專利名稱：高透過率觸摸屏用透明導(dǎo)電玻璃的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種玻璃，尤其是一種高透過率觸摸屏用透明導(dǎo)電玻璃。
背景技術(shù)：
觸摸屏主要應(yīng)用于手機(jī)、GPS等終端設(shè)備上時(shí)，對(duì)顯示出來的畫面質(zhì)量有較 大的影響。目前市場(chǎng)上主要的觸摸屏用導(dǎo)電玻璃主要是兩層膜結(jié)構(gòu)，如圖1所 示，在玻璃基片1上鍍制有二氧化硅膜(Si02) 3a和銦錫氧化物半導(dǎo)體透明 導(dǎo)電膜(TTO) 4，這種導(dǎo)電玻璃的光線透過率較低，只能達(dá)到80% 81%，清晰 度較低。通常為了提高顯示清晰度就必須要提高液晶顯示器本身的發(fā)光亮度， 而提高發(fā)光亮度一方面增加了液晶顯示器的功耗，另外一方面嚴(yán)重縮短了液晶 顯示器的背光源壽命。 發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明目的針對(duì)目前觸摸屏的光線透過率不高的現(xiàn)象，提供一種高透過率 的透明導(dǎo)電玻璃作為制作觸摸屏用的導(dǎo)電電極，來提高觸摸屏的可見光光線透 過率，使得液晶顯示器顯示更加清晰，降低能源消耗。
技術(shù)方案為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案如下 一種高透過率觸摸屏用透明導(dǎo)電玻璃，它包括玻璃基片，在玻璃基片的一
面上依次鍍加有五氧化二鈮膜、二氧化硅膜和銦錫氧化物半導(dǎo)體透明導(dǎo)電膜。 在玻璃基片的另外一面依次鍍加有五氧化二鈮膜和二氧化硅膜。 所述的二氧化硅膜的厚度為10至40 nm，五氧化二鈮膜膜層厚度范圍為40
至80 nm。
利用不同介質(zhì)薄膜在特定厚度的光學(xué)折射率不同來進(jìn)行疊加，形成光學(xué)干 涉效果，最終使得光學(xué)透過率增加，顯得更加透明。
在電磁光譜可見部分，普通的平板玻璃(折射率ri=1.515)大約反射8.4% 入射光(從前面反射4.2%以及從后面反射4.2%)，這種反射在觸摸屏的應(yīng)用中， 使得可見光透過率下降很多，只能達(dá)到80%，但是當(dāng)光線通過由不同折射率的薄 膜所形成的多層復(fù)合膜時(shí)，利用透明介質(zhì)膜層的光學(xué)折射率的不同來形成光學(xué) 干涉效果，而最終獲得減反射(AR)效應(yīng)，使得可見光的光學(xué)透過率增加。有益效果本實(shí)用新型的高透過率觸摸屏用透明導(dǎo)電玻璃的三層膜的產(chǎn)品 指標(biāo)透過率大于93%，電阻率為1*E - 4 Q.cm， IT0薄膜均勻性土5呢； 五層膜的產(chǎn)品的指標(biāo)透過率大于98 %，電阻率為1*E - 4 Q.cm， ITO 薄膜均勻性±5%，相比現(xiàn)有二層膜的產(chǎn)品指標(biāo)透過率大于91%,電阻率為 1*E - 4 Q.cm，訂0薄膜均勻性±7%，在透過率和ITO薄膜均勻性上均有明 顯改善。采用這種高透過率的導(dǎo)電玻璃作為觸摸屏的導(dǎo)電電極，能顯著地提高 液晶顯示器可見光透過率，提高液晶顯示器的顯示清晰度，降低了背光源的功 耗，提高了壽命，具有綠色環(huán)保效果。

圖1為現(xiàn)有觸摸屏用導(dǎo)電玻璃的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2為本實(shí)用新型三層膜的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖3為本實(shí)用新型五層膜的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做更進(jìn)一部的解釋。
如圖2所示，在超薄玻璃基片l上，用磁控中頻反應(yīng)濺射的方法，在玻璃基 片1的一面先鍍制五氧化二鈮膜(Nb205) 2a和二氧化硅膜(Si02) 3a，然后再采 用直流反應(yīng)濺射工藝鍍制銦錫氧化物半導(dǎo)體透明導(dǎo)電膜(ITO) 4，三層膜的結(jié) 構(gòu)有效地提高了玻璃基片的光學(xué)透過率，并降低了玻璃基片的光學(xué)反射率，防止 玻璃眩光的產(chǎn)生。為了進(jìn)一步提高其透過率，如圖3所示，在玻璃基片1的另一 面，用同樣的方法，鍍加五氧化二鈮膜(Nb205) 2b和二氧化硅膜(Si02) 3b，即 制成五層膜的結(jié)構(gòu)，進(jìn)一步提高其性能。所述的五氧化二鈮膜(Nb205) 2a、 2b 也可以用二氧化鈦膜(Ti02)、氮化硅(Si美)、三氧化二鋁(A1A)等代替，所 述的五氧化二鈮膜2a和2b或二氧化鈦膜(Ti02)、氮化硅(Si3N4 )、三氧化二 鋁(A1203)的膜層厚度范圍為40至80 nm， 二氧化硅膜3a和3b的膜層厚度為 10至40 nm。
權(quán)利要求1、一種高透過率觸摸屏用透明導(dǎo)電玻璃，它包括玻璃基片(1)，其特征在于在玻璃基片(1)的一面上依次鍍加有五氧化二鈮膜(2a)、二氧化硅膜(3a)和銦錫氧化物半導(dǎo)體透明導(dǎo)電膜(4)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的高透過率觸摸屏用透明導(dǎo)電玻璃，其特征在于: 在玻璃基片(1)的另外一面依次鍍加有五氧化二鈮膜(2b)和二氧化硅膜(3b)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求l或2所述的高透過率觸摸屏用透明導(dǎo)電玻璃，其特征 在于所述的五氧化二鈮膜(2a)和(2b)的膜層厚度為40至80 nm， 二氧化 硅膜(3a)和(3b)的膜層厚度為10至40 nm。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種高透過率觸摸屏用透明導(dǎo)電玻璃，它包括玻璃基片，在玻璃基片的一面上依次鍍加有五氧化二鈮膜、二氧化硅膜和銦錫氧化物半導(dǎo)體透明導(dǎo)電膜。在玻璃基片的另外一面依次鍍加有五氧化二鈮膜和二氧化硅膜。本實(shí)用新型的高透過率觸摸屏用透明導(dǎo)電玻璃的三層膜的產(chǎn)品指標(biāo)透過率大于93％，電阻率為1*E-4Ω.cm，ITO薄膜均勻性±5％；五層膜的產(chǎn)品的指標(biāo)透過率大于98％，電阻率為1*E-4Ω.cm，ITO薄膜均勻性±5％，相比現(xiàn)有二層膜的產(chǎn)品指標(biāo)透過率大于91％，電阻率為1*E-4Ω.cm，ITO薄膜均勻性±7％，在透過率和ITO薄膜均勻性上均有明顯改善。
文檔編號(hào)C03C17/34GK201309893SQ20082016050
公開日2009年9月16日 申請(qǐng)日期2008年10月10日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月10日
發(fā)明者俊 李 申請(qǐng)人:無錫康力電子有限公司