一種新型透明導(dǎo)電膜玻璃減薄承載裝置制造方法
【專利摘要】一種新型透明導(dǎo)電膜玻璃減薄承載裝置，包括夾持平板玻璃的真空吸盤，真空吸盤包括剛性平板、設(shè)置在剛性平板上的閥門以及密閉圍墻，剛性平板比平板玻璃尺寸至少大20毫米，以作為該真空吸盤的支撐骨架，剛性平板的材料可以是PVC、有機(jī)玻璃等材料，剛性平板表面距離邊緣至少5毫米的區(qū)域內(nèi)設(shè)置有環(huán)形開口溝槽。本實(shí)用新型豎直承載的玻璃在傳送過(guò)程中不會(huì)掉落、不會(huì)傾覆，蝕刻面受較大垂直方向的噴淋液壓力時(shí)不會(huì)破損。
【專利說(shuō)明】一種新型透明導(dǎo)電膜玻璃減薄承載裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及電子【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種新型透明導(dǎo)電膜玻璃減薄承載裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]透明導(dǎo)電膜玻璃是制造平板顯示器(FPD)的主要材料，廣泛應(yīng)用于液晶顯示器(LCD)、等離子顯示屏(PDP)、觸摸屏(TP)、有機(jī)發(fā)光顯示器(OLED)等領(lǐng)域。隨著當(dāng)今世界高新技術(shù)產(chǎn)品飛速發(fā)展，對(duì)FPD面板的輕薄化要求越來(lái)越高，因而透明導(dǎo)電膜玻璃的減薄工藝成為了終端顯示產(chǎn)品能否實(shí)現(xiàn)薄型化的核心問(wèn)題之一。
[0003]所謂減薄就是用化學(xué)藥液將透明導(dǎo)電膜玻璃基板均勻蝕刻到目標(biāo)厚度，從減薄方式來(lái)講分單面減薄和雙面減薄兩種。單面減薄即對(duì)玻璃基板的其中一面采取保護(hù)措施，對(duì)另一面進(jìn)行減薄；雙面減薄即對(duì)玻璃基板的兩面同時(shí)進(jìn)行減薄。從減薄工藝來(lái)講，目前流行的減薄工藝有浸泡減薄工藝和噴淋減薄工藝，浸泡減薄工藝是把玻璃基板浸泡在化學(xué)藥液中，然后輔助以鼓泡或拋動(dòng)等機(jī)械手段，其玻璃夾具通常是帶有卡槽的蝕刻籃，通過(guò)將玻璃基板兩端卡在相鄰的卡條間實(shí)現(xiàn)夾持固定(如專利CN101234853A描述)；噴淋減薄工藝是用水平傳輸輥?zhàn)鳛橹尾考ㄟ^(guò)從玻璃輸送方向的左右支撐玻璃板兩端來(lái)實(shí)現(xiàn)夾持固定，然后向其表面均勻噴射化學(xué)藥液，(如專利CN1669967A描述)。浸泡減薄工藝和噴淋減薄工藝相比，后者蝕刻速率快，藥液利用率高，得到的玻璃基板厚度均勻，表觀缺陷少，因而代表了減薄工藝的主流方向。
[0004]采用上述噴淋蝕刻工藝進(jìn)行透明導(dǎo)電膜玻璃單面減薄時(shí)，其夾持治具是該方法實(shí)施的關(guān)鍵。一方面要保護(hù)鍍導(dǎo)電膜面使其免受化學(xué)藥液侵蝕；另一方面要實(shí)現(xiàn)另一面沒(méi)有任何遮擋物體的夾持狀態(tài)以保證減薄的均勻性。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]針對(duì)上述問(wèn)題，本實(shí)用新型旨在提供一種新型透明導(dǎo)電膜玻璃減薄承載裝置。
[0006]一種新型透明導(dǎo)電膜玻璃減薄承載裝置包括夾持平板玻璃的真空吸盤，該真空吸盤包括剛性平板、設(shè)置在剛性平板上的閥門以及密閉圍墻，剛性平板比平板玻璃尺寸至少大20毫米，以作為該真空吸盤的支撐骨架，剛性平板的材料可以是PVC、有機(jī)玻璃等材料，剛性平板表面距離邊緣至少5毫米的區(qū)域內(nèi)設(shè)置有環(huán)形開口溝槽，其深度優(yōu)選為0.4毫米至0.9毫米，寬度優(yōu)選為3毫米至7毫米，其輪廓尺寸優(yōu)選比待夾持平板玻璃大2毫米至5毫米。
[0007]在開口溝槽上緊密地貼附有彈性變形材料(如橡膠、柔性塑料等)制成的密閉圍墻，該彈性變形材料厚度優(yōu)選比開口溝槽的深度大0.2毫米至0.6毫米，其輪廓形狀與平板玻璃平面輪廓形狀相適，所述彈性變形材料密閉地貼附在開口溝槽上，剛性平板內(nèi)部設(shè)置密閉抽氣孔道，并延伸到真空吸盤邊緣之外同側(cè)出口至少5毫米處的的閥門，此外，抽氣孔道一端與真空緩沖腔體件目通，另一端則與密閉圍墻所圍空間的內(nèi)部相通，閥門是垂直于剛性平板的開孔，通過(guò)此閥門的開關(guān)來(lái)控制抽氣和/或進(jìn)氣從而實(shí)現(xiàn)裝卸平板玻璃片。當(dāng)平板玻璃鍍有透明導(dǎo)電膜的一面與密閉圍墻輪廓對(duì)應(yīng)貼附、密閉空腔抽成真空時(shí)玻璃基板牢固地夾持在真空吸盤上。在具體制作中，剛性平板由兩塊同質(zhì)平板貼合而成，其中一塊平板的一面鉆有充當(dāng)抽氣孔道的通孔，另一面銑有充當(dāng)真空緩沖腔體的多個(gè)溝槽，該通孔與溝槽相通。
[0008]本實(shí)用新型中的真空吸盤呈豎立狀態(tài)，其底部固定有傳輸輥，傳輸輥前后端部?jī)?yōu)選為錐形并且其軸線與真空吸盤上的剛性平板底部邊緣平行且在同一平面；真空吸盤頂部位置固定有多組導(dǎo)向滑輪，導(dǎo)向滑輪的轉(zhuǎn)動(dòng)平面為水平面并且其軸線與真空吸盤上的剛性平板底部邊緣垂直于且在同一平面。在傳送過(guò)程中，傳輸輥落在外圍設(shè)備的凹型滾輪上，導(dǎo)向滑輪進(jìn)入相應(yīng)設(shè)備的導(dǎo)向槽內(nèi)，通過(guò)凹槽滾輪的旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)裝置進(jìn)行移動(dòng)，導(dǎo)向滑輪可保證承載裝置在垂直狀態(tài)下移動(dòng)并減小阻力。
[0009]所示平板玻璃位于真空吸盤上接受噴淋設(shè)備對(duì)其進(jìn)行的噴淋減薄操作。本實(shí)用新型的承載裝置，在實(shí)現(xiàn)透明導(dǎo)電膜玻璃鍍膜面密閉固定的同時(shí)，可借助承載裝置底部的傳輸輥和頂部的導(dǎo)向滑輪在特定減薄設(shè)備傳輸軌道內(nèi)穩(wěn)定傳輸，此方法使得透明導(dǎo)電膜玻璃的減薄面在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中與減薄設(shè)備噴射出的化學(xué)藥液均勻接觸，通過(guò)藥液的沖刷作用及時(shí)清除掉玻璃表面化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物，避免產(chǎn)物的附著和堆積，從而提高了透明導(dǎo)電膜玻璃減薄面的表觀質(zhì)量和厚度均勻性。
[0010]所示本實(shí)用新型中，還可以在剛性平板的兩側(cè)獨(dú)立地設(shè)置密閉圍墻和閥門，用于同時(shí)裝載兩片相對(duì)的透明導(dǎo)電膜玻璃，真空緩沖腔體濃兩片玻璃之間的剛性平板中，真空緩沖腔體過(guò)抽氣孔道與密閉圍墻內(nèi)的區(qū)域相同，剛性平板的真空吸盤的頂部有導(dǎo)向滑輪，底部有傳輸輥，從而實(shí)現(xiàn)一個(gè)承載裝置承載兩塊透明導(dǎo)電玻璃，同時(shí)進(jìn)行單面減薄。
[0011]進(jìn)一步地，還可以在剛性平板兩側(cè)獨(dú)立地設(shè)置組密閉圍墻和閥門，實(shí)現(xiàn)同時(shí)裝載片透明導(dǎo)電膜玻璃，同時(shí)對(duì)片玻璃的單面進(jìn)行減薄而另一導(dǎo)電膜得以完美保護(hù)。同樣的，真空吸盤的頂部有導(dǎo)向滑輪，底部有傳輸輥。
[0012]本實(shí)用新型的承載裝置能方便地進(jìn)行透明導(dǎo)電膜玻璃單面減薄工藝過(guò)程的裝卸片，保證工作過(guò)程中整個(gè)裝置不漏氣、不滲液，并且在對(duì)透明導(dǎo)電膜玻璃固定的同時(shí)實(shí)現(xiàn)對(duì)鍍膜面的密閉保護(hù)，無(wú)需增加額外的鍍膜面保護(hù)層制作和去除工序，一方面簡(jiǎn)化了單面減薄透明導(dǎo)電玻璃的制造工序，減少原材料和設(shè)備投資，降低了生產(chǎn)成本。另一方面，本實(shí)用新型的承載裝置實(shí)現(xiàn)了透明導(dǎo)電。
[0013]有益效果
[0014]本實(shí)用新型有以下優(yōu)點(diǎn):1.在被減薄玻璃的豎直承載狀態(tài)下，實(shí)現(xiàn)被減薄玻璃面垂直方向上無(wú)任何遮擋物；2.豎直承載的玻璃在傳送過(guò)程中不會(huì)掉落、不會(huì)傾覆，蝕刻面受較大垂直方向的噴淋液壓力時(shí)不會(huì)破損。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1為本實(shí)用新型一種新型透明導(dǎo)電膜玻璃減薄承載裝置一較優(yōu)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2為圖1的側(cè)視圖；
[0017]圖3為采用本實(shí)用新型所述承載裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；[0018]圖4為實(shí)用新型所述承載裝置一實(shí)施例的示意圖；
[0019]圖5為實(shí)用新型所述承載裝置另一實(shí)施例的示意圖。
[0020]圖中:1、真空吸盤；2、傳輸輥；3、導(dǎo)向滑輪；4、平板玻璃；7、噴淋設(shè)備；la、剛性平板；lb、密閉圍墻；le、抽氣孔道；Id、閥門；le、開口溝槽；lf、真空緩沖腔體。
【具體實(shí)施方式】
[0021]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0022]圖1是本實(shí)用新型一種新型透明導(dǎo)電膜玻璃減薄承載裝置一較優(yōu)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)，圖2為圖1的側(cè)視圖。一種新型透明導(dǎo)電膜玻璃減薄承載裝置包括夾持平板玻璃的真空吸盤1，該真空吸盤I包括剛性平板la、設(shè)置在剛性平板Ia上的閥門Id以及密閉圍墻lb。剛性平板Ia比平板玻璃4尺寸至少大20毫米，以作為該真空吸盤I的支撐骨架，剛性平板Ia的材料可以是PVC、有機(jī)玻璃等材料，剛性平板Ia表面距離邊緣至少5毫米的區(qū)域內(nèi)設(shè)置有環(huán)形開口溝槽le，其深度優(yōu)選為0.4毫米至0.9毫米，寬度優(yōu)選為3毫米至7毫米，其輪廓尺寸優(yōu)選比待夾持平板玻璃大2毫米至5毫米。
[0023]在開口溝槽Ie上緊密地貼附有彈性變形材料(如橡膠、柔性塑料等)制成的密閉圍墻lb，該彈性變形材料厚度優(yōu)選比開口溝槽Ie的深度大0.2毫米至0.6毫米，其輪廓形狀與平板玻璃4平面輪廓形狀相適，所述彈性變形材料密閉地貼附在開口溝槽Ie上，剛性平板Ia內(nèi)部設(shè)置密閉抽氣孔道lc，并延伸到真空吸盤邊緣之外同側(cè)出口至少5毫米處的的閥門ld，此外，抽氣孔道Ic 一端與真空緩沖腔體I件目通，另一端則與密閉圍墻Ib所圍空間的內(nèi)部相通，如圖2所示。閥門Id是垂直于剛性平板Ia的開孔，通過(guò)此閥門Id的開關(guān)來(lái)控制抽氣和/或進(jìn)氣從而實(shí)現(xiàn)裝卸平板玻璃片。當(dāng)平板玻璃鍍有透明導(dǎo)電膜的一面與密閉圍墻Ib輪廓對(duì)應(yīng)貼附、密閉空腔抽成真空時(shí)玻璃基板牢固地夾持在真空吸盤I上。在具體制作中，剛性平板Ia由兩塊同質(zhì)平板貼合而成，其中一塊平板的一面鉆有充當(dāng)抽氣孔道Ic的通孔，另一面銑有充當(dāng)真空緩沖腔體If的多個(gè)溝槽，該通孔與溝槽相通。
[0024]本實(shí)施例中的真空吸盤呈豎立狀態(tài)，其底部固定有傳輸輥2，傳輸輥2前后端部?jī)?yōu)選為錐形并且其軸線與真空吸盤上的剛性平板底部邊緣平行且在同一平面；真空吸盤I頂部位置固定有多組導(dǎo)向滑輪3，導(dǎo)向滑輪3的轉(zhuǎn)動(dòng)平面為水平面并且其軸線與真空吸盤I上的剛性平板底部邊緣垂直于且在同一平面。在傳送過(guò)程中，傳輸輥2落在外圍設(shè)備的凹型滾輪上，導(dǎo)向滑輪3進(jìn)入相應(yīng)設(shè)備的導(dǎo)向槽內(nèi)，通過(guò)凹槽滾輪的旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)裝置進(jìn)行移動(dòng)，導(dǎo)向滑輪3可保證承載裝置在垂直狀態(tài)下移動(dòng)并減小阻力。
[0025]圖3所示的是使用本實(shí)用新型承載裝置進(jìn)行噴淋減薄的示意圖。其中，平板玻璃4位于真空吸盤I上接受噴淋設(shè)備7對(duì)其進(jìn)行的噴淋減薄操作。本實(shí)用新型的承載裝置，在實(shí)現(xiàn)透明導(dǎo)電膜玻璃鍍膜面密閉固定的同時(shí)，可借助承載裝置底部的傳輸輥2和頂部的導(dǎo)向滑輪3在特定減薄設(shè)備傳輸軌道內(nèi)穩(wěn)定傳輸，此方法使得透明導(dǎo)電膜玻璃的減薄面在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中與減薄設(shè)備噴射出的化學(xué)藥液均勻接觸，通過(guò)藥液的沖刷作用及時(shí)清除掉玻璃表面化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物，避免產(chǎn)物的附著和堆積，從而提高了透明導(dǎo)電膜玻璃減薄面的表觀質(zhì)量和厚度均勻性。如圖4所示本實(shí)施例中，還可以在剛性平板Ia的兩側(cè)獨(dú)立地設(shè)置密閉圍墻Ib和閥門ld，用于同時(shí)裝載兩片相對(duì)的透明導(dǎo)電膜玻璃4，真空緩沖腔體I濃兩片玻璃4之間的剛性平板Ia中，真空緩沖腔體If過(guò)抽氣孔道Ic與密閉圍墻Ib內(nèi)的區(qū)域相同，剛性平板Ia的真空吸盤I的頂部有導(dǎo)向滑輪3，底部有傳輸輥3，從而實(shí)現(xiàn)一個(gè)承載裝置承載兩塊透明導(dǎo)電玻璃，同時(shí)進(jìn)行單面減薄。
[0026]進(jìn)一步地，如圖5所示，還可以在剛性平板Ia兩側(cè)獨(dú)立地設(shè)置4組密閉圍墻Ib和閥門1山實(shí)現(xiàn)同時(shí)裝載4片透明導(dǎo)電膜玻璃4，同時(shí)對(duì)4片玻璃的單面進(jìn)行減薄而另一導(dǎo)電膜得以完美保護(hù)。同樣的，真空吸盤I的頂部有導(dǎo)向滑輪3，底部有傳輸輥3。
[0027]本實(shí)用新型的承載裝置能方便地進(jìn)行透明導(dǎo)電膜玻璃單面減薄工藝過(guò)程的裝卸片，保證工作過(guò)程中整個(gè)裝置不漏氣、不滲液，并且在對(duì)透明導(dǎo)電膜玻璃固定的同時(shí)實(shí)現(xiàn)對(duì)鍍膜面的密閉保護(hù)，無(wú)需增加額外的鍍膜面保護(hù)層制作和去除工序，一方面簡(jiǎn)化了單面減薄透明導(dǎo)電玻璃的制造工序，減少原材料和設(shè)備投資，降低了生產(chǎn)成本。另一方面，本實(shí)用新型的承載裝置實(shí)現(xiàn)了透明導(dǎo)電。
[0028]以上所述，僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并不用以限制本實(shí)用新型，凡是依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何細(xì)微修改、等同替換和改進(jìn)，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型技術(shù)方案的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種新型透明導(dǎo)電膜玻璃減薄承載裝置，其特征在于:包括夾持平板玻璃的真空吸盤，真空吸盤包括剛性平板、設(shè)置在剛性平板上的閥門以及密閉圍墻，剛性平板比平板玻璃尺寸至少大20毫米，以作為該真空吸盤的支撐骨架，剛性平板表面距離邊緣至少5毫米的區(qū)域內(nèi)設(shè)置有環(huán)形開口溝槽，其深度為0.4毫米至0.9毫米，寬度為3毫米至7毫米。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型透明導(dǎo)電膜玻璃減薄承載裝置，其特征在于:開口溝槽上緊密地貼附有彈性變形材料制成的密閉圍墻。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型透明導(dǎo)電膜玻璃減薄承載裝置，其特征在于:剛性平板由兩塊同質(zhì)平板貼合而成，其中一塊平板的一面鉆有充當(dāng)抽氣孔道的通孔，另一面銑有充當(dāng)真空緩沖腔體的多個(gè)溝槽，該通孔與溝槽相通。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型透明導(dǎo)電膜玻璃減薄承載裝置，其特征在于:真空吸盤頂部位置固定有多組導(dǎo)向滑輪，導(dǎo)向滑輪的轉(zhuǎn)動(dòng)平面為水平面并且其軸線與真空吸盤上的剛性平板底部邊緣垂直于且在同一平面。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型透明導(dǎo)電膜玻璃減薄承載裝置，其特征在于:剛性平板的兩側(cè)獨(dú)立地設(shè)置密閉圍墻和閥門。
【文檔編號(hào)】C03C15/00GK203545883SQ201320451517
【公開日】2014年4月16日 申請(qǐng)日期:2013年7月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月18日
【發(fā)明者】何強(qiáng)民 申請(qǐng)人:深圳市康盛光電科技有限公司