發(fā)明的效果
[0018]根據(jù)本發(fā)明，能夠抑制壓縮應(yīng)力層的應(yīng)力松弛，生產(chǎn)率良好地制造品質(zhì)穩(wěn)定的強化玻璃基板。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0019]圖1為本發(fā)明的強化玻璃基板的制造方法的說明圖。
【具體實施方式】
[0020]以下，參照【專利附圖】
【附圖說明】用于實施本發(fā)明的方式，但本發(fā)明不限定于下述實施方式，可以不超出本發(fā)明的范圍地、對下述實施方式加以各種變形和替換。
[0021]本發(fā)明的強化玻璃基板的制造方法具有如下的工序:使玻璃基板與第I槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液接觸的化學(xué)強化工序；使完成了化學(xué)強化工序的玻璃基板與第2槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液接觸的冷卻工序；以及去除附著于玻璃基板的表面的化學(xué)強化鹽熔液的除液工序。此外，前述第I槽和第2槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液使用實質(zhì)上相同組成的化學(xué)強化鹽，前述第2槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液的溫度T2低于第I槽的化學(xué)強化鹽熔液的溫度，且與前述化學(xué)強化鹽的熔點Tmp滿足Tmp〈T2 ( Tmp+50的關(guān)系。另外，特征在于，前述除液工序中的玻璃基板的周圍溫度T3滿足Tmp〈T3 ( Tmp+50的關(guān)系。需要說明的是，本發(fā)明的強化玻璃基板的制造方法可以在前述除液工序結(jié)束后接著準備另外的玻璃基板來重復(fù)進行前述化學(xué)強化工序、冷卻工序和除液工序。
[0022]使用示意性地示出本實施方式的強化玻璃基板的制造方法的步驟的圖1進行說明。
[0023]圖1的(a)中示出在放入有化學(xué)強化鹽熔液的第I槽11中浸潰保持有多個玻璃基板13的載具14并使玻璃基板13與第I槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液接觸，進行化學(xué)強化的化學(xué)強化工序。
[0024]此處，作為玻璃基板13，圖1中示出平坦的板形狀的基板，但并不限定于該形狀的基板，也可以制成具有曲面的形狀、或制成各種立體形狀。這是因為，本發(fā)明中，如后所述在第2槽12中使用液體冷卻玻璃基板13，因此具有立體形狀的玻璃基板也能夠均勻冷卻，能夠制造性能穩(wěn)定的強化玻璃。
[0025]另外，對玻璃基板13的厚度也沒有特別限定，特別是從能夠優(yōu)選地用于要求薄型化的用途的玻璃基板出發(fā)，優(yōu)選為0.1mm以上且5mm以下、更優(yōu)選為0.3mm以上且3mm以下、特別優(yōu)選為0.5mm以上且2mm以下。I張玻璃基板的板厚局部不同時，優(yōu)選的是，玻璃基板的板厚的最大值和最小值均落入上述范圍內(nèi)。
[0026]對玻璃基板13的玻璃材料的組成也沒有限定，可以使用各種組成的玻璃基板。
[0027]例如，關(guān)于玻璃基板13中使用的玻璃材料的成分，可以優(yōu)選地使用以氧化物基準的摩爾分數(shù)計含有 Si0250%?80%、Al2O30.5%?20%、Na206%~ 20%, K2OO ?11%、MgOO?15%、CaOO?10%、ZrO2O?5%的玻璃材料。另外，玻璃基板13中可以更優(yōu)選地使用以氧化物基準的摩爾分數(shù)計含有Si0260%?80%、A12032%?15%、Na2OlO^?18%、K2OO ?6%、Mg02%?12%、CaOO ?5%、ZrO2O ~ 3% 的玻璃材料。
[0028]載具14可以按照以將玻璃基板13保持于載具14內(nèi)的狀態(tài)來輸送的方式構(gòu)成。此時，優(yōu)選按照如下方式構(gòu)成:通過在第I槽11或第2槽12內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液中浸潰載具14，從而能夠不需要特別的操作地使保持于內(nèi)部的玻璃基板13與化學(xué)強化鹽熔液接觸。另夕卜，優(yōu)選按照在進行除液時去除附著于玻璃基板13和載具14的化學(xué)強化鹽熔液方式構(gòu)成。
[0029]保持、輸送玻璃基板13的手段不限定于使用載具14的方式，只要按照在規(guī)定的時機與第I槽11和第2槽12中的化學(xué)強化鹽熔液接觸并能進行除液的方式構(gòu)成即可。
[0030]本發(fā)明中的化學(xué)強化工序通過使玻璃基板13與第I槽11內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液接觸來進行。通過玻璃基板13與化學(xué)強化鹽熔液接觸，從而玻璃基板13的表面附近的堿金屬(X)離子與化學(xué)強化鹽熔液中的堿金屬(Y)離子進行置換。此時，Y離子的離子半徑大于X離子的離子半徑。離子半徑大于X離子的Y離子進入到玻璃基板13的表面，從而在玻璃基板13的表面產(chǎn)生壓縮應(yīng)力，玻璃基板13得到強化。
[0031]因此，通過重復(fù)化學(xué)強化工序，第I槽11中的化學(xué)強化鹽熔液中的Y離子減少，同時X離子增加，產(chǎn)生化學(xué)強化鹽熔液的劣化。因此，進行多次化學(xué)強化工序后，化學(xué)強化鹽熔液的Y離子減少，玻璃基板13變得無法得到充分程度的化學(xué)強化時，優(yōu)選將第I槽11中的化學(xué)強化鹽熔液更換成未劣化的化學(xué)強化鹽熔液。
[0032]作為第I槽11內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液中使用的化學(xué)強化鹽，可以根據(jù)進行化學(xué)強化的玻璃基板13的材料等來選擇，例如可以使用硝酸鉀、硝酸鈉等。特別優(yōu)選的是，化學(xué)強化鹽包含硝酸鉀。
[0033]對第I槽11中進行玻璃基板13的化學(xué)強化的時間、溫度等條件沒有特別限定，可以根據(jù)所使用的玻璃基板13、化學(xué)強化鹽的種類、所要求的玻璃基板13的表面壓縮應(yīng)力的程度等來選擇。
[0034]然后，如圖1的(b)所示那樣，進行化學(xué)強化工序后，利用輸送構(gòu)件15自第I槽11取出玻璃基板13。接著，通過在第2槽12的化學(xué)強化鹽熔液內(nèi)浸潰玻璃基板13，從而使玻璃基板13與第2槽12的化學(xué)強化鹽熔液接觸。
[0035]由于優(yōu)選在化學(xué)強化工序后快速地冷卻玻璃基板13，因此自第I槽11取出的玻璃基板13不進行除液地向第2槽12輸送，但優(yōu)選在以第I槽11的化學(xué)強化鹽熔液的液位不會大幅降低的水平使附著于載具14和玻璃基板13的化學(xué)強化鹽熔液回落到第I槽11中之后進行輸送。
[0036]第2槽12的化學(xué)強化鹽熔液如上所述地使用將與第I槽11的情況實質(zhì)上相同組成的化學(xué)強化鹽熔化而成的熔液。需要說明的是，第I槽11中的化學(xué)強化工序重復(fù)進行時，第I槽11中的化學(xué)強化鹽熔液中的堿金屬離子與玻璃基板13中的堿金屬離子進行置換，因此隨著重復(fù)進行化學(xué)強化，化學(xué)強化熔融鹽劣化。
[0037]因此，第I槽11中的化學(xué)強化鹽熔液的組成在制造本發(fā)明的強化玻璃基板13的過程中發(fā)生變化。另外，在第2槽12中也會混入附著于自第I槽11輸送來的玻璃基板13、載具14等的包含X離子的化學(xué)強化鹽熔液，或者在冷卻工序中玻璃基板13的表面的X離子也會溶出到第2槽12的化學(xué)強化鹽熔液中，由此存在X離子混入到第2槽12中的可能性。因此，本發(fā)明中，實質(zhì)上相同組成的化學(xué)強化鹽熔液是指:不考慮因進行化學(xué)強化工序而產(chǎn)生的化學(xué)強化鹽熔液的劣化和因進行冷卻工序而產(chǎn)生的X離子向第2槽12中的混入所導(dǎo)致的化學(xué)強化鹽熔液的組成的變化，未劣化的第I槽11中的化學(xué)強化鹽熔液與X離子混入前的第2槽12的化學(xué)強化鹽熔液相同。
[0038]此外，為了在第I槽11中進行化學(xué)強化后冷卻玻璃基板13，第2槽12的化學(xué)強化鹽熔液的溫度T2被設(shè)定得低于第I槽11的化學(xué)強化鹽熔液的溫度(Tl)。特別是通過在進行化學(xué)強化后快速地冷卻玻璃基板13的溫度，能夠抑制壓縮應(yīng)力層的應(yīng)力松弛，因此第2槽12的溫度優(yōu)選設(shè)為盡可能低的溫度。但是，為化學(xué)強化鹽的熔點以下時，第2槽12的化學(xué)強化鹽變得無法以熔液的形式存在，無法與玻璃基板13接觸，因此設(shè)定為高于化學(xué)強化鹽的熔點Tmp的溫度。
[0039]因此，第2槽12的化學(xué)強化鹽熔液的溫度T2設(shè)定為滿足Tmp〈T2 ( Tmp+50的關(guān)系，由于如上所述地優(yōu)選第2槽12的化學(xué)強化鹽熔液的溫度低，因此更優(yōu)選滿足Tmp〈T2 ( Tmp+30。另外，由于優(yōu)選為了使化學(xué)強化鹽熔液不凝固而設(shè)定為遠離熔點的溫度，因此特別優(yōu)選為Tmp+10〈T2 ( Tmp+30。
[0040]此外，優(yōu)選在第2槽12內(nèi)強制地使化學(xué)強化鹽熔液對流。這是因為，通過使化學(xué)強化鹽熔液在第2槽12內(nèi)對流而使熔液內(nèi)的溫度更均勻，不依賴于位置地均勻冷卻配置于第2槽12內(nèi)的玻璃基板13。通過在本工序中均勻地冷卻玻璃基板13，能夠抑制玻璃基板13的強化程度的偏差。
[0041]作為使熔液對流的方法，沒有特別限定，可以使用各種手段，例如可列舉出利用攪拌機攪拌熔液進行對流的方法、利用循環(huán)裝置使第2槽12內(nèi)的熔液循環(huán)并進行對流的方法、通過吹入氣體而進行攪拌的方法等。
[0042]對于第2槽12中的進行冷卻工序的時間也沒有特別限定，可以根據(jù)玻璃基板13的溫度等來選擇。
[0043]然后，如圖1的(C)所示，利用輸送手段15自第2槽12取出玻璃基板13，進行除液工序。
[0044]除液工序是用于去除附著于玻璃基板13的表面的化學(xué)強化鹽熔液的工序，在除液工序期間，玻璃基板13的周圍溫度T3滿足Tmp〈T3 ( Tmp+50的關(guān)系。這是為了在除液工序期間防止附著于玻璃基板13的表面的化學(xué)強化鹽熔液在玻璃基板13的表面凝固。另夕卜，由于將玻璃基板13的溫度保持在化學(xué)強化鹽的熔點附近的溫度，因此能夠抑制壓縮應(yīng)力層的應(yīng)力松弛。
[0045]在除液工序期間，玻璃基板13的周圍溫度滿足上述范圍即可，但由于優(yōu)選將玻璃基板13的溫度保持得盡量較低，因此更優(yōu)選為Tmp〈T3 ( Tmp+30。進而，由于優(yōu)選為了使化學(xué)強化鹽熔液不凝固而設(shè)定為遠離熔點的溫度，因此特別優(yōu)選為Tmp+10〈T3 ( Tmp+30。
[0046]除液工序期間的玻璃基板13的周圍溫度T3可以與第2槽12的化學(xué)強化鹽熔液的溫度T2無關(guān)地進行選擇，但由于在第2槽12中進行冷卻，因此進一步優(yōu)選還滿足T3 ( T2的關(guān)系。
[0047]對于除液工序，只要按照能夠?qū)⒉ＡЩ?3的周圍保持在上述溫度范圍內(nèi)并對附著于玻璃基板13的表面的化學(xué)強化鹽熔液進行除液的方式構(gòu)成，就對具體的構(gòu)成沒有限定，例如可以采取圖1的(c)所示那樣的構(gòu)成。
[0048]圖1的(c)中，使用如下的構(gòu)成:利用輸送手段15將保持有玻璃基板13的載具14固定在第2槽12的上部，并能夠?qū)⑤d具14的周圍的溫度保持在上述溫度范圍內(nèi)。通過使用這種構(gòu)成，能夠?qū)⑼ㄟ^除液回收的化學(xué)強化鹽熔液直接返回到第2槽12中。另外，利用來自第2槽12的化學(xué)強化鹽熔液的熱，能夠使玻璃基板13的周圍成為與第2槽12的溫度相同或其附近的溫度。因此，能夠容易地將除液工序期間的玻璃基板13的周圍溫度保持在上述范圍內(nèi)。
[0049]此時，如圖1的(C)所示，以熱不易自第2槽12的開口部經(jīng)載具14的周邊部分散失的方式設(shè)置覆蓋構(gòu)件(蓋部)。需要說明的是，圖1的(c)中，作為輸送手段15所附帶的設(shè)備，記載了覆蓋構(gòu)件，但并不限定于該方式。
[0050]進而，也可以在覆蓋構(gòu)件內(nèi)部或其周邊配置用于將玻璃基板13的周圍溫度控制在規(guī)定的溫度的加熱器、絕熱材料等。
[0051]除了圖1的(C)以外，也可以采取如下的構(gòu)成:另行設(shè)置除液工序用的化學(xué)強化鹽熔液回收槽，在該槽內(nèi)將玻璃基板13的周圍溫度保持在規(guī)定的溫度范圍內(nèi)并回收化學(xué)強化鹽熔液。
[0052]通過本發(fā)明的強化玻璃基板的制造方法得到的強化玻璃基板的表面壓縮應(yīng)力優(yōu)選為200MPa以上且1200MPa以下、更優(yōu)選為400MPa以上且900MPa以下。通過具有這種表面壓縮應(yīng)力，在謀求玻璃基板的輕量化、薄型化時也能夠制成在各種用途中具有充分的強度的玻璃基板。另外，表面壓縮應(yīng)力優(yōu)選在自強化玻璃基板的表面起5 μ m?60 μ m的深度處產(chǎn)生，進一步優(yōu)選在15 μ m?50 μ m的深度處產(chǎn)生。通過使表面壓縮應(yīng)力在前述范圍的深度處產(chǎn)生，從而即使在玻璃基板的表面上產(chǎn)生劃痕等也能夠抑制強化玻璃基板的裂紋，故而優(yōu)選。
[0053]根據(jù)以上說明的本發(fā)明的強化玻璃基板的制造方法，使用第2槽的化學(xué)強化鹽熔液冷卻進行化學(xué)強化工序后的玻璃基板，然后進行除液，從而能夠抑制壓縮應(yīng)力層的應(yīng)力松弛，并且防止化學(xué)強化鹽在玻璃基板的表面凝固。進而，冷卻玻璃基板時，利用第2槽的化學(xué)強化鹽熔液進行冷卻，從而能夠均勻地冷卻，能夠抑制玻璃基板的強化程度產(chǎn)生偏差。
[0054]另外，第I槽和第2槽的化學(xué)強化鹽熔液使用實質(zhì)上相同組成的化學(xué)強化鹽，因此即使在一者的化學(xué)強化鹽熔液進入到另一者時，也不易引起各槽的化學(xué)強化鹽熔液的組成的變化，能夠使玻璃基板的強化程度大致均勻。進而，能夠比以往減少化學(xué)強化鹽熔液的更換頻率，因此能夠提高生產(chǎn)率。
[0055]產(chǎn)業(yè)h的可利用件
[0056]本發(fā)明可以用于各種玻璃基板的制造。
[0057]本申請基于2012年4月27日向日本專利局申請的日本特愿2012-103245主張優(yōu)先權(quán),通過參照而包含該申請的全部內(nèi)容。
[0058]附圖標記說明
[0059]11 第 I槽
[0060]12 第 2 槽
[0061]13玻璃基板
【權(quán)利要求】
1.一種強化玻璃基板的制造方法，其特征在于，具有如下工序: 使玻璃基板與第I槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液接觸的化學(xué)強化工序； 使完成了化學(xué)強化工序的所述玻璃基板與第2槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液接觸的冷卻工序；以及 去除附著于所述玻璃基板的表面的化學(xué)強化鹽熔液的除液工序， 所述第I槽和所述第2槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液使用實質(zhì)上相同組成的化學(xué)強化鹽，所述第2槽內(nèi)的化學(xué)強化鹽熔液的溫度T2低于第I槽的化學(xué)強化鹽熔液的溫度，且與所述化學(xué)強化鹽的熔點Tmp滿足Tmp〈T2 ( Tmp+50的關(guān)系， 所述除液工序中的所述玻璃基板的周圍溫度T3滿足Tmp〈T3 ( Tmp+50的關(guān)系。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的強化玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述化學(xué)強化鹽包含硝酸鉀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的強化玻璃基板的制造方法，其特征在于，在所述第2槽內(nèi)強制地使所述化學(xué)強化鹽熔液對流。
4.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項所述的強化玻璃基板的制造方法，其中，所述玻璃基板中使用的玻璃材料的成分以氧化物基準的摩爾分數(shù)計含有: Si0250 ?80%、
Al2O30.5 ?20%、 Na206 ?20%、 K2OO ?11%、 MgOO ?15%、 CaOO ?10%、 ZrO2O ?5%。
【文檔編號】C03C21/00GK104284871SQ201380021996
【公開日】2015年1月14日 申請日期:2013年4月18日 優(yōu)先權(quán)日:2012年4月27日
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