專利名稱：自動對位機構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種玻璃基板的加工機構，尤其涉及一種基板與掩膜板的自動對位機構。
背景技術：
玻璃基材等薄板已廣泛用于制造IXD-TFT顯示屏、有機發(fā)光顯示器件(OLED)面板、薄膜太陽能面板應用及其他類似者。于此類應用中大多在潔凈玻璃上鍍覆薄膜晶體管， 這類大型玻璃基材的制程通常包含實施多個連續(xù)步驟，包括如化學氣相沉積制程(CVD)、物理氣相沉積制程(PVD)、有機物質蒸鍍、磁控濺射沉積或蝕刻制程。用于處理玻璃基材的系統(tǒng)可包括一或多個制程處理室，以進行前述所述制程。此類制程的工藝要求比較嚴格，必須在真空狀態(tài)下以及完全潔凈的空間環(huán)境中進行，必須要保證整個制程的真空系統(tǒng)的絕對可靠性。OLED顯示屏是基于有機材料的一種電流型半導體發(fā)光器件。其典型結構是在ITO 玻璃上蒸鍍一層幾十納米厚的有機發(fā)光材料作發(fā)光層，發(fā)光層上方有一層低功函數的金屬電極。當電極上加有電壓時，發(fā)光層就產生光輻射。為了能夠全彩色顯示，發(fā)光層應被圖案化。通常發(fā)光層圖案化是利用精細金屬掩膜(MASK)貼合在導電玻璃基板上，使蒸發(fā)源中的有機材料在基板上沉積為所要求的圖案。在整個蒸鍍過程中需要將基板和掩膜板準確貼合在一起。傳統(tǒng)的做法是是利用機械手分別抓取掩膜板和基板，并將其放置在蒸發(fā)源上方的掩膜板托板上，然而，該操作一般采用人為控制，控制精度不高，基板和掩膜板在貼合時位置精確度難以保證，影響生產的成品率及生產效率。因此，急需一種基板和掩膜板的貼合對位精確度高、自動化程度高、能有效提高成品率和生產效率的自動對位機構。

實用新型內容本實用新型的目的是提供一種基板和掩膜板的貼合對位精確度高、自動化程度高、能有效提高成品率和生產效率的自動對位機構。為了實現上有目的，本實用新型公開了一種自動對位機構，用于實現掩膜板與基板的精確對位，包括真空腔體、夾持板、開爪裝置，基板傳輸裝置、基板升降裝置、掩膜板傳輸裝置及掩膜板升降裝置，所述真空腔體前后兩端開設有進口和出口，所述進口及出口處設置有密封的間閥，所述基板承載并夾持于所述夾持板上并由腔外傳輸裝置穿過進口傳輸進所述真空腔體內，所述基板傳輸裝置帶動所述夾持板沿水平方向在所述真空腔體內傳輸，所述基板升降裝置驅動所述基板傳輸裝置升降，從而帶動所述夾持板在所述真空腔體內做升降運動，所述掩膜板傳輸裝置帶動傳輸進真空腔體內的掩膜板在真空腔體內沿水平方向移動，所述掩膜板升降裝置帶動所述掩膜板在所述真空腔體內做升降運動，所述夾持板上設有用于夾緊掩膜板的夾子，所述開爪裝置密封地伸入所述真空腔體內并用于打開和鎖緊所述夾持板上的夾子，其中，所述自動對位機構還包括固定板、基板對位裝置、控制器及檢測裝置，所述固定板固定在所述真空腔體內的上方并位于開爪裝置與基板升降裝置之間，所述基板對位裝置對真空腔體內的基板進行水平方向上的位置調整對位，所述檢測裝置對真空腔體內的掩膜板與夾持板的位置進行實時檢測，所述基板對位裝置、基板傳輸裝置、基板升降裝置、掩膜板升降裝置、掩膜板傳輸裝置、開爪裝置及所述檢測裝置分別與所述控制器電連接。較佳地，所述基板對位裝置包括第一對位裝置與第二對位裝置，所述第一對位裝置包括第一對位驅動裝置、第一對位頭及第一對位架，所述第二對位裝置包括第二對位驅動裝置、第二對位頭及第二對位架，所述第一對位驅動裝置具有第一推動桿，所述第一推動桿密封地穿過所述真空腔體，所述第一對位頭固定在所述第一推動桿位于真空腔體內的自由端，所述第一對位架與所述第一對位頭相對并固定在所述固定架上，所述第二對位驅動裝置具有第二推動桿，所述第二推動桿密封地穿過所述真空腔體，所述第二對位頭固定在所述第二推動桿位于真空腔體內的自由端，所述第二對位架與所述第二對位頭相對并固定在所述固定架上，所述第一對位頭、第二對位頭、第一對位架及第二對位架均位于同一水平面，所述第一對位頭與所述第二對位頭相互垂直設置，所述第一對位驅動裝置通過第一推動桿控制所述第一對位頭向所述第一對位架方向水平移動，所述第二對位驅動裝置通過第二推動桿控制所述第二對位頭向所述第二對位架方向水平移動。對位裝置結構簡單，對位方便，所述第一對位裝置及第二對位裝置分別對基板在XY方向上進行調整，通過控制器實現一連貫動作，自動化程度高，效率高，能快速準確實現基板的對位。較佳地，所述基板傳輸裝置包括基板傳輸軌道、基板傳輸電機及齒輪，所述基板傳輸軌道設于真空腔體內并與所述進口、出口對接，所述夾持板承載于所述基板傳輸軌道上， 所述夾持板與所述基板傳輸軌道相接觸的部位安裝有滾輪，所述夾持板的側壁上具有齒條，所述基板傳輸電機安裝在所述真空腔體外，所述齒輪安裝在所述基板傳輸軌道一側并與所述齒條嚙合，所述基板傳輸電機的輸出軸與所述齒輪相連并帶動所述齒輪轉動，從而帶動所述夾持板在所述基板傳輸軌道上水平移動。所述夾持板通過滾輪在所述基板傳輸軌道上移動，避免夾持板在基板傳輸軌道上移動產生的機械損耗，增加夾持板的使用壽命。較佳地，所述掩膜板傳輸裝置包括輸送部和驅動部，所述輸送部包括若干導軌和軸套，所述導軌兩兩相對且并行排列在所述真空腔體內，所述軸套呈臺階狀并安裝在所述導軌內端，所述驅動部包括蝸桿和蝸輪，所述蝸桿與所述蝸輪相配合并帶動所述蝸輪轉動， 所述蝸輪固定在所述導軌的外端并帶動所述導軌轉動，所述軸套承載所述掩膜板并帶動所述掩膜板水平移動。通過導軌來輸送掩膜板，使得掩膜板的中部懸空地承載在輸送部上，易于掩膜板升降裝置帶動掩膜板上升。同樣較佳地，所述基板升降裝置包括基板升降電機、基板升降桿和升降板，所述基板升降電機與所述基板升降桿相連并控制所述升降桿動作，所述升降桿密封地穿過所述真空腔體與所述升降板相連并帶動所述升降板做升降運動，所述升降板位于所述基板下方并通過帶動基板傳輸裝置升降從而帶動所述基板做升降運動。同樣較佳地，所述掩膜板升降裝置包括掩膜板升降電機、掩膜板升降桿和托板，所述掩膜板升降電機與所述掩膜板升降桿相連并控制所述掩膜板升降桿動作，所述掩膜板升降桿密封地穿過所述真空腔體與所述托板相連并帶動所述托板做升降運動，所述托板位于所述掩膜板下方并帶動所述掩膜板做升降運動。[0012]與現有技術相比，本實用新型自動對位機構通過檢測裝置，能實時檢測真空腔體內的基板和掩膜板的位置，并反饋信息給控制器，再通過控制器對傳送進真空腔體的基板和掩膜板分別對應做升降、對位的操作，使其在保證真空腔體的真空度的狀態(tài)下，實現精準的對位，解決了現有技術中難以精確對位的問題，使得基板和掩膜板的對位可靠，提高成品率及生產效率。

圖1是本實用新型自動對位機構的結構示意圖。圖2是圖2另一角度的結構示意圖。圖3是本實用新型自動對為裝置另一結構示意圖。圖4是圖2中的夾持板的結構示意圖。圖5是圖4中夾持板的夾子的結構示意圖。
具體實施方式
為詳細說明本實用新型的技術內容、構造特征、所實現目的及效果，以下結合實施方式并配合附圖詳予說明。本實用新型本實用新型公開了一種自動對位機構，用于實現掩膜板與基板的精確對位，包括真空腔體11、夾持板12、開爪裝置13，基板傳輸裝置14、基板升降裝置15、掩膜板傳輸裝置16、掩膜板升降裝置17、固定板18、基板對位裝置19、控制器20及檢測裝置21，所述真空腔體11前后兩端開設有進口 111和出口 112，所述進口 111及出口 112處設置有密封的閘閥113，所述基板(圖未示)承載并夾持于所述夾持板12上并由腔外傳輸裝置穿過進口 111傳輸進所述真空腔體11內，所述基板傳輸裝置14帶動所述夾持板12沿水平方向在所述真空腔體11內傳輸，所述基板升降裝置15驅動所述基板傳輸裝置14升降，從而帶動所述夾持板12在所述真空腔體11內做升降運動，所述掩膜板傳輸裝置16帶動傳輸進真空腔體11內的掩膜板10在真空腔體11內沿水平方向移動，所述掩膜板升降裝置17帶動所述掩膜板10在所述真空腔體11內做升降運動，如圖4所示，所述夾持板12上設有用于夾緊掩膜板10的夾子122，所述開爪裝置13密封地伸入所述真空腔體11內并通過末端設置的頂輪131來實現打開和鎖緊所述夾持板12上的夾子122，從而實現對掩膜板10的夾持。 所述固定板18固定在所述真空腔體內11的上方并位于開爪裝置13與基板升降裝置15之間，所述固定板18用于定位夾持板12，所述基板對位裝置19對真空腔體11內的基板進行水平方向上的位置調整對位，所述檢測裝置21對真空腔體11內的掩膜板10與夾持板12 的位置進行實時檢測，優(yōu)選為CCD傳感器，所述真空腔體11內在合適位置設置有多個所述 CCD傳感器，以便于實時檢測夾持板12與掩膜板10的位置信息。所述基板對位裝置19、基板傳輸裝置14、基板升降裝置15、掩膜板升降裝置17、掩膜板傳輸裝置16、開爪裝置13及所述檢測裝置21分別與所述控制器20電連接，所述控制器優(yōu)選為可編程邏輯器件PLC，傳輸速度高，成本低，易于實現在線控制，有利于自動化控制。較佳地，所述基板對位裝置19包括第一對位裝置190與第二對位裝置195，所述第一對位裝置190包括第一對位驅動裝置191、第一對位頭192及第一對位架193，所述第二對位裝置195包括第二對位驅動裝置196、第二對位頭197及第二對位架198，所述第一驅
6動裝置191及第二驅動裝置196優(yōu)選為電機驅動氣缸，所述第一對位驅動裝置191具有第一推動桿194，所述第一推動桿194密封地穿過所述真空腔體11，所述第一對位頭192固定在所述第一推動桿194位于真空腔體11內的自由端，所述第一對位架193與所述第一對位頭192相對并固定在所述固定架18上，所述第二對位驅動裝置196具有第二推動桿199， 所述第二推動桿199密封地穿過所述真空腔體11，所述第二對位頭197固定在所述第二推動桿199位于真空腔體11內的自由端，所述第二對位架198與所述第二對位頭197相對并固定在所述固定架18上，所述第一對位頭192、第二對位頭197、第一對位架193及第二對位架198均位于同一水平面，所述第一對位頭192與所述第二對位頭197相互垂直設置，所述第一對位驅動裝置191通過第一推動桿194控制所述第一對位頭192向所述第一對位架 193方向水平移動，所述第二對位驅動裝置196通過第二推動桿199控制所述第二對位頭 197向所述第二對位架198方向水平移動，對位裝置結構簡單，對位方便，所述第一對位裝置190及第二對位裝置195分別對基板在XY方向上進行調整，通過控制器20實現一連貫動作，自動化程度高，效率高，能快速準確實現基板的對位。較佳地，所述掩膜板傳輸裝置16包括輸送部161和驅動部165，所述輸送部161包括若干導軌162和軸套163，所述導軌162兩兩相對且并行排列在所述真空腔體11內，所述軸套163呈臺階狀并安裝在所述導軌162內端，所述驅動部165包括蝸桿166和蝸輪167， 所述蝸桿166與所述蝸輪167相配合并帶動所述蝸輪167轉動，所述蝸輪167固定在所述導軌162的外端并帶動所述導軌162轉動，所述軸套163承載所述掩膜板10并帶動所述掩膜板10水平移動。通過導軌162來輸送掩膜板10，使得掩膜板10的中部懸空地承載在輸送部161上，方便掩膜板升降裝置17帶動掩膜板10上升。較佳的，所述軸套163外包裹有橡膠層，當掩膜板10在軸套上移動時，橡膠層可以有效的保護掩膜板10的下表面。同樣較佳地，所述基板升降裝置15包括基板升降電機151、基板升降桿152和升降板，所述基板升降電機151與所述基板升降桿152相連并控制所述升降桿152動作，所述升降桿152密封地穿過所述真空腔體11與所述升降板相連并帶動所述升降板153做升降運動，所述升降板位于所述基板下方并通過帶動基板傳輸裝置14升降從而帶動所述基板做升降運動，可以理解地，所述基板升降裝置15的基板升降桿152可以直接與基板傳送裝置 14的基板傳輸軌道141固定連接，通過基板升降電機151驅動基板升降桿152，從而推動基板傳輸裝置14做升降運動。同樣較佳地，所述掩膜板升降裝置17包括掩膜板升降電機171、掩膜板升降桿172 和托板173，所述掩膜板升降電機171與所述掩膜板升降桿172相連并控制所述掩膜板升降桿172動作，所述掩膜板升降桿172密封地穿過所述真空腔體11與所述托板173相連并帶動所述托板173做升降運動，所述托板173位于所述掩膜板10下方并帶動所述掩膜板10 做升降運動。配合參考圖4，較佳地，所述基板傳輸裝置14包括基板傳輸軌道141、基板傳輸電機142及齒輪143，所述基板傳輸軌道141設于真空腔體11內并與所述進口 111、出口 112 對接，所述夾持板12承載于所述基板傳輸軌道141上，所述夾持板12與所述基板傳輸軌道 141相接觸的部位安裝有滾輪123，所述夾持板12的側壁上具有齒條121，所述基板傳輸電機142安裝在所述真空腔體11外，所述齒輪143安裝在所述基板傳輸軌道141 一側并與所述齒條121嚙合，所述基板傳輸電機142的輸出軸與所述齒輪143相連并帶動所述齒輪143轉動，從而帶動所述夾持板12在所述基板傳輸軌道141上水平移動。較佳地，所述基板傳輸裝置14可設置多個齒輪143，從而更可靠穩(wěn)定實現對夾持板12的傳輸，所述齒輪之間可以通過蝸輪蝸桿及聯動軸的配合實現聯動。所述夾持板12通過滾輪123在所述基板傳輸軌道141上移動，避免夾持板12在基板傳輸軌道141上移動產生的機械損耗，增加夾持板12 的使用壽命。具體地，如圖4所示，所述夾持板12上安裝有若干夾子122，所述夾持板12至少一側的側壁開設有齒條121，為了防止夾持板12上升時與基板對位裝置19相撞，夾持板 12的邊緣開設有若干凹槽，所述夾子122安裝在凹槽內。參考圖5，所述夾子122包括固定座Ml、抓手M2、轉動軸M3以及扭轉彈簧M4，所述固定座241上開設有安裝孔M5，所述抓手241的頂部彎折，下部呈鉤狀，所述轉動軸243穿過所述抓手242的本體并安裝在所述固定座241上，所述扭轉彈簧244安裝在所述轉動軸243上，且所述扭轉彈簧244的一端抵觸在所述抓手頂部彎折處的下端，另一端抵觸在固定座241上，夾持掩膜板10時，向下壓觸抓手M2的頂部，所述抓手242繞轉動軸243轉動，所述抓手M2的下部向外旋轉打開，將掩膜板10置于抓手M2內，放開抓手242上方的壓力，在扭轉彈簧M4的作用下，抓手242 繞轉動軸243反向旋轉，抓手M2的下部向內旋轉閉合并夾持掩膜板10。相應地，本實用新型還同時公開了一種利用本實用新型的自動對位機構對掩膜板和基板進行對位的自動對位方法，包括以下步驟(1)控制器根據檢測裝置反饋的夾持板的位置信息，控制基板傳輸裝置將夾持板傳輸到真空腔體內的合適位置，并開啟基板升降裝置帶動基板傳輸裝置升降，從而將夾持板推動上升到第一對位頭與第二對位頭所在平面上的位置；( 控制器啟動第一對位裝置和第二對位裝置，通過第一對位頭、第二對位頭將夾持板水平推動至分別與第一對位架、第二對位架抵觸；C3)控制器啟動基板升降裝置將夾持板向上推動至與固定板抵觸；(4)控制器啟動開爪裝置打開夾持板上用于夾持掩膜板的夾子；( 控制器啟動掩膜板傳輸裝置水平移動掩膜板，并根據檢測裝置反饋的掩膜板位置信息控制掩膜板傳輸裝置對掩膜板的位置進行調整，實現準確定位，完成基板與掩膜板的對位；(6)控制器啟動掩膜板升降裝置將掩膜板上升推動至夾持板，并控制開爪裝置鎖緊夾持板上的夾子將掩膜板夾持，完成基板與掩膜板的緊密結合。本實用新型的自動對位機構對掩膜板和基板進行對位的工作原理如下所述將夾持板12水平輸送到真空腔體11內，具體如下給真空腔體11內充氣，直至真空腔體11的氣壓與腔體外的氣壓相等，打開進口 111的閘閥113，將夾持板12通過外界輸送裝置輸入真空腔體11，基板傳輸電機142動作并控制齒輪143轉動，齒輪143與夾持板 12側部的齒條121相嚙合從而帶動夾持板12沿基板傳輸軌道141移動，直至夾持板12輸送到基板傳輸軌道141的中端，當控制器20接收到檢測裝置21所檢測到的基板位置信息與預置一樣，基板傳輸電機142停止運行。由控制器20控制啟動基板升降電機151，將夾持板12連同基板傳輸裝置14上升至基板對位裝置19的調整平面的位置，同樣由檢測裝置21 檢測位置信息來控制升降范圍。接著對基板進行對位，具體如下第一對位裝置190的第一驅動裝置191動作并控制第一推動桿194伸出，第一推動桿194帶動第一對位頭192向第一對位架193方向移動，第一對位頭192頂觸基板的一側，直至基板的另一側抵觸在第一對位架193上；第二對位驅動裝置195動作并控制第二推動桿199伸出，第二推動桿199帶動第二對位頭196向第二對位架197方向移動，第二對位頭196頂觸基板的一側，直至基板的另一側抵觸在第二對位架197上，完成基板的對位。接著，控制器20啟動基板升降裝置15將夾持板12向上推動至與固定板18抵觸，由于固定板18是固定在真空腔體11上的，所以可以承受向上的推力。此時控制器20啟動開爪裝置13向下運動，同時帶動開爪裝置13打開夾持板12上用于夾持掩膜板10的夾子122，這樣就可以隨時等待對位完成的掩膜板10
與基板結合。對掩膜板10進行位置調節(jié)具體如下所述掩膜板10與基板同時由外部傳輸進真空腔體11內，開始根據控制器20進行調節(jié)，調節(jié)掩膜板10時，掩膜板傳輸裝置16的蝸桿 166受驅動轉動，蝸輪167隨之轉動并帶動導軌162轉動，軸套163轉動并帶動掩膜板10沿水平方向移動，通過檢測裝置20不斷進行檢測并反饋給控制器20，直至檢測到掩膜板10被移動到掩膜板傳輸裝置16的輸送部161的中端，處于正確的位置時，停止對掩膜板10的移動調整，完成掩膜板10的對位。接下來，控制器啟動掩膜板升降裝置17將掩膜板10上升推動至夾持板12，并控制開爪裝置13鎖緊夾持板12上的夾子122將掩膜板10夾持，完成基板與掩膜板10的緊密結合。最后是將夾持有基板與掩膜板10的夾持板12輸出真空腔體11，進入下一個工作循環(huán)。與現有技術相比，本實用新型自動對位機構通過檢測裝置21，能實時檢測真空腔體內的基板和掩膜板10的位置，并反饋信息給控制器20，再通過控制器20對傳送進真空腔體11的基板和掩膜板10分別對應做升降、對位的操作，使其在保證真空腔體11的真空度的狀態(tài)下，實現精準的對位，解決了現有技術中難以精確對位的問題，使得基板和掩膜板10 的對位可靠，提高成品率及生產效率，動作連貫，自動化程度高。相應地，利用本實用新型的自動對位方法可以使得基板和掩膜板的貼合對位精確度高、自動化程度高、能有效提高成品率和生產效率。以上所揭露的僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，當然不能以此來限定本實用新型之權利范圍，因此依本實用新型申請專利范圍所作的等同變化，仍屬本實用新型所涵蓋的范圍。
權利要求1.一種自動對位機構，用于實現掩膜板與基板的精確對位，包括真空腔體、夾持板、開爪裝置，基板傳輸裝置、基板升降裝置、掩膜板傳輸裝置及掩膜板升降裝置，所述真空腔體前后兩端開設有進口和出口，所述進口及出口處設置有密封的閘閥，所述基板承載并夾持于所述夾持板上并由腔外傳輸裝置穿過進口傳輸進所述真空腔體內，所述基板傳輸裝置帶動所述夾持板沿水平方向在所述真空腔體內傳輸，所述基板升降裝置驅動所述基板傳輸裝置升降，從而帶動所述夾持板在所述真空腔體內做升降運動，所述掩膜板傳輸裝置帶動傳輸進真空腔體內的掩膜板在真空腔體內沿水平方向移動，所述掩膜板升降裝置帶動所述掩膜板在所述真空腔體內做升降運動，所述夾持板上設有用于夾緊掩膜板的夾子，所述開爪裝置密封地伸入所述真空腔體內并用于打開和鎖緊所述夾持板上的夾子，其特征在于，還包括固定板、基板對位裝置、控制器及檢測裝置，所述固定板固定在所述真空腔體內的上方并位于開爪裝置與基板升降裝置之間，所述基板對位裝置對真空腔體內的基板進行水平方向上的位置調整對位，所述檢測裝置對真空腔體內的掩膜板與夾持板的位置進行實時檢測，所述基板對位裝置、基板傳輸裝置、基板升降裝置、掩膜板升降裝置、掩膜板傳輸裝置、 開爪裝置及所述檢測裝置分別與所述控制器電連接。
2.如權利要求1所述的自動對位機構，其特征在于，所述基板對位裝置包括第一對位裝置與第二對位裝置，所述第一對位裝置包括第一對位驅動裝置、第一對位頭及第一對位架，所述第二對位裝置包括第二對位驅動裝置、第二對位頭及第二對位架，所述第一對位驅動裝置具有第一推動桿，所述第一推動桿密封地穿過所述真空腔體，所述第一對位頭固定在所述第一推動桿位于真空腔體內的自由端，所述第一對位架與所述第一對位頭相對并固定在所述固定架上，所述第二對位驅動裝置具有第二推動桿，所述第二推動桿密封地穿過所述真空腔體，所述第二對位頭固定在所述第二推動桿位于真空腔體內的自由端，所述第二對位架與所述第二對位頭相對并固定在所述固定架上，所述第一對位頭、第二對位頭、第一對位架及第二對位架均位于同一水平面，所述第一對位頭與所述第二對位頭相互垂直設置，所述第一對位驅動裝置通過第一推動桿控制所述第一對位頭向所述第一對位架方向水平移動，所述第二對位驅動裝置通過第二推動桿控制所述第二對位頭向所述第二對位架方向水平移動。
3.如權利要求1所述的自動對位機構，其特征在于，所述基板傳輸裝置包括基板傳輸軌道、基板傳輸電機及齒輪，所述基板傳輸軌道設于真空腔體內并與所述進口、出口對接， 所述夾持板承載于所述基板傳輸軌道上，所述夾持板與所述基板傳輸軌道相接觸的部位安裝有滾輪，所述夾持板的側壁上具有齒條，所述基板傳輸電機安裝在所述真空腔體外，所述齒輪安裝在所述基板傳輸軌道一側并與所述齒條嚙合，所述基板傳輸電機的輸出軸與所述齒輪相連并帶動所述齒輪轉動，從而帶動所述夾持板在所述基板傳輸軌道上水平移動。
4.如權利要求1所述的自動對位機構，其特征在于，所述掩膜板傳輸裝置包括輸送部和驅動部，所述輸送部包括若干導軌和軸套，所述導軌兩兩相對且并行排列在所述真空腔體內，所述軸套呈臺階狀并安裝在所述導軌內端，所述驅動部包括蝸桿和蝸輪，所述蝸桿與所述蝸輪相配合并帶動所述蝸輪轉動，所述蝸輪固定在所述導軌的外端并帶動所述導軌轉動，所述軸套承載所述掩膜板并帶動所述掩膜板水平移動。
5.如權利要求1所述的自動對位機構，其特征在于，所述基板升降裝置包括基板升降電機、基板升降桿和升降板，所述基板升降電機與所述基板升降桿相連并控制所述升降桿動作，所述升降桿密封地穿過所述真空腔體與所述升降板相連并帶動所述升降板做升降運動，所述升降板位于所述基板下方并通過帶動基板傳輸裝置升降從而帶動所述基板做升降運動。
6.如權利要求1所述的自動對位機構，其特征在于，所述掩膜板升降裝置包括掩膜板升降電機、掩膜板升降桿和托板，所述掩膜板升降電機與所述掩膜板升降桿相連并控制所述掩膜板升降桿動作，所述掩膜板升降桿密封地穿過所述真空腔體與所述托板相連并帶動所述托板做升降運動，所述托板位于所述掩膜板下方并帶動所述掩膜板做升降運動。
專利摘要本實用新型公開了一種自動對位機構，用于實現掩膜板與基板的精確對位，包括真空腔體、夾持板、開爪裝置，基板傳輸裝置、基板升降裝置、掩膜板傳輸裝置、掩膜板升降裝置、固定板、基板對位裝置、控制器及檢測裝置，其中，基板對位裝置、基板傳輸裝置、基板升降裝置、掩膜板升降裝置、掩膜板傳輸裝置、開爪裝置及檢測裝置分別與控制器電連接，檢測裝置對掩膜板與基板的位置進行實時檢測并反饋給控制器，由控制器對真空腔體內的基板和掩膜板分別對應做升降、水平調整對位的操作，使其在保證真空腔體的真空度的狀態(tài)下，實現基板和掩膜板的精準對位，提高成品率及生產效率。
文檔編號C03C17/28GK201962202SQ20102066720
公開日2011年9月7日 申請日期2010年12月20日 優(yōu)先權日2010年12月20日
發(fā)明者劉惠森, 楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良 申請人:東莞宏威數碼機械有限公司