專利名稱：涂布機(jī)噴嘴清潔模塊及其裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種涂布機(jī)清潔模塊，特別是涉及一種光學(xué)工藝流程(photoprocess)中的涂布機(jī)噴嘴清潔裝置，在工藝流程中清潔涂布機(jī)噴嘴。
背景技術(shù)：
顯示器制作流程中光刻膠涂布機(jī)臺(tái)(slit coater)普遍存在凝膠(gel)的問題，當(dāng)噴嘴(nozzle)尖端處于不清潔的狀況下作涂布會(huì)形成缺陷(defect)，并嚴(yán)重影響產(chǎn)品成品率。一般在進(jìn)行每片產(chǎn)品的光刻膠涂布前，會(huì)使用橡膠(rubber)作為噴嘴尖端的清潔材料，然而由于橡膠的精度無法與噴嘴完全吻合，因此無法有效清潔光刻膠涂布機(jī)臺(tái)噴嘴尖端；此外，橡膠的吸水性差，以橡膠清潔噴嘴無法將多余的光刻膠液體去除，最后反而殘留在噴嘴上，進(jìn)行生產(chǎn)時(shí)對(duì)噴嘴的清潔反而是越擦越臟。多種類似情況，都容易造成產(chǎn)品的缺陷。
目前的解決方案，有于噴嘴的細(xì)縫內(nèi)部或者噴嘴尖端附近涂布一層或數(shù)層的納米薄膜以增加噴嘴口的流度，因此涂布材料不易堆積在噴嘴附近進(jìn)而保持噴嘴清潔；也有使用擦拭布擦拭噴嘴，以維持噴嘴的清潔等。圖1a所示為美國專利第7073886號(hào)所公開的使用擦拭布清潔噴嘴的一實(shí)施方式。如圖1a及圖1b所示，噴頭清潔機(jī)構(gòu)30包含擦拭布供應(yīng)單位32及滾輪31，擦拭布供應(yīng)單位32用以饋送擦拭布40至滾輪31，滾輪31則由下向上沿平行噴嘴面21的方向擦拭噴嘴20。但是這種清潔方式仍有不能完全清潔噴嘴的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種涂布機(jī)噴嘴清潔模塊及其裝置，供徹底清潔涂布機(jī)噴嘴以減少問題的發(fā)生，并提升制作成品率。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種涂布機(jī)噴嘴清潔模塊及其裝置，解決涂布機(jī)普遍存在的凝膠問題，以提高生產(chǎn)成品率。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種涂布機(jī)噴嘴清潔模塊及其裝置，搭配使用具備高彈性、柔軟性及吸附性的清潔材料，當(dāng)清潔材料介于噴嘴尖端與清潔部中間時(shí)，會(huì)因彈性自動(dòng)符合噴嘴尖端的形狀而將噴嘴尖端多余的光刻膠吸除，能加強(qiáng)對(duì)噴嘴的清潔效果并降低凝膠形成的機(jī)率。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種涂布機(jī)噴嘴清潔模塊及其裝置，與涂布機(jī)噴嘴配合使用，包含清潔部及饋送部。清潔部具有座部設(shè)有清潔面，饋送部具有推進(jìn)裝置，供饋送清潔材料至清潔面，其中當(dāng)涂布機(jī)噴嘴通過清潔面，涂布機(jī)噴嘴接觸清潔材料而與座部相抵。在較佳實(shí)施例中，推進(jìn)裝置進(jìn)一步包含動(dòng)力裝置及轉(zhuǎn)軸設(shè)置于饋送部，動(dòng)力裝置輸出動(dòng)力旋動(dòng)轉(zhuǎn)軸以饋送清潔材料。饋送部較佳還包含回收部及轉(zhuǎn)向軸，轉(zhuǎn)向軸設(shè)置于回收部與清潔部之間，推進(jìn)裝置結(jié)合設(shè)置于回收部以旋動(dòng)回收部，其中當(dāng)涂布機(jī)噴嘴為清潔材料清潔后，推進(jìn)裝置帶動(dòng)清潔材料通過轉(zhuǎn)向軸回收至回收部。
由上所述，本發(fā)明涂布機(jī)噴嘴清潔模塊及其裝置，可徹底清潔涂布機(jī)噴嘴解決涂布機(jī)普遍存在的凝膠問題，以提高生產(chǎn)成品率。
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述，但不作為對(duì)本發(fā)明的限定。


圖1a所示為公知噴嘴清潔裝置；圖1b所示為圖1a所示噴嘴清潔裝置的工作圖；圖2a所示為本發(fā)明涂布機(jī)噴嘴清潔模塊的側(cè)視圖；圖2b所示為圖2a所示實(shí)施例的工作圖；圖3所示為本發(fā)明涂布機(jī)噴嘴清潔模塊的俯視圖。
其中，附圖標(biāo)記20噴嘴21噴嘴面30噴嘴清潔機(jī)構(gòu)31滾輪32擦拭布供應(yīng)單位40擦拭布200涂布機(jī)噴嘴
210噴嘴面300涂布機(jī)噴嘴清潔模塊、涂布機(jī)噴嘴清潔裝置310清潔部311座部、清潔底座3111缺孔、凹孔312清潔面、清潔上表面313滾軸320饋送部、清潔材料輸送端321推進(jìn)裝置3211轉(zhuǎn)軸3212動(dòng)力裝置322回收部、回收轉(zhuǎn)軸3221滾筒、推進(jìn)裝置323轉(zhuǎn)向軸400清潔材料500非直線路徑、非平面路徑具體實(shí)施方式
本發(fā)明提供一種涂布機(jī)噴嘴清潔模塊及其裝置，供徹底清潔涂布機(jī)噴嘴以減少問題的發(fā)生，并提升制作成品率。本發(fā)明的涂布機(jī)噴嘴清潔模塊及其裝置可解決涂布機(jī)普遍存在的凝膠問題，以提高生產(chǎn)成品率。本發(fā)明的涂布機(jī)噴嘴清潔模塊及其裝置，較佳與具備高彈性、柔軟性及吸附性的清潔材料配合使用，當(dāng)清潔材料介于噴嘴尖端與清潔部中間時(shí)，會(huì)因彈性自動(dòng)符合噴嘴尖端的形狀而將噴嘴尖端多余的光刻膠吸除，能加強(qiáng)對(duì)噴嘴的清潔效果并降低凝膠發(fā)生的機(jī)率。
本發(fā)明的涂布機(jī)噴嘴清潔模塊所使用的清潔材料，較佳為具高吸附性的復(fù)合織品材料，包含細(xì)度0.55dtex以下的纖維，例如聚酯類纖維、嫘縈纖維、聚乙烯酸纖維、聚酰胺纖維、聚丙烯纖維、尼龍纖維、棉纖維等。然而在其它較佳實(shí)施例中，本發(fā)明的涂布機(jī)噴嘴清潔模塊所使用的清潔材料也包含使用無塵布(100％polyester或100％polypropylene)而對(duì)噴嘴進(jìn)行清潔。本發(fā)明的涂布機(jī)噴嘴清潔模塊及其裝置，較佳應(yīng)用于清潔薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)工藝流程前段黃光工藝流程中的光刻膠涂布機(jī)臺(tái)；在不同實(shí)施例中，也可應(yīng)用于如半導(dǎo)體或其它相類似的高精密工藝流程，或是其它需要排除凝膠形成的工藝流程。
圖2a所示為本發(fā)明涂布機(jī)噴嘴清潔模塊及其裝置的一較佳實(shí)施例。如圖2a所示，本發(fā)明的涂布機(jī)噴嘴清潔模塊及其裝置較佳與涂布機(jī)噴嘴200配合使用。涂布機(jī)噴嘴200具有噴嘴面210，涂布機(jī)噴嘴清潔模塊300則包含清潔部310及饋送部320。如圖2a的較佳實(shí)施例所示，清潔部310具有座部311，其上設(shè)有清潔面312，饋送部320則具有推進(jìn)裝置321，供饋送清潔材料400至清潔面312，其中當(dāng)涂布機(jī)噴嘴200通過清潔面312，涂布機(jī)噴嘴200接觸清潔材料400而與座部311相抵。
如圖2a及圖2b的較佳實(shí)施例所示，座部311較佳形成為清潔底座，其上具有清潔上表面形成清潔面312，供清潔材料400布設(shè)于清潔面312上，待噴嘴200降下時(shí)進(jìn)行清潔。如圖2a的較佳實(shí)施例所示，清潔材料400沿與水平夾一角度方向通過清潔面312，也就是清潔材料400沿與水平夾一角度方式擦拭噴嘴面210。如圖2a所示，清潔材料400與水平所夾的角度較佳略高于水平面，介于1度至7度之間，而方便清潔材料400的輸送與行進(jìn)。
如圖2a及圖2b所示，座部311較佳形成有缺孔3111，供與涂布機(jī)噴嘴200相抵。在此較佳實(shí)施例中，缺孔3111的形狀較佳與涂布機(jī)噴嘴200相吻合，且座部311較佳由橡膠等具彈性的材質(zhì)所制成。但在不同實(shí)施例中，座部311也可由塑料、其它石化材料或金屬所制成。如圖2a及圖2b的較佳實(shí)施例所示，缺孔3111對(duì)準(zhǔn)涂布機(jī)噴嘴200，清潔材料400則覆蓋于缺孔3111上，供涂布機(jī)噴嘴200接觸清潔材料400后與之抵接，而清潔噴嘴面210。如圖2a及圖2b所示，座部311較佳進(jìn)一步包含滾軸313設(shè)置于座部311的一側(cè)邊，供清潔材料400通過座部311后，反向通過清潔面312。但在不同實(shí)施例中，清潔材料400也可于清潔噴嘴面210后直接通過滾軸313，在座部311的同一側(cè)邊回收。
如圖2a及圖2b的較佳實(shí)施例所示，饋送部320較佳設(shè)置有推進(jìn)裝置321，供饋送清潔材料400至清潔面312。在此較佳實(shí)施例中，饋送部320較佳形成為清潔材料輸送端，供輸送清潔材料400至清潔面312而擦拭噴嘴面210。如圖2a及圖2b所示，推進(jìn)裝置321較佳包含動(dòng)力裝置3212以及設(shè)置于饋送部320的轉(zhuǎn)軸3211，其中動(dòng)力裝置3212供輸出動(dòng)力旋動(dòng)轉(zhuǎn)軸3211以饋送清潔材料400。因此，如圖2b所示，動(dòng)力裝置3212較佳帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸3211順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，拉動(dòng)清潔材料400至清潔面312并對(duì)噴嘴面210進(jìn)行清潔后，通過滾軸313而收集于轉(zhuǎn)軸3211上。如圖2b及圖3所示，在此較佳實(shí)施例中，動(dòng)力裝置3212可為自動(dòng)控制馬達(dá)、半自動(dòng)控制馬達(dá)、步進(jìn)馬達(dá)等可輸出動(dòng)力旋動(dòng)轉(zhuǎn)軸3211的。但在不同實(shí)施例中，也可使用手游戲桿等裝置以人力旋動(dòng)轉(zhuǎn)軸3211而控制清潔材料400的饋送。如圖2b的較佳實(shí)施例所示，清潔材料400較佳圍繞饋送部320的轉(zhuǎn)軸3211卷成滾輪狀，而與座部311及涂布機(jī)噴嘴200彼此相對(duì)設(shè)置于涂布機(jī)臺(tái)本體的二側(cè)。如圖2b所示，清潔材料400的設(shè)置高度，較佳不高于涂布機(jī)噴嘴200，但在不同實(shí)施例中，清潔材料400也可設(shè)置于比涂布機(jī)噴嘴200高的地方，而將清潔材料400饋送至清潔面312。
在如圖2b及圖3所示的較佳實(shí)施例中，饋送部320還包含有回收部322。如圖2b的較佳實(shí)施例所示，回收部322設(shè)置于饋送部320的上方。如圖2a及圖2b所示，回收部322較佳進(jìn)一步設(shè)置有推進(jìn)裝置3221以旋動(dòng)回收部322，其中當(dāng)涂布機(jī)噴嘴200被清潔材料400所清潔，推進(jìn)裝置3221旋動(dòng)回收部322，并將清潔材料400回收。在此較佳實(shí)施例中，清潔材料400受推進(jìn)裝置3221的帶動(dòng)，自饋送部320沿轉(zhuǎn)軸3211逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，通過滾軸313至清潔面312對(duì)噴嘴面210加以清潔后，而回收至回收部322。如圖2b及圖3所示，推進(jìn)裝置3221較佳包含如滾筒等的滾輪裝置而形成回收轉(zhuǎn)軸，但在不同實(shí)施例中，推進(jìn)裝置3221也可為自動(dòng)控制馬達(dá)、半自動(dòng)控制馬達(dá)、步進(jìn)馬達(dá)等可輸出動(dòng)力以旋動(dòng)回收部322的裝置。如圖2a及圖2b的較佳實(shí)施例所示，回收部322與饋送部320的相對(duì)位置及相互作用關(guān)系也可互相對(duì)調(diào)，也就是可將清潔材料400設(shè)置于回收部322形成清潔材料輸送端，而由設(shè)置于回收部322下方的饋送部320對(duì)清潔材料400加以收集。在此較佳實(shí)施例中，可借由動(dòng)力裝置3212帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸3211順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，拉動(dòng)清潔材料400至清潔面312對(duì)噴嘴面210加以清潔后，通過滾軸313而收集于轉(zhuǎn)軸3211上，此時(shí)轉(zhuǎn)軸3211則相對(duì)于回收部322所形成的清潔材料輸送端，而成為回收轉(zhuǎn)軸。如圖2b及圖3的較佳實(shí)施例所示，回收部322較佳設(shè)置于清潔部310的反側(cè)而與清潔材料400相連。但在不同實(shí)施例中，回收部322也可設(shè)置于清潔部310的同一側(cè)而回收清潔材料400。當(dāng)清潔材料400完成對(duì)噴嘴面210的清潔，回收部322將清潔材料400卷成滾輪狀，方便生產(chǎn)線人員的抽換與更新。
如圖2b及圖3所示，饋送部320較佳還包含有轉(zhuǎn)向軸323設(shè)置于回收部322與清潔部310之間，其中當(dāng)涂布機(jī)噴嘴200被清潔材料400所清潔，推進(jìn)裝置3221帶動(dòng)清潔材料400通過轉(zhuǎn)向軸323，并將清潔材料400回收至回收部322。如圖2b及圖3所示，清潔材料400較佳在通過轉(zhuǎn)向軸323后與回收部322相連而形成非平面路徑500。此處所說的非平面路徑500指清潔材料400沿一非直線路徑通過清潔面312及轉(zhuǎn)向軸323而與回收部322相連，也就是清潔面312、轉(zhuǎn)向軸323及回收部322三者間不具有同一直線關(guān)系。如圖2b及圖3的較佳實(shí)施例所示，當(dāng)清潔材料400沿清潔面312、轉(zhuǎn)向軸323及回收部322所形成的非平面路徑500通過清潔部，涂布機(jī)噴嘴200接觸清潔材料400與座部311的缺孔3111相抵而擦拭噴嘴面210，并由回收部322旋動(dòng)以回收清潔材料400。如圖2b及圖3所示，本發(fā)明的涂布機(jī)噴嘴清潔模塊及其裝置較佳在每片玻璃涂布前以動(dòng)力裝置3212將清潔材料400饋送至清潔面312，通過清潔材料400的柔軟彈性及高吸附性對(duì)噴嘴200尖端進(jìn)行清潔，并在清潔完成后抽換清潔材料400，以便于制作下一片產(chǎn)品時(shí)的清潔。
當(dāng)然，本發(fā)明還可有其他多種實(shí)施例，在不背離本發(fā)明精神及其實(shí)質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員可根據(jù)本發(fā)明作出各種相應(yīng)的改變和變形，但這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明所附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種涂布機(jī)噴嘴清潔模塊，供與一涂布機(jī)噴嘴配合使用，其特征在于，包含一清潔部，該清潔部具有一座部，該座部上設(shè)有一清潔面；以及一饋送部，該饋送部具有一推進(jìn)裝置，供饋送一清潔材料至該清潔面，其中當(dāng)該涂布機(jī)噴嘴通過該清潔面，該涂布機(jī)噴嘴接觸該清潔材料而與該座部相抵。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布機(jī)噴嘴清潔模塊，其特征在于，該推進(jìn)裝置包含一轉(zhuǎn)軸及一動(dòng)力裝置，該動(dòng)力裝置輸出一動(dòng)力旋動(dòng)該轉(zhuǎn)軸以饋送該清潔材料。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布機(jī)噴嘴清潔模塊，其特征在于，該饋送部包含一回收部及一轉(zhuǎn)向軸，該推進(jìn)裝置設(shè)置于該回收部以旋動(dòng)該回收部，該轉(zhuǎn)向軸設(shè)置于該回收部與該清潔部之間，其中當(dāng)該涂布機(jī)噴嘴被該清潔材料清潔后，該推進(jìn)裝置帶動(dòng)該清潔材料通過該轉(zhuǎn)向軸，回收至該回收部。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的涂布機(jī)噴嘴清潔模塊，其特征在于，該推進(jìn)裝置包含一滾筒。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的涂布機(jī)噴嘴清潔模塊，其特征在于，該清潔材料沿一非直線路徑通過該清潔面及該轉(zhuǎn)向軸而與該滾筒相連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布機(jī)噴嘴清潔模塊，其特征在于，該清潔部進(jìn)一步包含一滾軸設(shè)置于該座部的一側(cè)邊，供該清潔材料經(jīng)過該座部后，反向通過該清潔面。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的涂布機(jī)噴嘴清潔模塊，其特征在于，該清潔材料沿與水平夾一角度通過該清潔面。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布機(jī)噴嘴清潔模塊，其特征在于，該座部包含一缺孔，供與該涂布機(jī)噴嘴相抵。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的涂布機(jī)噴嘴清潔模塊，其特征在于，該座部包含一橡膠材質(zhì)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布機(jī)噴嘴清潔模塊，其特征在于，該清潔材料為一織品。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的涂布機(jī)噴嘴清潔模塊，其特征在于，該清潔材料包含一無塵布。
12.一種涂布機(jī)噴嘴清潔裝置，供清潔一涂布機(jī)噴嘴，該涂布機(jī)噴嘴具有一噴嘴面，其特征在于，該涂布機(jī)噴嘴清潔裝置包含一清潔底座，具有一清潔上表面；一清潔材料輸送端，供輸送一清潔材料通過該清潔上表面并擦拭該噴嘴面；以及一回收轉(zhuǎn)軸，設(shè)置于該清潔底座的反側(cè)并與該清潔材料相連，其中當(dāng)該清潔材料通過該清潔上表面并擦拭該噴嘴面，該回收轉(zhuǎn)軸旋動(dòng)以回收該清潔材料。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的涂布機(jī)噴嘴清潔裝置，其特征在于，還包含一轉(zhuǎn)向軸設(shè)置于該回收轉(zhuǎn)軸與該清潔底座之間，該清潔材料通過該轉(zhuǎn)向軸與該回收轉(zhuǎn)軸相連而形成一非平面路徑。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的涂布機(jī)噴嘴清潔裝置，其特征在于，該清潔上表面具有一凹孔對(duì)準(zhǔn)該涂布機(jī)噴嘴，該清潔材料覆蓋該開孔，供該涂布機(jī)噴嘴接觸該清潔材料與該開孔抵接，而擦拭該噴嘴面。
15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的涂布機(jī)噴嘴清潔裝置，其特征在于，該清潔底座進(jìn)一步包含一滾軸設(shè)置于該清潔底座的一側(cè)邊，供該清潔材料通過該清潔底座后，反向與該回收轉(zhuǎn)軸相連。
16.根據(jù)權(quán)利要求12所述的涂布機(jī)噴嘴清潔裝置，其特征在于，該清潔材料沿與水平夾一角度擦拭該噴嘴面。
17.根據(jù)權(quán)利要求12所述的涂布機(jī)噴嘴清潔裝置，其特征在于，該清潔底座包含一橡膠材質(zhì)。
18.根據(jù)權(quán)利要求12所述的涂布機(jī)噴嘴清潔裝置，其特征在于，該清潔材料為一織品。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的涂布機(jī)噴嘴清潔裝置，其特征在于，該清潔材料包含一無塵布。
20.根據(jù)權(quán)利要求12所述的涂布機(jī)噴嘴清潔裝置，其特征在于，該清潔材料輸送端包含一動(dòng)力裝置，該動(dòng)力裝置輸出一動(dòng)力以輸送該清潔材料。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種涂布機(jī)噴嘴清潔模塊及其裝置，與涂布機(jī)噴嘴配合使用，包含清潔部及饋送部，清潔部具有座部，座部上設(shè)有清潔面；饋送部具有推進(jìn)裝置，供饋送清潔材料至清潔面，其中當(dāng)涂布機(jī)噴嘴通過清潔面，涂布機(jī)噴嘴接觸清潔材料而與座部相抵。
文檔編號(hào)B08B13/00GK101071271SQ200710122760
公開日2007年11月14日 申請(qǐng)日期2007年7月4日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月4日
發(fā)明者朱益新 申請(qǐng)人:友達(dá)光電股份有限公司