專利名稱：穩(wěn)定玻璃板及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及玻璃材料和制造這種玻璃材料的方法。具體地，本發(fā)明涉及具有高應(yīng) 變點和低壓縮(compaction)的玻璃材料。本發(fā)明可用于例如制造具有高應(yīng)變點、低壓縮的 玻璃板，所述玻璃板適用于制造可用于基于低溫多晶硅技術(shù)的顯示器件的玻璃基板。
背景技術(shù)：
當(dāng)玻璃熔體從高溫快速冷卻時，冷卻液體內(nèi)原子的運動隨溫度降低而減慢，最終 減弱為因振動態(tài)的常態(tài)熱布居(normal thermal population)而在固定位置附近的振蕩運 動。若玻璃要在中間溫度(例如玻璃轉(zhuǎn)變溫度或應(yīng)變點或退火點)保持更長時間(從數(shù)秒 至數(shù)天)，則這些位置通常不是原子所采用的位置。結(jié)果，當(dāng)將快速淬火的玻璃再加熱到中 間溫度時，熱布居的振動態(tài)使原子得以弛豫，進(jìn)入可更好地滿足其個體和集體結(jié)合要求的 位置。由于此過程常伴隨著玻璃的宏觀物理尺寸不可逆地減小，所以再加熱引起的熱松弛 據(jù)說導(dǎo)致玻璃緊縮。 典型的低溫多晶硅(LTPS)工藝包括將玻璃基板的溫度升高到60(TC或更高的步 驟。該溫度接近于典型的有源矩陣LCD(AMLCD)顯示基板的應(yīng)變點，因此，若無中間退火步 驟，這些玻璃將在低溫多晶硅工藝中顯著緊縮。這是非常不利的，因為它嚴(yán)重影響TFT與濾 色板之間的像素對準(zhǔn)，還可能影響TFT本身的性能。 已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，通過下拉熔制法制造的某些玻璃板雖然適合基于非晶形硅技術(shù)的TFT
顯示器，但是它們發(fā)生的緊縮太大，不能用于基于LTPS技術(shù)的TFT顯示器。因此，確實需要
一種具有原初表面、適合用作制造LTPS TFT顯示器所用玻璃基板的玻璃板，以及制造這種
玻璃板的經(jīng)濟(jì)的方法。 本發(fā)明滿足了這種需求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的第一個方面提供一種制造玻璃板的方法，該方法包括以下步驟 (1)提供退火點至少為765°C 、 CTE至多為42x10—7°C的玻璃材料； (2)將玻璃材料加熱至不低于1\的溫度，1\溫度對應(yīng)于粘度為1. Oxl010泊時的溫
度；以及 (3)以冷卻速率CR將玻璃材料從TJ令卻到T2溫度，T2溫度對應(yīng)于粘度為1. 0x1015 泊時的溫度，其中CR > 5°C /秒。 在本發(fā)明第一個方面所涉方法的一些實施方式中，在步驟(3)中，CR > 8°C /秒；
3在一些實施方式中，CR > 10°C /秒；在一些實施方式中，CR > 15°C /秒；在一些實施方式 中，CR > 20°C /秒；在一些實施方式中，CR > 25°C /秒；在一些實施方式中，CR > 30°C / 秒；在一些實施方式中，CR > 35°C /秒；在一些實施方式中，CR > 40°C /秒。
在本發(fā)明第一個方面所涉方法的一些實施方式中，在完成步驟(3)后，玻璃 材料具有測得的壓縮(compaction) CM675,其中| CM675 |《175卯m ;在 一些實施方式 中，|CM675|《150卯m ;在一些實施方式中，| CM675 |《125卯m ;在 一 些實施方式中， CM675|《lOOppm ;在一些實施方式中，| CM675 |《75ppm。 在本發(fā)明第一個方面所涉方法的一些實施方式中，玻璃板的厚度至多為2.5mm; 在一些實施方式中至多為2. Omm ;在一些實施方式中至多為1. 5mm ;在一些實施方式中至多 為1. Omm ;在一些實施方式中至多為0. 7mm ;在一些實施方式中至多為0. 5mm ;在一些實施 方式中至多為0. 3mm。 在本發(fā)明第一個方面所涉方法的一些實施方式中，玻璃材料在其組成中基本上不 含堿金屬。 在本發(fā)明第一個方面所涉方法的一些實施方式中，該方法選自(i)熔合拉制法； (ii)浮法；(iii)狹槽拉制法；以及(iv)軋制法。在一些具體實施方式
中，該方法是熔合拉 制法。 在本發(fā)明第一個方面所涉方法的一些實施方式中，在步驟(3)中，CR《20(TC/ 秒；在一些實施方式中，CR《180°C /秒；在一些實施方式中，CR《150°C /秒；在一些 實施方式中，CR《120°C /秒；在一些實施方式中，CR《IO(TC /秒；在一些實施方式中， CR《80°C /秒；在一些實施方式中，CR《50°C /秒；在一些實施方式中，CR《40°C /秒； 在一些實施方式中，CR《30°C /秒；在一些實施方式中，CR《20°C /秒；在一些實施方式 中，CR《10°C /秒。 在本發(fā)明第一個方面所涉方法的一些實施方式中，玻璃材料在其組成中包含Si02
和八1203。在一些具體實施方式
中，玻璃材料在其組成中包含5102、八1203和8203。在其他一
些具體實施方式
中，玻璃材料在其組成中包含Si02和八1203，但基本上不含B203。 本發(fā)明的第二個方面提供了適合在其上形成低溫多晶硅TFT的玻璃板的制造方
法，該方法包括以下步驟 (i)提供退火點至少為765t:的玻璃材料的玻璃熔體，該熔體的粘度至多為
1. Oxl010泊； (ii)以冷卻速率CR將該玻璃熔體從對應(yīng)于粘度為1. Oxl(T泊時的溫度Tj令卻到 對應(yīng)于粘度為1. 0x1015泊時的溫度L，其中CR > 5°C /秒；以及
(iii)由該玻璃熔體形成玻璃板。 在本發(fā)明第二個方面所涉方法的一些實施方式中，步驟(ii)和(iii)至少部分地 同時進(jìn)行。 在本發(fā)明第二個方面所涉方法的一些實施方式中，在步驟(i)中，所提供的玻璃 材料在其組成中包含Si(^和A1^3。在一些具體實施方式
中，玻璃材料在其組成中包含Si02、 A1203和B203。在其他一些具體實施方式
中，玻璃材料在其組成中包含Si02和八1203，但基本 上不含B203。 在本發(fā)明第二個方面所涉方法的一些實施方式中，在步驟(ii)中，CR> 10°C /秒；在一些實施方式中，CR > 15°C /秒；在一些實施方式中，CR > 20°C /秒；在一些實施方 式中，CR > 25°C /秒；在一些實施方式中，CR > 30°C /秒；在一些實施方式中，CR > 40°C / 秒；在一些實施方式中，CR > 50°C /秒。 在本發(fā)明第二個方面所涉方法的一些實施方式中，步驟(iii)包括將玻璃熔體熔 合拉制成玻璃板。 在本發(fā)明第二個方面所涉方法的一些實施方式中，在完成步驟(ii)和(iii)后， 玻璃板具有實測壓縮CM675，其中|CM675|《175ppm。 在本發(fā)明第二個方面所涉方法的一些實施方式中，在步驟(ii)中，CR《200°C / 秒；在一些實施方式中，CR《180°C /秒；在一些實施方式中，CR《150°C /秒；在一些 實施方式中，CR《120°C /秒；在一些實施方式中，CR《IO(TC /秒；在一些實施方式中， CR《80°C /秒；在一些實施方式中，CR《50°C /秒；在一些實施方式中，CR《40°C /秒； 在一些實施方式中，CR《30°C /秒；在一些實施方式中，CR《20°C /秒；在一些實施方式 中，CR《10°C /秒。 在本發(fā)明第二個方面所涉方法的一些實施方式中，在玻璃板表面上制造TFT之 前，不對玻璃板進(jìn)行二次退火步驟。 本發(fā)明的一個或多個實施方式具有以下一個或多個優(yōu)點。第一，本發(fā)明的玻璃板 所具有的壓縮適合低溫多晶硅基TFT顯示器的需要。第二，較高的冷卻速率使得玻璃板能 夠經(jīng)濟(jì)地大量生產(chǎn)，同時不會犧牲玻璃板的緊縮性質(zhì)。第三，本發(fā)明的方法可應(yīng)用于廣泛的 成形技術(shù)，包括但不限于熔合拉制法、狹槽拉制法、軋制法等。第四，當(dāng)采用熔合拉制法時， 可在不需要進(jìn)一步退火或修整表面的情況下生產(chǎn)具有原始玻璃表面的薄玻璃板。
對于本發(fā)明的其他特征和優(yōu)點將在以下詳細(xì)說明提出，部分可由本領(lǐng)域的技術(shù)人 員根據(jù)本文描述很容易地看出，或者通過按照在說明書和權(quán)利要求書以及附圖中所描述的 難熔實施本發(fā)明而認(rèn)識到。 應(yīng)當(dāng)理解，前面的概述和下面的詳述都僅僅是對本發(fā)明的示例性說明，意在為理 解要求專利權(quán)的本發(fā)明的性質(zhì)和特點提供全面評述或框架。 附圖用于進(jìn)一步理解本發(fā)明，它包括在本說明書中，構(gòu)成說明書的一部分。
附圖簡要描述
在附圖中

圖1是采用溢流槽的熔合下拉成形法的示意圖。 圖2是再加熱到675t:并保持此溫度時，玻璃板的壓縮與保溫時間的關(guān)系圖。
圖3是由不同玻璃材料制成的一系列玻璃板的壓縮與其退火點的關(guān)系圖。
具體實施例方式
除非另有說明，說明書和權(quán)利要求書中所用的所有數(shù)值，如表達(dá)各成分的重量百 分?jǐn)?shù)、尺寸和某些物理性質(zhì)的數(shù)值，都應(yīng)理解為在所有情況下均受"約"字修飾。還應(yīng)理解， 說明書和權(quán)利要求書中所用精確數(shù)值構(gòu)成本發(fā)明的另外的實施方式。發(fā)明人已盡力保證實 施例中所披露的數(shù)值的準(zhǔn)確性。不過，由于相應(yīng)測量技術(shù)存在標(biāo)準(zhǔn)偏差，所以任何測量值都 可能難免地包含某些誤差。 在描述本發(fā)明和提出權(quán)利要求時，文中所用不定冠詞"一個"或"一種"表示"至少
5一個(種)"，并且不應(yīng)局限為"僅一個(種)"，除非有相反說明。因此，例如，"一個玻璃方 塊"的說法包括具有兩個或更多個這種方塊的實施方式，除非文中另有明確說明。
除非有具體的相反說明，文中所用某組分的"重量％"或"重量百分?jǐn)?shù)"或"基于重 量的百分?jǐn)?shù)"是基于包含該組分的組合物或制品的總重量。 文中所用"無堿"是指玻璃組合物總共最多包含O. 1重量％的堿性氧化物。對于 要在其上直接制造電子部件如薄膜晶體管(TFT)的玻璃基材來說，無堿玻璃組合物是所需 要的。"熱膨脹系數(shù)"和"CTE"在文中互換使用，它們是指相關(guān)材料從25t:至30(TC的線 性熱膨脹系數(shù)。在本申請中，CTE用常規(guī)設(shè)備和方法測量，如ASTM E228-06"用推桿膨脹計 測量固體材料的線性熱膨脹性的標(biāo)準(zhǔn)測試方法"。 在本申請中，玻璃材料的退火點用常規(guī)設(shè)備和方法測量，例如 ASTMC336-71 (2005)"通過纖維伸長測量玻璃的退火點和應(yīng)變點的標(biāo)準(zhǔn)測試方法"。
用于測試粘度的波束彎曲法(Beam bending process for makingviscosity)
在本方法中，從對應(yīng)于粘度為101Q泊時的溫度1\到對應(yīng)于粘度為1015泊時的溫度 T2的冷卻速率(CR)定義為平均冷卻速率。因此 其中t是按秒計的冷卻持續(xù)時間，1\和T2的單位為t:，因此，CR的單位為t: /秒 CC/秒)。此粘度范圍內(nèi)的溫度曲線可以變化。因此，在從1\至12的冷卻階段，例如，在 一些實施方式中，溫度可以隨時間線性下降，而在其他一些實施方式中，也可以在指定時間 內(nèi)保持溫度在1\與T2之間的某個指定溫度不變。 在本申請中，玻璃的壓縮根據(jù)以下方案測量。制備精密玻璃方塊，其大小為4x4英 寸，厚度約為lmm或更薄。在距樣品邊緣約O. 5英寸的位置劃四條基準(zhǔn)線。這些線在樣品每 個角上的交點的X和Y坐標(biāo)用MitutoyoApex Vision系統(tǒng)確定，用這些坐標(biāo)計算樣品的周 長。然后，將做好標(biāo)記的玻璃立刻放入具有675t:恒定溫度的爐子中，并在爐子中保持30分 鐘。此后，從爐子中取出玻璃板，在不到3分鐘的時間里，將玻璃板快速冷卻至低于IO(TC。 大約在室溫下，再次測量定位標(biāo)記(registry mark)的位置。以ppm為單位的壓縮(CM675) 定義如下CM675 = "2 " x106,
尸1 其中Pl是所劃方塊在熱處理之前于室溫下的初始周長；P2是所劃方塊在熱處理
之后于室溫下的最終周長。|CM675|表示所測壓縮的絕對值，與其正負(fù)號無關(guān)。 這里所描述的本發(fā)明包括一種方法，該方法中，將退火點為765t:或更高、熱膨脹
系數(shù)至多為42x10—7t:的無堿玻璃形成為玻璃板，使得從約1. Oxl(T泊至1. 0x1015泊的冷
卻速率約為5°C /秒或更高。當(dāng)用前述方案測量滿足這些特性并以此速率冷卻的玻璃的
CM675時，所得|CM675|將至多為175ppm。此方法生產(chǎn)的壓縮小于175ppm的玻璃適合用作
低溫多晶硅基材，不需要進(jìn)行高成本的二次退火步驟。 制造本發(fā)明玻璃板的本發(fā)明方法可選自熔合拉制法、狹槽拉制法、軋制法、板材 再拉法(sheet re-draw process)和浮法等。因此，所用的具體成形技術(shù)對本發(fā)明來說不
6重要。例如，本發(fā)明玻璃板可以采用以下方式制造將熔融玻璃澆鑄成板形體，然后做薄并 拋光。此外，用上述任何方法制造的玻璃板可進(jìn)一步切割、做薄、研磨和/或拋光，或進(jìn)行其 他精整，只要不背離所要求的專利權(quán)的本發(fā)明的范圍和精神。發(fā)現(xiàn)退火點/壓縮/冷卻速 率之間的獨特而有趣的關(guān)系是本發(fā)明的基礎(chǔ)。下文將結(jié)合熔合下拉成形法更一步地詳細(xì)闡 明本發(fā)明。不過，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員會理解，根據(jù)本申請的揭示內(nèi)容，能使本發(fā)明也適 合用于其他玻璃板成形技術(shù)。 圖1圖示說明制造玻璃板的熔合下拉法所用設(shè)備結(jié)構(gòu)300。在此方法中，玻璃熔體 通過進(jìn)口 301進(jìn)入包含槽303和楔305的溢流槽。玻璃熔體注滿槽303之后，立即從兩側(cè) [稱作槽堰(weir)]溢出，沿楔的兩個側(cè)面307向下流動，在楔的端部309 (稱作根部)匯 合，形成單塊玻璃板311，將所述玻璃板進(jìn)一步沿方向313下拉，然后經(jīng)冷卻、切割和整理， 形成最終的玻璃板產(chǎn)品。在此成形階段，包括玻璃溢流、下流、形成板和拉制板在內(nèi)，玻璃熔 體的溫度下降，玻璃熔體的粘度從低于1. Oxl010泊增加到超過1. 0x1015泊。在指定的玻璃 寬度和產(chǎn)率情況下，該方法中的拉制速率越高，產(chǎn)量越大。該方法中的拉制速率部分地取決 于在1.0xl(T泊至1.0xlO"泊的粘度范圍內(nèi)的冷卻速率(CR)。要獲得高拉制速率，就需要 高CR。熔合下拉法能夠生產(chǎn)具有原始表面質(zhì)量的玻璃板，無須再進(jìn)行表面拋光。因此，該方 法特別有利于生產(chǎn)制造LCD顯示器件所用的玻璃基板。熔合下拉法要求玻璃材料具有較高 的液相線粘度，例如至少10000泊。 然而，研究發(fā)現(xiàn)，對于通過再加熱到較高溫度，例如典型低溫多晶硅TFT制造方法 所用的處理溫度而生產(chǎn)的玻璃板，高冷卻速率可能影響其壓縮。除冷卻速率外，再加熱拉制 板時觀察到的壓縮量還取決于許多因素，特別是熱循環(huán)的最高溫度，熱循環(huán)的持續(xù)時間，升 至該溫度的速率和自該溫度降溫的速率，該最高溫度與玻璃轉(zhuǎn)化溫度的接近程度，等等。
圖2顯示了一系列玻璃板的壓縮與其在再加熱過程中保持在675t:溫度的時間之 間的關(guān)系。在此圖中，1. 1是退火點為786t:的玻璃板的曲線，1. 2是退火點為777t:的玻璃 板的曲線，1. 3是退火點為77(TC的玻璃板的曲線，1. 4是退火點為72(TC的玻璃板的曲線。 顯然，在一定時限之內(nèi)，保持的時間越長，觀察到的壓縮越大。從該圖還可清楚看出，玻璃板 的玻璃的退火點越高，在675t:保持指定時間之后，壓縮傾向于越低。因此，為避免壓縮，退 火點在合理范圍內(nèi)盡可能高是有用的。 在實踐中，玻璃板的熱膨脹系數(shù)宜在合理范圍內(nèi)與硅本身的熱膨脹系數(shù)密切匹 配，否則會損害TFT的性能。根據(jù)AMLCD基材方面的經(jīng)驗可知，對于AMLCD和低溫多晶硅應(yīng) 用來說，熱膨脹系數(shù)低于42x10—7t:是適宜的。 根據(jù)本發(fā)明制造的玻璃板可有利地具有含Si02和A1203的組成。在一些實施方式 中，玻璃板的組成中可進(jìn)一步包含B203。據(jù)信B203有益于玻璃進(jìn)行熔合拉制的液相線粘度。 在其他實施方式中，玻璃板的組成中可包含Si02和八1203，但基本上不含B203。盡管B203對 上述成形過程有利，但它會降低310241203玻璃的退火點。為使玻璃獲得高退火點，在一些 實施方式中，其組成中宜基本上不含B203 。。 因此，本發(fā)明的一個方面特別涉及適合在其上制造低溫多晶硅(LPTS)TFT的玻璃 基板的制造方法。該方法包括以下一步，即提供退火點至少為765t:的玻璃材料的玻璃熔 體，然后在冷卻步驟中將該玻璃熔體從對應(yīng)于粘度為1. Oxl010泊時的溫度1\冷卻到對應(yīng)于 粘度為1. 0x1015泊時的溫度L，冷卻速率至少為5°C /秒；在一些實施方式中，至少為8°C /秒；在其他一些實施方式中，至少為10°C /秒；在其他一些實施方式中，至少為15°C /秒； 在其他一些實施方式中，至少為20°C /秒；在其他一些實施方式中，至少為30°C /秒；在其
他一些實施方式中，至少為40°C /秒；在其他一些實施方式中，至少為50°C /秒。冷卻步驟
可以是所述成形過程的一部分，在該過程中，玻璃熔體通過熔合下拉法等方法成形為具有
所需厚度的玻璃板。這樣生產(chǎn)的玻璃板有利地具有測得的CM675，其中根據(jù)上述方案測量， CM675|《175卯m。 因此，利用這種適合在其上制造LTPS TFT的玻璃基材的制造方法，可以生產(chǎn)這樣 的玻璃板而無須在下游進(jìn)一步進(jìn)行表面拋光，因為該熔制法得到了高質(zhì)量的表面。此外，它 還能快速地大規(guī)模生產(chǎn)具有充分壓縮的玻璃板，無須在下游對玻璃板進(jìn)一步進(jìn)行退火。玻 璃板退火的費用很高，可能破壞玻璃的原始表面質(zhì)量。因此，省去此步驟是本發(fā)明的一個巨 大優(yōu)點。然而，根據(jù)本發(fā)明的一些實施方式，即便二次退火步驟可能并非必需，但在一些實 施方式中，如果此步驟的成本不是高得驚人，對玻璃板進(jìn)行二次退火也可能是有利的。
以下通過非限制性實施例進(jìn)一步闡明本發(fā)明。
實施例
實施例1 用常規(guī)熔融法制造玻璃，形成大小至少為4x4英寸、厚度至少為lmm的正方形體。 切割或研磨所述正方形體，然后拋光至面積為4x4英寸、厚約lmm或更薄的精確正方形體。 我們在下文中稱這些正方形體為板的樣品，雖然"板"顯然也適用于通過軋制法、狹槽拉制 法或熔制法獲得的玻璃板。將板放入爐中，爐溫對應(yīng)于粘度不低于1. Oxl(T泊時的溫度，放 置時間為5-10分鐘，使局部原子組態(tài)重構(gòu)為超冷液體中的組態(tài)。然后，以一定方式從爐中 取出樣品，使平均冷卻速率約為5°C /秒或更高，將樣品溫度降至對應(yīng)于1. OxlO"泊時的溫 度。這就將玻璃的假想溫度重置到可與熔合拉制法、狹槽拉制法或軋制法所得狀態(tài)相當(dāng)?shù)?狀態(tài)。 實施例2 板以5°C /秒或更高的速率冷卻至室溫后，在距樣品邊緣約0. 5英寸的位置劃4條 基準(zhǔn)線。用Mitutoyo ApexVision系統(tǒng)確定這些線在樣品每個角落的交點的X和Y坐標(biāo)， 用這些坐標(biāo)計算樣品的周長。樣品經(jīng)過熱處理之后，借助于Mitutoyo Apex測得的周長的 變化獲取樣品尺寸的平均變化。這樣可以快速而準(zhǔn)確地測量樣品的壓縮值(對多次測量多 個樣品的結(jié)果求平均值)，所得壓縮值誤差大致為+/_2或3ppm，使我們能夠放心地評價和 區(qū)分不同的玻璃組成。
實施例3 做好初始標(biāo)記和測定初始周長之后，根據(jù)上述方案對玻璃板進(jìn)行測量CM675的余 下步驟。玻璃在675t:保持約30分鐘后，特意選擇很高的冷卻速率，以便保護(hù)在高溫下獲得 的幾何特性。 一種實現(xiàn)高速冷卻的方法是從爐中取出板后，通過風(fēng)扇或者射流壓縮空氣，將 室溫空氣流快速導(dǎo)向板的所有表面。再次測量定位標(biāo)記的位置。然后，根據(jù)上述方案計算 CM675值。 對于退火點足夠高的玻璃材料，定位的位置的變化可能非常小，因而可能需要進(jìn) 行重復(fù)測量和/或加熱處理，才能得到具有統(tǒng)計意義的結(jié)果。圖2顯示了 4種熔合拉制玻 璃的壓縮在675t:隨時間的變化，可清楚看到高退火點的益處。
如上所述制備多塊玻璃板并測量CM675，所得數(shù)據(jù)見圖3。從此圖可清楚看到，對 于退火點高于約765"的玻璃，所得|CM675|《175卯m。對于退火點低于約765°C的玻璃， 觀察到|CM675| >175TOm。將測試的所有玻璃板樣品從1. 0xl(T泊冷卻到1. 0x1015泊時， 冷卻速率高于5°C /秒但低于20°C /秒。分析發(fā)現(xiàn)，對應(yīng)于數(shù)據(jù)點201和203的玻璃板適 用于LTPS制造方法，而對應(yīng)于數(shù)據(jù)點205的玻璃板不合適。據(jù)信，在高于175ppm壓縮水平 線以上，除201和203外的其他數(shù)據(jù)點所對應(yīng)的玻璃適合用于LTPS制造，只要其表面具有 足夠高的質(zhì)量。 一種商標(biāo)為Jade 的市售玻璃板可根據(jù)本發(fā)明制造，并由美國紐約州康寧 市康寧有限公司(Corning Incorporated, Corning, New York, U.S.A.)銷售，其退火點約 為786"，根據(jù)上述測量方案測得的壓縮|CM675| < 175ppm。 本領(lǐng)域的技術(shù)人員不難看出，在不背離本發(fā)明的范圍和精神的前提下，可對本發(fā) 明作出各種改進(jìn)和變動。因此，本發(fā)明意在覆蓋本發(fā)明的各種改進(jìn)和變化形式，只要它們落 在所附權(quán)利要求及其等價要求的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
一種制造玻璃板的方法，它包括以下步驟(1)提供退火點至少為765℃、CTE至多為42x10-7/℃的玻璃材料；(2)將玻璃材料加熱至不低于T1的溫度，T1溫度是對應(yīng)于粘度為1.0x1010泊時的溫度；以及(3)以冷卻速率CR將玻璃材料從T1冷卻至T2溫度，T2溫度是對應(yīng)于粘度為1.0x1015泊時的溫度，其中CR≥5℃/秒。
2. 如權(quán)利要求l所述的制造玻璃板的方法，其特征在于，玻璃材料完成步驟(3)之后具 有測得的壓縮CM675，其中|CM675|《175ppm。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的制造玻璃板的方法，其特征在于，玻璃板的厚度至多為 2. 5mm。
4. 如前述權(quán)利要求中任一項所述的制造玻璃板的方法，其特征在于，玻璃材料的組成 中基本上不含堿金屬。
5. 如前述權(quán)利要求中任一項所述的制造玻璃板的方法，該方法包括用于形成玻璃板的 熔合拉制法。
6. 如前述權(quán)利要求中任一項所述的制造玻璃板的方法，其特征在于，在步驟(3)中， CR《200°C /秒。
7. 如前述權(quán)利要求中任一項所述的制造玻璃板的方法，其特征在于，玻璃材料的組成 中包含八1203和Si02。
8. 如權(quán)利要求7所述的制造玻璃板的方法，其特征在于，玻璃材料的組成中還包含BA。
9. 如權(quán)利要求7所述的制造玻璃板的方法，其特征在于，玻璃材料的組成中基本上不 含B203。
10. 如前述權(quán)利要求中任一項所述的制造玻璃板的方法，其特征在于(I)所得玻璃適 合在其上形成低溫多晶硅TFT ; (II)在步驟(2)中提供玻璃熔體；以及(III)該方法進(jìn)一步 包括以下步驟(4):(4) 由玻璃熔體形成玻璃板。
11. 如權(quán)利要求10所述的制造玻璃板的方法，其特征在于，步驟(3)和(4)至少部分同 時進(jìn)行。
12. 如權(quán)利要求10或11所述的制造玻璃板的方法，該方法在玻璃板上制造TFT之前不 進(jìn)行二次退火步驟。
全文摘要
一種制造具有低壓縮、適合高溫應(yīng)用的玻璃板的方法，如應(yīng)用于低溫多晶硅基TFT顯示器；以及這樣制造的玻璃板。玻璃板的退火點宜至少為765℃，CTE至多為42×10-7/℃。該方法包括以冷卻速率CR將該玻璃熔體從對應(yīng)于粘度為1.0×1010泊時的溫度冷卻到對應(yīng)于粘度為1.0×1015泊時的溫度，其中CR≥5℃/秒。在675℃再加熱一段時間后，所測玻璃板的壓縮的絕對值宜至多為175ppm。
文檔編號C03B17/06GK101774751SQ200910225618
公開日2010年7月14日 申請日期2009年11月20日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月21日
發(fā)明者A·J·埃列森, P·S·丹尼爾森, T·J·基克森斯基 申請人:康寧股份有限公司