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涂布機(jī)噴嘴清潔模塊及其裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):1478670

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本發(fā)明涉及一種涂布機(jī)清潔模塊,特別是涉及一種光學(xué)工藝流程(photoprocess)中的涂布機(jī)噴嘴清潔裝置,在工藝流程中清潔涂布機(jī)噴嘴。背景技術(shù) 顯示器制作流程中光刻膠涂布機(jī)臺(tái)(slit coater)普遍存在凝膠(gel)的問(wèn)題,當(dāng)噴嘴(nozzle)尖端處于不清潔的狀況下作涂布會(huì)形成缺陷(defect),并嚴(yán)重影響產(chǎn)品成品率。一般在進(jìn)行每片產(chǎn)品的光刻膠涂布前,會(huì)使用橡膠(rubber)作為噴嘴尖端的清潔材料,然而由于橡膠的精度無(wú)法與噴嘴完全吻合,因此無(wú)...
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