專利名稱：用線鋸切斷工件的切斷方法以及線鋸的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及用線鋸切斷半導體晶錠(ingot)等的方法及線鋸。
背景技術：
近年來，例如作為由半導體晶錠等工件一次性切出多個薄片(晶片)的裝置已知有線鋸(wire saw)ο該線鋸包括鋸絲送出卷筒(bobbin)、多個導輪(guide roller)、以及鋸絲卷取卷筒，其中，從上述線鋸送出卷筒引出的切斷用鋸絲卷繞于上述各導輪的周圍之后被回收于鋸絲卷取卷筒。該切斷用鋸絲通過上述兩個卷筒以及導輪的旋轉而沿著該鋸絲的長度方向被高速驅動。在此驅動過程中，沿著大致垂直于在特定的導輪之間排列的多根鋸絲的方向切斷送出(cutting-feed)由上述半導體晶錠等構成的工件,從而由工件同時切斷出多個薄片。 在如上所述的線鋸中，為了穩(wěn)定地切斷工件，需向上述鋸絲賦予一定以上的張力，然而，該張力越高則施加于鋸絲卷取卷筒的機械性負擔變大。即，鋸絲卷取卷筒所卷取的鋸絲的張力越高，則該鋸絲更易于陷入該鋸絲卷取卷筒的外周面，縮短該卷筒的壽命的可能性變高。此外，當上述鋸絲上貼有固定磨粒時，在上述鋸絲卷取卷筒上，鋸絲彼此壓接的力變高，因此，存在該磨粒易于脫落的問題。作為解決此種問題的方法，可考慮使用上述的張力調(diào)整裝置，將卷取側的鋸絲張力設定為低于送出側的鋸絲張力。然而，在上述線鋸中，作為驅動上述鋸絲的驅動方式采用使該鋸絲沿前進方向(從鋸絲送出卷筒朝向鋸絲卷取卷筒的方向)和后退方向(從鋸絲卷取卷筒朝向鋸絲送出卷筒的方向)交替移動的往復驅動方式較多，在使用此種往復驅動方式運行線鋸的情況下，若進行如上所述的張力調(diào)節(jié)，則有可能加工效率顯著下降。S卩，在上述往復驅動方式中，若突然使鋸絲的驅動方向逆轉，則會發(fā)生較強的沖擊，因此，實際上需進行使該鋸絲一旦減速而停止，從其停止狀態(tài)開始朝向逆方向的驅動，并逐漸加速至目標速度的操作，此種驅動方向的反轉需要時間。還有，當使上述鋸絲的驅動方向逆轉時，需將至此為止降低張力的卷取側的鋸絲張力提高，反之，將賦予高張力的送出側的鋸絲張力降低，而且，若突然進行此種張力的變動，有可能會發(fā)生鋸絲的斷線等，因此，該鋸絲張力的增減也需要一定程度地花費時間而緩慢進行。因此，不僅上述鋸絲的驅動方向的反轉需要時間，而且伴隨該反轉的張力的增減也需要時間。為此，下述專利文獻I中提出了在為使上述鋸絲的驅動方向逆轉而使鋸絲驅動速度減速的過程中，進行將至此為止降低張力的卷取側的鋸絲張力提高，并且，將賦予高張力的送出側的鋸絲張力降低的調(diào)節(jié)，從而減少時間浪費的方法。然而，在該方法中，在鋸絲驅動速度的減速過程中，由于進行提高卷取側的鋸絲張力的同時降低送出側的鋸絲張力的調(diào)節(jié)，因此，通過該調(diào)節(jié)而張力降低的鋸絲部分進入導輪之間的區(qū)域即切斷工件的區(qū)域，由此，有可能對該工件的加工精度造成壞影向。專利文獻I :日本專利公開公報特開2007-276054號

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種能夠有效地減少在使線鋸的鋸絲驅動方向逆轉時因鋸絲的張力調(diào)節(jié)而造成的時間浪費，并且能夠防止因該張力調(diào)節(jié)而導致的工件的加工精度降低的技術。作為用于達到該目的的方法，本發(fā)明提供一種用線鋸切斷工件的切斷方法，利用從鋸絲送出裝置送出的切斷用鋸絲卷繞于多個導輪的周圍并被鋸絲卷取裝置卷取的線鋸，一邊將在導輪之間排列的多根鋸絲朝向軸方向驅動，一邊將工件與這些鋸絲進行相對移動而切斷送出，從而切斷該工件。該方法包括以下工序前進驅動切斷工序，進行上述工件的切斷，在該前進驅動切斷工序中，從上述鋸絲送出裝置送出上述鋸絲且由上述鋸絲卷取裝置卷取該鋸絲，并且，通過向從上述鋸絲送出裝置送出的鋸絲按壓送出側張力賦予構件而將該鋸絲的張力調(diào)節(jié)為接近于第I目標張力，且通過向由上述鋸絲卷取裝置卷取的鋸絲按壓卷取側張力賦予構件而將該鋸絲的張力調(diào)節(jié)為接近于比上述第I目標張力低的第2目標張力；后退驅動切斷工序，進行上述工件的切斷，在該后退驅動切斷工序中，由上述鋸絲卷取裝置卷取的上述鋸絲反而從該鋸絲卷取裝置送出且由上述鋸絲送出裝置卷取該鋸絲，并且，通過向從上述鋸絲卷取裝置送出的鋸絲按壓上述卷取側張力賦予構件而將該鋸絲的張力調(diào)節(jié)為接近于比上述第2目標張力高的第3目標張力，且通過向由鋸絲送出裝置卷取的鋸絲按壓上述送出側張力賦予構件而將該鋸絲的張力調(diào)節(jié)為接近于比上述第I目 標張力及上述第3目標張力低的第4目標張力；第I切換工序，在上述前進驅動切斷工序后使上述鋸絲的驅動速度減速，進而使其驅動方向逆轉后使該鋸絲的驅動速度加速，從而轉移到上述后退驅動切斷工序;第2切換工序，在上述后退驅動切斷工序后使上述鋸絲的驅動速度減速，在使其驅動方向逆轉后使該鋸絲的驅動速度加速，從而轉移到上述前進驅動切斷工序，其中，上述前進驅動切斷工序、上述第I切換工序、上述后退驅動切斷工序、以及上述第2切換工序依次反復被執(zhí)行。并且，在上述第I切換工序，在上述鋸絲的驅動速度的減速過程中，以將上述鋸絲卷取裝置側的鋸絲的目標張力從上述第2目標張力提高至上述第3目標張力的方式，通過上述卷取側張力賦予構件進行上述鋸絲的張力調(diào)節(jié)，且在該鋸絲的驅動速度的減速完成后，以將上述鋸絲送出裝置側的鋸絲的目標張力從上述第I目標張力降低至上述第4目標張力的方式，通過上述送出側張力賦予構件進行上述鋸絲的張力調(diào)節(jié)。另外，本發(fā)明所涉及的工件切斷方法，也可以代替在上述第I切換工序中的目標張力轉移，或者在上述第I切換工序中的目標張力轉移的基礎上，在第2切換工序中，以將上述鋸絲卷取裝置側的鋸絲的目標張力從上述第3目標張力降低至上述第2目標張力的方式，通過上述卷取側張力賦予構件進行上述鋸絲的張力調(diào)節(jié)，并且，以將上述鋸絲送出裝置側的鋸絲的目標張力從上述第4目標張力提高至上述第I目標張力的方式，通過上述送出側張力賦予構件進行上述鋸絲的張力調(diào)節(jié)。此外，本發(fā)明提供一種利用切斷用鋸絲在多處同時切斷工件的線鋸。該線鋸包括多個導輪，被設置成旋轉中心軸相互平行，且在其周圍卷繞上述鋸絲；鋸絲送出裝置，用于將上述鋸絲送出至上述導輪；鋸絲卷取裝置，用于從上述導輪卷取上述鋸絲；切斷送出裝置(cutting feeder)，通過使張設于上述導輪中的特定導輪之間的多根鋸絲與工件相對移動，從而向該鋸絲切斷送出該工件而切斷該工件；鋸絲驅動控制裝置，控制上述鋸絲送出裝置以及鋸絲卷取裝置的運行，使前進驅動切斷工序、第I切換工序、后退驅動切斷工序、以及第2切換工序依次反復被執(zhí)行，其中，上述前進驅動切斷工序一邊從上述鋸絲送出裝置送出上述鋸絲并通過上述鋸絲卷取裝置卷取該鋸絲，一邊進行上述工件的切斷；上述后退驅動切斷工序一邊將上述鋸絲卷取裝置卷取的上述鋸絲反而從該鋸絲卷取裝置送出且通過上述鋸絲卷取裝置卷取該鋸絲，一邊進行上述工件的切斷；上述第I切換工序在上述前進驅動切斷工序后使上述鋸絲的驅動速度減速，進而使其驅動方向逆轉后使該鋸絲的驅動速度加速，從而轉移到上述后退驅動切斷工序；上述第2切換工序在上述后退驅動切斷工序后使上述鋸絲的驅動速度減速，在使其驅動方向逆轉后使該鋸絲的驅動速度加速，從而轉移到上述前進驅動切斷工序；送出側張力操作裝置，包含在上述鋸絲送出裝置與上述各導輪之間的區(qū)域被按壓于上述鋸絲的送出側張力賦予構件，通過改變其按壓力，使該鋸絲的張力變化；卷取側張力操作裝置，包含在上述鋸絲卷取裝置與上述各導輪之間的區(qū)域被按壓于上述鋸絲的卷取側張力賦予構件，通過改變其按壓力，使該鋸絲的張力變化；張力控制裝置，以如下方式使上述各張力操作裝置運行在上述前進驅動切斷工序中，使從上述鋸絲送出裝置送出的鋸絲的張力接近于第I目標張力，并且使由上述鋸絲卷取裝置卷取的鋸絲的張力接近于比第I目標張力低的第2目標張力；在上述后退驅動切斷工序中，使從上述鋸絲卷取裝置送出的鋸絲的張力接近于比上述第2目標張力高的第3目標張力，并且使由
上述鋸絲送出裝置卷取的鋸絲的張力接近于比上述第I目標張力及上述第3目標張力低的第4目標張力。上述張力控制裝置，以如下方式使上述各張力操作裝置運行在上述第I切換工序，在上述鋸絲的驅動速度的減速過程中，以將上述鋸絲卷取裝置側的鋸絲的目標張力從上述第2目標張力提高至上述第3目標張力的方式進行上述鋸絲張力的調(diào)節(jié)，且在該鋸絲的驅動速度的減速完成后，以將上述鋸絲送出裝置側的鋸絲的目標張力從上述第I目標張力降低至上述第4目標張力的方式進行上述鋸絲張力的調(diào)節(jié)。另外，在本發(fā)明所涉及的線鋸中，也可以代替上述第I切換工序中的目標張力轉移，或者在上述第I切換工序中的目標張力轉移的基礎上，上述張力控制裝置以如下方式使上述各張力操作裝置運行在上述第2切換工序，以將上述鋸絲卷取裝置側的鋸絲的目標張力從上述第3目標張力降低至上述第2目標張力的方式進行上述鋸絲張力的調(diào)節(jié)，并且，以將上述鋸絲送出裝置側的鋸絲的目標張力從上述第4目標張力提高至上述第I目標張力的方式進行上述鋸絲張力的調(diào)節(jié)。


圖I是本發(fā)明的實施方式所涉及的線鋸的整體結構圖。圖2是被設置于上述線鋸的張力操作裝置的正視圖。圖3是上述張力操作裝置的俯視圖。圖4是表示安裝于上述線鋸的控制器的功能結構的框圖。圖5是表示上述線鋸的鋸絲驅動速度及鋸絲目標張力的時間變化的圖。圖6是表示上述鋸絲驅動速度及上述鋸絲目標張力的時間變化的變形例的圖。
具體實施例方式參照圖I至圖5，說明本發(fā)明的具體實施方式
。圖I所示的線鋸，包括一對鋸絲送出-卷取裝置10A、10B、以及在其間設置的四個導輪24A、24B、26A、26B。在這些導輪中，導輪24A、24B被設置在彼此相同的高度位置上，導輪26A、26B分別被設置在導輪24A、24B的下方位置。在上述鋸絲送出-卷取裝置IOA與導輪24A、24B、26A、26B之間，從接近鋸絲送出裝置IOA —側開始依次設有固定滑輪12A、14A、16A、送出側張力操作裝置18A、以及固定滑輪22A，上述送出側張力操作裝置18A包含作為送出側張力賦予構件的可動滑輪20A。同樣，在上述鋸絲送出-卷取裝置IOB與導輪24A、24B、26A、26B之間，從接近鋸絲卷取裝置IOB側開始依次設有固定滑輪12B、14B、16B、卷取側張力操作裝置18B、以及固定滑輪22B，上述卷取側張力操作裝置18B包含作為卷取側張力賦予構件的可動滑輪20B。各鋸絲送出-卷取裝置10A、IOB具備切斷用鋸絲W被卷繞的卷筒9A、9B、以及驅動卷筒9A、9B的卷筒驅動馬達11A、11B。從鋸絲送出裝置IOA的卷筒9A送出的鋸·絲W以固定滑輪12A、14A、16A、張力操作裝置18A的可動滑輪20A、以及固定滑輪22A的順序掛上，進而多次卷繞于導輪24A、24B、26B、26A的外側后，以固定滑輪22B、張力操作裝置18B的可動滑輪20B、固定滑輪16B、14B、12B的順序掛上，并被鋸絲卷取裝置IOB的卷筒9B卷取，而且通過兩個張力操作裝置18A、18B賦予鋸絲W以適當?shù)膹埩ΑＡ硗?，該線鋸具備滾輪驅動馬達25，該馬達25與導輪24A、24B、26B、26A中特定的導輪(圖例中為導輪26A)的旋轉軸連接而驅動該旋轉軸。在該線鋸中，由各卷筒驅動馬達11A、11B驅動的卷筒9A、9B的旋轉驅動方向以及由滾輪驅動馬達25驅動的導輪26A的旋轉驅動方向能夠正反切換。據(jù)此，鋸絲W的驅動狀態(tài)能夠在該鋸絲W從卷筒9A送出而被卷筒9B卷取的狀態(tài)與鋸絲W從卷筒9B送出而被卷筒9A卷取的狀態(tài)之間切換。S卩，在本實施方式所涉及的線鋸中，在上述的四個導輪中的導輪24A、24B之間，鋸絲W以多根排列的狀態(tài)被張設，且這些沿其長度方向(軸方向)被往復驅動。在本發(fā)明中，不對上述導輪的具體個數(shù)進行限定，可在兩個以上的范圍自由設定。在上述導輪24A、24B之間張設的鋸絲W的上方設有使圓柱狀工件(例如半導體晶錠)28移動的工件送出裝置30。該工件送出裝置30包括保持上述工件28的工件保持部32和工件送出馬達34。工件保持部32保持上述工件28的方向被設定為基于其結晶軸可獲得所要的結晶方位的方向。工件送出馬達34與省略圖示的滾珠絲杠(ball screw)協(xié)作,使上述工件保持部與工件28 —體上升(即切斷送出)。本實施方式所涉及的工件送出馬達34采用伺服馬達，兼作為檢測工件28的切斷送出位置的送出位置檢測裝置。在上述導輪24A、24B之間張設的鋸絲W的上方，在工件28的左右兩側的位置設有研磨漿料(slurry)供給裝置36A、36B。這些研磨漿料供給裝置36A、36B針對高速驅動的各鋸絲W，同時供給混合了磨粒的加工液(研磨漿料)，并使其附著于鋸絲W的表面。從而，在該線鋸中，在導輪24A、24B之間張設的多根鋸絲W沿其長度方向同時被高速驅動，且一邊從研磨漿料供給裝置36A、36B向這些鋸絲W供給加工液，一邊工件28被切斷送出至這些鋸絲W的下方，從而由該工件28 —次同時切出多個晶片。接著，基于圖2及圖3說明上述張力操作裝置18A、18B的構造。此外，由于兩個張力操作裝置18A、18B的結構彼此相同，因此，在此以張力操作裝置18A為例進行說明。上述可動滑輪20A被設置在固定滑輪16A、22A之間，各滑輪16A、20A、22A被設置成使鋸絲長度根據(jù)該可動滑輪20A的上下移動而變化。具體而言，若可動滑輪20A下降則鋸絲長度增大，若可動滑輪20A上升則鋸絲長度減小。張力操作裝置18A具備可旋轉地支撐上述固定滑輪22A的支撐構件38和被安裝于該支撐構件38的張力檢測器40。該張力檢測器40檢測被施加于上述支撐構件38的負載，進而檢測上述鋸絲W的張力。該張力檢測器40可利用將測力傳感器(load cell)、差動變壓器、以及彈簧組合的結構等。上述可動滑輪20A被安裝于杠桿(lever) 44的前端，能夠以與鋸絲W的軸方向垂直的旋轉軸42為中心旋轉。在該杠桿44的基端固定有旋轉中心軸46，該旋轉中心軸46被支撐于固定側板48。具體而言,在上述固定側板48固定有搖動氣缸(cylinder)50,上述旋轉中心軸46連接于該搖動氣缸50。該搖動氣缸50通過使上述杠桿44及可動滑輪20A以上述旋轉中心軸46為中心并與該旋轉中心軸46 —體地旋轉而將該可動滑輪20A按壓于上述鋸絲W，從而向該鋸絲W賦予張力，并且通過其按壓力的增減使上述張力變化。在上述旋轉中心軸46上連接有編碼器52。該編碼器52檢測上述旋轉中心軸46 的旋轉角度位置、換言之可動滑輪20A的位置。在該線鋸中具備如圖4所示的控制器60。該控制器60具備作為張力控制裝置的功能，包括張力調(diào)節(jié)部62、速度調(diào)節(jié)部64以及目標張力設定部66。張力調(diào)節(jié)部62向驅動搖動氣缸50的空氣壓伺服電路54輸出電氣信號來調(diào)節(jié)該搖動氣缸50的驅動進而調(diào)節(jié)鋸絲張力，以使由鋸絲送出側及鋸絲卷取側的各個張力檢測器40檢測出的鋸絲張力保持由目標張力設定部66設定的目標張力T。具體而言，例如，當上述鋸絲送出-卷取裝置IOA側的檢測張力高于上述目標張力T時，降低搖動氣缸50的驅動力，使與該搖動氣缸50連接的杠桿44朝上轉動，從而使被支撐于該杠桿44的可動滑輪20A施加于上述鋸絲W的按壓力降低。反之，當上述檢測張力低于上述目標張力T時，提高上述搖動氣缸50的驅動力使上述杠桿44朝下轉動,從而沿圖2所示的逆時針方向轉動,使上述可動滑輪20A施加于上述鋸絲W的按壓力提高。上述速度調(diào)節(jié)部64用于調(diào)節(jié)由上述卷筒驅動馬達IlAUlB進行的卷筒驅動方向及驅動速度，以使作為邊驅動鋸絲W邊切斷工件28的工序，依次反復執(zhí)行后面詳述的前進驅動切斷工序、第I切換工序、后退驅動切斷工序、以及第2切換工序。在上述前進驅動切斷工序，上述鋸絲W—邊從上述鋸絲送出裝置IOA送出并被上述鋸絲卷取裝置IOB卷取，一邊進行上述工件28的切斷。反之，在上述后退驅動切斷工序，被上述鋸絲卷取裝置IOB卷取的鋸絲W—邊從該鋸絲卷取裝置IOB送出并被上述鋸絲送出裝置IOA卷取，一邊進行上述工件的切斷。在上述第I切換工序，在上述前進驅動切斷工序之后上述鋸絲W的驅動速度減速，進而其驅動方向逆轉后該鋸絲的驅動速度加速。據(jù)此轉移到下一個后退驅動切斷工序。另一方面，在上述第2切換工序，在上述后退驅動切斷工序之后上述鋸絲的驅動速度減速，在其驅動方向逆轉后該鋸絲的驅動速度加速，據(jù)此轉移到下一個上述前進驅動切斷工序。本實施方式所涉及的速度調(diào)節(jié)部64還具備向卷筒驅動馬達IlAUlB分別輸出控制信號而微調(diào)兩個卷筒9A、9B的旋轉速度的功能，以使由編碼器52檢測出的可動滑輪20A、20B的位置接近于預先設定的基準位置(在此，如圖2的實線所示，為杠桿44處于水平的位置)。例如，在鋸絲W從卷筒9A送出且被卷筒9B卷取的狀態(tài)下，當檢測出送出側的可動滑輪20A位于比基準位置更靠下方的位置時，為使可動滑輪20A上升，使作為鋸絲送出裝置的一側的卷筒9A的旋轉速度減小，反之，當檢測出可動滑輪20A位于比基準位置更靠上方的位置時，為使可動滑輪20A下降，使作為鋸絲送出裝置的一側的卷筒9A的旋轉速度增大。另一方面，當檢測出鋸絲卷取側的可動滑輪20B位于比基準位置更靠下方的位置時，為使可動滑輪20B上升，使作為鋸絲卷取裝置的一側的卷筒9B的旋轉速度增大，反之，當檢測出可動滑輪20B位于比基準位置更靠上方的位置時，為使可動滑輪20B下降，使作為鋸絲卷取裝置的一側的卷筒9B的旋轉速度減小。如上所述，目標張力設定部66設定鋸絲W的目標張力T并輸入至張力調(diào)節(jié)部62，其具有根據(jù)上述各工序使目標張力T如圖5最下段所示變化的特征。具體如下所述。I.前進驅動切斷工序在該工序，目標張力設定部66將上述鋸絲送出裝置IOA側的目標張力T固定為第I目標張力Tl，將上述鋸絲卷取裝置IOB側的目標張力T固定為比上述第I目標張力Tl低的第2目標張力T2。
2.第I切換工序在該工序，目標張力設定部66將上述鋸絲卷取裝置IOB側的目標張力T從上述第2目標張力T2逐漸提高至比該第2目標張力T2高的第3目標張力T3。反之，將上述鋸絲送出裝置IOA側的目標張力T從上述第I目標張力Tl逐漸降低至比該第I目標張力Tl及上述第3目標張力T3低的第4目標張力T4。進一步，作為該線鋸的特征，上述目標張力設定部66如圖5的最上段及最下段所示，與上述鋸絲W的驅動速度的減速及加速時機(timing)同步地使上述目標張力T提高及降低。具體而言，與上述鋸絲驅動速度的減速的開始大致同時，開始提高上述鋸絲卷取裝置IOB側的目標張力T，并與該減速的完成大致同時達到上述第3目標張力T3(>T2)。接著，在上述鋸絲驅動速度的減速完成后(與該完成大致同時)開始降低上述鋸絲送出裝置IOA側的目標張力T，并與向后退側的加速完成大致同時達到上述第4目標張力T4 Tl)。3.后退驅動切斷工序在該工序，目標張力設定部66將上述鋸絲卷取裝置IOB側的目標張力T固定為上述第3目標張力T3，將上述鋸絲送出裝置IOA的目標張力T固定為上述第4目標張力T4。4.第2切換工序在該工序，目標張力設定部66將上述鋸絲送出裝置IOA側的目標張力T逐漸從上述第4目標張力T4提高至上述第I目標張力Tl。反之，將上述鋸絲卷取裝置IOB側的目標張力T逐漸從上述第3目標張力T3降低至上述第2目標張力T2。進一步，作為該線鋸的特征，上述目標張力設定部66與上述第I切換工序同樣，如圖5的最上段及最下段所示，與上述鋸絲W的驅動速度的減速及加速時機同步地使上述目標張力T提高及降低。具體而言，與上述鋸絲驅動速度的減速的開始大致同時，開始提高上述鋸絲送出裝置IOA側的目標張力T，并與該減速的完成大致同時恢復到上述第I目標張力Tl (>T4)。接著，在上述鋸絲驅動速度的減速完成后(與該完成大致同時)開始降低上述鋸絲卷取裝置IOB側的目標張力Τ，并與向后退側的加速完成大致同時恢復到上述第2目標張力Τ2 (< Τ3)。因此，總結上述各工序與目標張力之間關系則如下表所示。[表 I]
權利要求
1.一種用線鋸切斷工件的切斷方法，利用從鋸絲送出裝置送出的切斷用鋸絲卷繞于多個導輪的周圍并被鋸絲卷取裝置卷取的線鋸，一邊將在導輪之間排列的多根鋸絲朝向軸方向驅動，一邊將工件與這些鋸絲進行相對移動而切斷送出，從而切斷該工件，其特征在于包括以下工序 前進驅動切斷工序，進行上述工件的切斷，在該前進驅動切斷工序中，從上述鋸絲送出裝置送出上述鋸絲且由上述鋸絲卷取裝置卷取該鋸絲，并且，通過向從上述鋸絲送出裝置送出的鋸絲按壓送出側張力賦予構件而將該鋸絲的張力調(diào)節(jié)為接近于第I目標張力，且通過向由上述鋸絲卷取裝置卷取的鋸絲按壓卷取側張力賦予構件而將該鋸絲的張力調(diào)節(jié)為接近于比上述第I目標張力低的第2目標張力； 后退驅動切斷工序，進行上述工件的切斷，在該后退驅動切斷工序中，由上述鋸絲卷取裝置卷取的上述鋸絲反而從該鋸絲卷取裝置送出且由上述鋸絲送出裝置卷取該鋸絲，并且，通過向從上述鋸絲卷取裝置送出的鋸絲按壓上述卷取側張力賦予構件而將該鋸絲的張力調(diào)節(jié)為接近于比上述第2目標張力高的第3目標張力，且通過向由鋸絲送出裝置卷取的鋸絲按壓上述送出側張力賦予構件而將該鋸絲的張力調(diào)節(jié)為接近于比上述第I目標張力及上述第3目標張力低的第4目標張力； 第I切換工序，在上述前進驅動切斷工序后使上述鋸絲的驅動速度減速，進而使其驅動方向逆轉后使該鋸絲的驅動速度加速，從而轉移到上述后退驅動切斷工序； 第2切換工序，在上述后退驅動切斷工序后使上述鋸絲的驅動速度減速，在使其驅動方向逆轉后使該鋸絲的驅動速度加速，從而轉移到上述前進驅動切斷工序，其中， 上述前進驅動切斷工序、上述第I切換工序、上述后退驅動切斷工序、以及上述第2切換工序依次反復被執(zhí)行， 在上述第I切換工序，在上述鋸絲的驅動速度的減速過程中，以將上述鋸絲卷取裝置側的鋸絲的目標張力從上述第2目標張力提高至上述第3目標張力的方式，通過上述卷取側張力賦予構件進行上述鋸絲的張力調(diào)節(jié)，且在該鋸絲的驅動速度的減速完成后，以將上述鋸絲送出裝置側的鋸絲的目標張力從上述第I目標張力降低至上述第4目標張力的方式，通過上述送出側張力賦予構件進行上述鋸絲的張力調(diào)節(jié)。
2.一種用線鋸切斷工件的切斷方法，利用從鋸絲送出裝置送出的切斷用鋸絲卷繞于多個導輪的周圍并被鋸絲卷取裝置卷取的線鋸，一邊將在導輪之間排列的多根鋸絲朝向軸方向驅動，一邊將工件與這些鋸絲進行相對移動而切斷送出，從而切斷該工件，其特征在于包括以下工序 前進驅動切斷工序，進行上述工件的切斷，在該前進驅動切斷工序中，從上述鋸絲送出裝置送出上述鋸絲且由上述鋸絲卷取裝置卷取該鋸絲，并且，通過向從上述鋸絲送出裝置送出的鋸絲按壓送出側張力賦予構件而將該鋸絲的張力調(diào)節(jié)為接近于第I目標張力，且通過向由上述鋸絲卷取裝置卷取的鋸絲按壓卷取側張力賦予構件而將該鋸絲的張力調(diào)節(jié)為接近于比上述第I目標張力低的第2目標張力； 后退驅動切斷工序，進行上述工件的切斷，在該后退驅動切斷工序中，由上述鋸絲卷取裝置卷取的上述鋸絲反而從該鋸絲卷取裝置送出且由上述鋸絲送出裝置卷取該鋸絲，并且，通過向從上述鋸絲卷取裝置送出的鋸絲按壓上述卷取側張力賦予構件而將該鋸絲的張力調(diào)節(jié)為接近于比上述第2目標張力高的第3目標張力，且通過向由鋸絲送出裝置卷取的鋸絲按壓上述送出側張力賦予構件而將該鋸絲的張力調(diào)節(jié)為接近于比上述第I目標張力及上述第3目標張力低的第4目標張力； 第I切換工序，在上述前進驅動切斷工序后使上述鋸絲的驅動速度減速，進而使其驅動方向逆轉后使該鋸絲的驅動速度加速，從而轉移到上述后退驅動切斷工序； 第2切換工序，在上述后退驅動切斷工序后使上述鋸絲的驅動速度減速，在使其驅動方向逆轉后使該鋸絲的驅動速度加速，從而轉移到上述前進驅動切斷工序，其中， 上述前進驅動切斷工序、上述第I切換工序、上述后退驅動切斷工序、以及上述第2切換工序依次反復被執(zhí)行， 在上述第2切換工序，在上述鋸絲的驅動速度的減速過程中，以將上述鋸絲送出裝置側的鋸絲的目標張力從上述第4目標張力提高至上述第I目標張力的方式，通過上述送出側張力賦予構件進行上述鋸絲的張力調(diào)節(jié)，且在該鋸絲的驅動速度的減速完成后，以將上述鋸絲卷取裝置側的鋸絲的目標張力從上述第3目標張力降低至上述第2目標張力的方式，通過上述卷取側張力賦予構件進行上述鋸絲的張力調(diào)節(jié)。
3.根據(jù)權利要求2所述的用線鋸切斷工件的切斷方法，其特征在于， 在上述第I切換工序，在上述鋸絲的驅動速度的減速過程中，以將上述鋸絲卷取裝置側的鋸絲的目標張力從上述第2目標張力提高至上述第3目標張力的方式，通過上述卷取側張力賦予構件進行上述鋸絲的張力調(diào)節(jié)，且在該鋸絲的驅動速度的減速完成后，以將上述鋸絲送出裝置側的鋸絲的目標張力從上述第I目標張力降低至上述第4目標張力的方式，通過上述送出側張力賦予構件進行上述鋸絲的張力調(diào)節(jié)。
4.根據(jù)權利要求I至3中任一項所述的用線鋸切斷工件的切斷方法，其特征在于， 作為用于上述各工序中的鋸絲張力調(diào)節(jié)的操作，包含 檢測上述鋸絲的實際張力的操作；以及 向上述鋸絲的指定部位按壓上述各張力賦予構件，以使該檢測出的張力接近于目標張力的操作。
5.一種線鋸，利用切斷用鋸絲，在多處同時切斷工件，其特征在于包括 多個導輪，被設置成旋轉中心軸相互平行，且在其周圍卷繞上述鋸絲； 鋸絲送出裝置，用于將上述鋸絲送出至上述導輪； 鋸絲卷取裝置，用于從上述導輪卷取上述鋸絲； 切斷送出裝置，通過使張設于上述導輪中的特定導輪之間的多根鋸絲與工件相對移動，從而向該鋸絲切斷送出該工件而切斷該工件； 鋸絲驅動控制裝置，控制上述鋸絲送出裝置以及鋸絲卷取裝置的運行，使前進驅動切斷工序、第I切換工序、后退驅動切斷工序、以及第2切換工序依次反復被執(zhí)行，其中，上述前進驅動切斷工序一邊從上述鋸絲送出裝置送出上述鋸絲并通過上述鋸絲卷取裝置卷取該鋸絲，一邊進行上述工件的切斷；上述后退驅動切斷工序一邊將上述鋸絲卷取裝置卷取的上述鋸絲反而從該鋸絲卷取裝置送出且通過上述鋸絲卷取裝置卷取該鋸絲，一邊進行上述工件的切斷；上述第I切換工序在上述前進驅動切斷工序后使上述鋸絲的驅動速度減速，進而使其驅動方向逆轉后使該鋸絲的驅動速度加速，從而轉移到上述后退驅動切斷工序；上述第2切換工序在上述后退驅動切斷工序后使上述鋸絲的驅動速度減速，在使其驅動方向逆轉后使該鋸絲的驅動速度加速，從而轉移到上述前進驅動切斷工序；送出側張力操作裝置，包含在上述鋸絲送出裝置與上述各導輪之間的區(qū)域被按壓于上述鋸絲的送出側張力賦予構件，通過改變其按壓力，使該鋸絲的張力變化； 卷取側張力操作裝置，包含在上述鋸絲卷取裝置與上述各導輪之間的區(qū)域被按壓于上述鋸絲的卷取側張力賦予構件，通過改變其按壓力，使該鋸絲的張力變化； 張力控制裝置，以如下方式使上述各張力操作裝置運行在上述前進驅動切斷工序中，使從上述鋸絲送出裝置送出的鋸絲的張力接近于第I目標張力，并且使由上述鋸絲卷取裝置卷取的鋸絲的張力接近于比第I目標張力低的第2目標張力；在上述后退驅動切斷工序中，使從上述鋸絲卷取裝置送出的鋸絲的張力接近于比上述第2目標張力高的第3目標張力，并且使由上述鋸絲送出裝置卷取的鋸絲的張力接近于比上述第I目標張力及上述第3目標張力低的第4目標張力，其中， 上述張力控制裝置，以如下方式使上述各張力操作裝置運行在上述第I切換工序，在上述鋸絲的驅動速度的減速過程中，以將上述鋸絲卷取裝置側的鋸絲的目標張力從上述第2目標張力提高至上述第3目標張力的方式進行上述鋸絲張力的調(diào)節(jié)，且在該鋸絲的驅動速度的減速完成后，以將上述鋸絲送出裝置側的鋸絲的目標張力從上述第I目標張力降低至上述第4目標張力的方式進行上述鋸絲張力的調(diào)節(jié)。
6.一種線鋸，利用切斷用鋸絲，在多處同時切斷工件，其特征在于包括 多個導輪，被設置成旋轉中心軸相互平行，且在其周圍卷繞上述鋸絲； 鋸絲送出裝置，用于將上述鋸絲送出至上述導輪； 鋸絲卷取裝置，用于從上述導輪卷取上述鋸絲； 切斷送出裝置，通過使張設于上述導輪中的特定導輪之間的多根鋸絲與工件相對移動，從而向該鋸絲切斷送出該工件而切斷該工件； 鋸絲驅動控制裝置，控制上述鋸絲送出裝置以及鋸絲卷取裝置的運行，使前進驅動切斷工序、第I切換工序、后退驅動切斷工序、以及第2切換工序依次反復被執(zhí)行，其中，上述前進驅動切斷工序一邊從上述鋸絲送出裝置送出上述鋸絲并通過上述鋸絲卷取裝置卷取該鋸絲，一邊進行上述工件的切斷；上述后退驅動切斷工序一邊將上述鋸絲卷取裝置卷取的上述鋸絲反而從該鋸絲卷取裝置送出且通過上述鋸絲卷取裝置卷取該鋸絲，一邊進行上述工件的切斷；上述第I切換工序在上述前進驅動切斷工序后使上述鋸絲的驅動速度減速，進而使其驅動方向逆轉后使該鋸絲的驅動速度加速，從而轉移到上述后退驅動切斷工序；上述第2切換工序在上述后退驅動切斷工序后使上述鋸絲的驅動速度減速，在使其驅動方向逆轉后使該鋸絲的驅動速度加速，從而轉移到上述前進驅動切斷工序； 送出側張力操作裝置，包含在上述鋸絲送出裝置與上述各導輪之間的區(qū)域被按壓于上述鋸絲的送出側張力賦予構件，通過改變其按壓力，使該鋸絲的張力變化； 卷取側張力操作裝置，包含在上述鋸絲卷取裝置與上述各導輪之間的區(qū)域被按壓于上述鋸絲的卷取側張力賦予構件，通過改變其按壓力，使該鋸絲的張力變化； 張力控制裝置，以如下方式使上述各張力操作裝置運行在上述前進驅動切斷工序中，使從上述鋸絲送出裝置送出的鋸絲的張力接近于第I目標張力，并且使由上述鋸絲卷取裝置卷取的鋸絲的張力接近于比第I目標張力低的第2目標張力；在上述后退驅動切斷工序中，使從上述鋸絲卷取裝置送出的鋸絲的張力接近于比上述第2目標張力高的第3目標張力，并且使由上述鋸絲送出裝置卷取的鋸絲的張力接近于比上述第I目標張力及上述第3目標張力低的第4目標張力，其中， 上述張力控制裝置，以如下方式使上述各張力操作裝置運行在上述第2切換工序，在上述鋸絲的驅動速度的減速過程中，以將上述鋸絲送出裝置側的鋸絲的目標張力從上述第4目標張力提高至上述第I目標張力的方式進行上述鋸絲張力的調(diào)節(jié)，且在該鋸絲的驅動速度的減速完成后，以將上述鋸絲卷取裝置側的鋸絲的目標張力從上述第3目標張力降低至上述第2目標張力的方式進行上述鋸絲張力的調(diào)節(jié)。
7.根據(jù)權利要求6所述的線鋸，其特征在于， 上述張力控制裝置，以如下方式使上述各張力操作裝置運行在上述第I切換工序，在上述鋸絲的驅動速度的減速過程中，以將上述鋸絲卷取裝置側的鋸絲的目標張力從上述第2目標張力提高至上述第3目標張力的方式進行上述鋸絲張力的調(diào)節(jié)，且在上述鋸絲的驅動速度的減速完成后，以將上述鋸絲送出裝置側的鋸絲的目標張力從上述第I目標張力降低至上述第4目標張力的方式進行上述鋸絲張力的調(diào)節(jié)。
8.根據(jù)權利要求5至7中任一項所述的線鋸，其特征在于，上述張力控制裝置包含 張力檢測器，在從上述鋸絲送出裝置至導輪的區(qū)域以及從導輪至上述鋸絲卷取裝置的區(qū)域檢測鋸絲的張力； 目標張力設定部，根據(jù)上述各工序，設定上述鋸絲的目標張力； 張力調(diào)節(jié)部，使上述張力操作裝置運行，以使在上述各區(qū)域檢測出的張力接近于由上述目標張力設定部設定的目標張力。
全文摘要
本發(fā)明提供一種用線鋸切斷工件的切斷方法，利用用于將線鋸的鋸絲張力接近于指定的目標張力的張力調(diào)節(jié)裝置，一邊只將卷取側的鋸絲張力有效地降低，一邊有效率且高精度地進行工件的切斷。該方法包括一邊使鋸絲(W)前進，一邊切斷工件(28)的前進驅動切斷工序；用于使鋸絲(W)的驅動方向反轉的第1切換工序；一邊使鋸絲(W)后退，一邊切斷工件(28)的后退驅動切斷工序；用于使鋸絲(W)的驅動方向反轉而返回到上述前進驅動切斷工序的第2切換工序，這些工序依次反復執(zhí)行。在上述兩個切斷工序中，利用張力操作裝置(18A、18B)只降低卷取側的鋸絲張力。為此而進行的鋸絲目標張力的降低，在各切換工序中鋸絲(W)的減速結束之后進行。
文檔編號B28D5/04GK102791426SQ201080063198
公開日2012年11月21日 申請日期2010年2月8日 優(yōu)先權日2010年2月8日
發(fā)明者吉村浩幸, 大矢純, 濱崎辰己, 福萬勝 申請人:東洋先進機床有限公司