利用氧化鋅鋁殘靶粉末制備氧化鋅鋁靶材的方法及其制品的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種利用氧化鋅鋁殘靶粉末制備氧化鋅鋁靶材的方法及其制品，包括以下步驟：（1）將氧化鋅鋁殘靶粉末、氧化鋁粉末和氧化鋅粉末按照質(zhì)量百分比分別為10~50%、1.5~2.7%、48.5~87.3%混合均勻，制成氧化鋅鋁注漿混合料；（2）以氧化鋅鋁注漿混合料質(zhì)量為100%計(jì)，向氧化鋅注漿混合料中分別添加20~35%水、0.8~2%阿拉伯樹膠和0.4~0.6%聚丙烯酸銨；（3）按照現(xiàn)有的靶材生產(chǎn)工藝，制得氧化鋅鋁靶材。本發(fā)明首次將氧化鋅鋁殘靶粉末摻入氧化鋁和氧化鋅粉末中用來制備氧化鋅鋁靶材，并通過對氧化鋅鋁靶材粉末的質(zhì)量百分比進(jìn)行優(yōu)化，制得了符合磁控濺射鍍膜要求的氧化鋅鋁靶材。
【專利說明】利用氧化鋅鋁殘靶粉末制備氧化鋅鋁靶材的方法及其制品
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于氧化鋅鋁靶材生產(chǎn)領(lǐng)域，尤其是一種利用氧化鋅鋁殘靶粉末制備氧化鋅鋁靶材的方法及其制品。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著光電工業(yè)技術(shù)的發(fā)展，氧化鋅鋁透明導(dǎo)電薄膜(簡稱AZO透明導(dǎo)電薄膜)己成為近年來研究和開發(fā)的熱點(diǎn)。AZO透明導(dǎo)電薄膜常用作各種光電子器件(如發(fā)光二極管的透明電極(LED)、平板顯示器(FPD)、銅銦鎵錫太陽能電池(CIGS)、硅薄膜太陽能電池等)的透明電極。由于AZO透明導(dǎo)電薄膜具有優(yōu)異的光電性能，良好的穩(wěn)定性，尤其是在太陽能電池領(lǐng)域，AZO透明導(dǎo)電薄膜有望替代ITO薄膜，從而受到廣泛的關(guān)注。
[0003]磁控濺射是常見的最適應(yīng)于工業(yè)化生產(chǎn)的鍍膜方法，其優(yōu)點(diǎn)是:沉積的膜層均勻致密、針孔少、純度高、薄膜附著力強(qiáng)，沉積速度快、成膜速率高，基片的升溫低、對膜層的損傷小，可實(shí)現(xiàn)大面積鍍膜。目前，普遍使用長形或方形的氧化鋅鋁陶瓷靶(簡稱AZO陶瓷靶，具體為AZO陶瓷平面靶)進(jìn)行磁控濺射鍍膜，在對AZO陶瓷平面靶進(jìn)行磁控濺射過程中，AZO陶瓷靶的利用率普遍較低(一般不超過30%)，而絕大多數(shù)的(占7(T80%) AZO陶瓷靶成為殘靶，由于殘靶的回收利用技術(shù)十分缺乏，目前大多當(dāng)作固體廢棄物丟棄，不僅造成了資源浪費(fèi)，由于其難以降解也對環(huán)境造成了嚴(yán)重污染。
[0004]近些年，也有人采用機(jī)械磨碎法制備氧化鋅鋁殘靶粉末(AZ0殘靶粉末)，但是，由于現(xiàn)有的機(jī)械磨碎法制 備AZO殘靶粉末的工藝大多采用普通的鋼鐵材質(zhì)的機(jī)械粉碎設(shè)備，容易把鐵元素帶入AZO殘靶粉末中，影響AZO靶材的導(dǎo)電性能，并且，機(jī)械粉碎設(shè)備易損壞，設(shè)備成本消耗較大。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明旨在提供一種利用氧化鋅鋁殘靶粉末制備氧化鋅鋁靶材的方法及其制品，并且，所制得的氧化鋅鋁靶材符合磁控濺射鍍膜的要求。
[0006]本發(fā)明的利用氧化鋅鋁殘靶粉末(簡稱AZO殘靶粉末)制備氧化鋅鋁靶材(AZ0靶材)的方法，包括以下步驟:(I)將AZO殘靶粉末、氧化鋁粉末和氧化鋅粉末按照質(zhì)量百分比分別為1(T50%、1.5^2.7 %、48.5^87.3 %混合均勻，制成氧化鋅鋁注漿混合料；(2)以氧化鋅鋁注漿混合料質(zhì)量為100%計(jì)，向氧化鋅鋁注漿混合料中分別添加2(T35%水、0.8^2 %阿拉伯樹膠和0.4^0.6%聚丙烯酸銨；(3)按照現(xiàn)有的靶材生產(chǎn)工藝，制得AZO靶材。
[0007]根據(jù)上述的利用AZO殘靶粉末制備AZO靶材的方法所制得的AZO靶材屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0008]本發(fā)明首次將AZO殘靶粉末摻入氧化鋁粉末和氧化鋅粉末中用來制備AZO靶材，并通過對AZO殘靶粉末質(zhì)量百分比進(jìn)行優(yōu)化，制得了符合磁控濺射鍍膜要求的AZO靶材。
[0009]根據(jù)上述的利用氧化鋅鋁殘靶粉末制備氧化鋅鋁靶材的方法，所述的氧化鋅鋁殘靶粉末的制備方法的具體步驟為:(I)將氧化鋅鋁殘靶(簡稱AZO殘靶)用清水洗凈、烘干；(2)將烘干后的AZO殘靶，放入剛玉質(zhì)的球磨機(jī)中研磨，研磨后采用18(T220目標(biāo)準(zhǔn)篩過篩，得到AZO殘靶粉末。根據(jù)上述的利用AZO殘靶粉末制備AZO靶材的方法所制得的AZO靶材均屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0010]本發(fā)明AZO殘靶粉末以廢棄的AZO殘靶為原料，避免AZO殘靶直接丟棄造成的資源浪費(fèi)以及環(huán)境污染問題，并且，制得的AZO殘靶粉末的純度也較高。另外，本發(fā)明的球磨機(jī)采用剛玉質(zhì)材質(zhì)非常關(guān)鍵，剛玉質(zhì)球磨機(jī)不僅耐磨，而且不會影響靶材的純度。殘靶的研磨細(xì)度也很重要，本 申請人:經(jīng)過無數(shù)次的試驗(yàn)，最終才確定出殘靶的研磨粒度控制在通過180^220目篩時(shí)，所制得的AZO殘靶粉末最適宜用作AZO靶材的原材料。
【具體實(shí)施方式】
[0011]本發(fā)明的利用AZO殘靶粉末制備AZO靶材的方法，包括以下步驟:(I)將AZO殘靶粉末、氧化鋁粉末和氧化鋅粉末按照質(zhì)量百分比分別為1(T50%、1.5^2.7 %、48.5^87.3 %混合均勻，制成氧化鋅鋁注漿混合料；(2)以氧化鋅鋁注漿混合料質(zhì)量為100%計(jì)，向氧化鋅鋁注漿混合料中分別添加2(T35%水、0.8^2 %阿拉伯樹膠和0.4^0.6%聚丙烯酸銨；(3)按照現(xiàn)有的靶材生產(chǎn)工藝，制得AZO靶材。
[0012]根據(jù)上述的利用AZO殘靶粉末制備AZO靶材的方法所制得的AZO靶材屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0013]根據(jù)上述的利用氧化鋅鋁殘靶粉末制備氧化鋅鋁靶材的方法，所述的氧化鋅鋁殘靶粉末的制備方法的具體步驟為:(I)將AZO殘靶用清水洗凈、烘干；(2)將烘干后的AZO殘靶，放入剛玉質(zhì)的球磨機(jī)中研磨，研磨后采用18(T220目標(biāo)準(zhǔn)篩過篩，得到AZO殘靶粉末。
[0014]根據(jù)上述的利用A ZO殘靶粉末制備AZO靶材的方法所制得的AZO靶材屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0015]根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案 申請人:提供了實(shí)施例f實(shí)施例5?，F(xiàn)將實(shí)施例廣5的參數(shù)列舉如下表1:
表1
【權(quán)利要求】
1.利用氧化鋅鋁殘靶粉末制備氧化鋅鋁靶材的方法，包括以下步驟:(1)將氧化鋅鋁殘靶粉末、氧化鋁粉末和氧化鋅粉末按照質(zhì)量百分比分別為10-50%、1.5^2.7 %、48.5^87.3%混合均勻，制成氧化鋅鋁注漿混合料；(2)以氧化鋅鋁注漿混合料質(zhì)量為100%計(jì)，向氧化鋅鋁注漿混合料中分別添加20-35%水、0.8^2 %阿拉伯樹膠和0.4^0.6%聚丙烯酸銨；(3)按照現(xiàn)有的靶材生產(chǎn)工藝，制得氧化鋅鋁靶材。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用氧化鋅鋁殘靶粉末制備氧化鋅鋁靶材的方法，其特征在于所述的氧化鋅鋁殘靶粉末的制備方法的具體步驟為:(1)將氧化鋅鋁殘靶用清水洗凈、烘干；(2)將烘干后的氧化鋅鋁殘靶，放入剛玉質(zhì)的球磨機(jī)中研磨，研磨后采用18(T220目標(biāo)準(zhǔn)篩過篩，得到氧化鋅鋁殘靶粉末。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所示的利用氧化鋅鋁殘靶粉末制備氧化鋅鋁靶材的方法所制得的氧化鋅鋁靶材。
【文檔編號】C04B35/453GK103641468SQ201310737801
【公開日】2014年3月19日 申請日期:2013年12月28日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月20日
【發(fā)明者】陳明億, 林文寶, 董雪振, 邢駿鵬 申請人:福建省諾希新材料科技有限公司