專利名稱：具有智能控制器的可定制分發(fā)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本公開(kāi)總體上涉及半導(dǎo)體制造工序中的液體分發(fā)，并且更具體地說(shuō)，涉及具有用于控制可定制泵操作以滿足半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的不同需要的智能控制器的新分發(fā)系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
存在許多必須精確控制通過(guò)泵送裝置分發(fā)流體的量和/或速率的應(yīng)用。在半導(dǎo)體制造工序中，例如，重要的是，控制向半導(dǎo)體晶片涂敷諸如光致抗蝕劑化學(xué)品的光化學(xué)品的量和速率。半導(dǎo)體制造工序指用于創(chuàng)建存在于日常電氣和電子裝置中的集成電路的工序。其包括一系列攝影和化學(xué)加工步驟，在此期間，電子電路逐漸地創(chuàng)建在由純半導(dǎo)體材料制成的晶片上。在加工期間涂敷至半導(dǎo)體晶片的涂層通常需要橫跨晶片表面的、以埃(angstrom)測(cè)量的特定平坦度和/或甚至厚度。必須小心控制向晶片上涂敷(即，分發(fā))加工化學(xué)品的速率，以確保均勻地涂敷加工流體。 在半導(dǎo)體工業(yè)中使用的許多光化學(xué)品可以非常昂貴。因此，高度希望的是，確保使用最小但足夠量的化學(xué)品，并且該化學(xué)品不被泵送裝置破壞。遺憾的是，這些希望的品質(zhì)在現(xiàn)今的泵送系統(tǒng)中因許多相關(guān)障礙而可以極難實(shí)現(xiàn)。例如，由于輸入供應(yīng)問(wèn)題，壓力對(duì)于不同的系統(tǒng)而改變。由于流體動(dòng)力學(xué)和特性，壓力需要對(duì)于不同流體而改變(例如，具有高粘度的流體需要更多壓力)。因?yàn)檫@些障礙是相互關(guān)聯(lián)的，所以有時(shí)解決一個(gè)障礙可能導(dǎo)致更多的問(wèn)題和/或使得事情更糟。此外，不同的應(yīng)用具有不同的需要。滿足特定應(yīng)用的需要的泵系統(tǒng)可能不適于不同的應(yīng)用。

發(fā)明內(nèi)容
在半導(dǎo)體制造中，各種泵可以被用于混合化學(xué)品和將化學(xué)品的混合物分發(fā)到晶片上。諸如Entegris IntelliGen迷你光刻滾動(dòng)邊緣隔膜泵的高性能泵可以被用于直接混合和分發(fā)化學(xué)品(Entegris and IntelliGen 是 Entegris, Inc. of Chaska, Minnesota 的商標(biāo))。這些化學(xué)品可對(duì)于不同應(yīng)用而改變，并且不同的應(yīng)用可以具有不同的需要。由此，在分發(fā)化學(xué)品中使用的泵系統(tǒng)必須考慮多種因素，包括尺寸、成本、性能(速度和準(zhǔn)確度兩者)、可靠性、適應(yīng)性等。在此公開(kāi)的實(shí)施例可以利用可定制分發(fā)系統(tǒng)來(lái)解決這些需要，該可定制分發(fā)系統(tǒng)建立在模塊架構(gòu)上，并且包括用于控制這種通用的“即插即用”分發(fā)系統(tǒng)中的組件的單一主控制器。在本公開(kāi)內(nèi)，術(shù)語(yǔ)“可定制”指在此公開(kāi)的分發(fā)系統(tǒng)的實(shí)施例可以容易改變、修改、或以其它方式更改以使適應(yīng)各種需要的事實(shí)。無(wú)論何時(shí)出現(xiàn)這種需要，這種改變、修改、或更改都可以動(dòng)態(tài)發(fā)生。例如，在此公開(kāi)的可定制分發(fā)系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施例可以初始地構(gòu)建有氣動(dòng)至氣動(dòng)配置。由空氣作用驅(qū)動(dòng)的泵(氣動(dòng)泵)通常比電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的泵(電動(dòng)泵)更便宜，并且可以提供正壓過(guò)濾和良好的吞吐量，其使這種氣動(dòng)至氣動(dòng)配置對(duì)于諸如用于非關(guān)鍵層的處理應(yīng)用來(lái)說(shuō)是理想的。對(duì)于關(guān)鍵層應(yīng)用來(lái)說(shuō)，氣動(dòng)至氣動(dòng)配置可以容易改變、修改，或以其它方式更改成電動(dòng)機(jī)至電動(dòng)機(jī)配置。在一些實(shí)施例中，單一的主控制器配置有必需的智能，并因而在此被稱為“智能”控制器，以自動(dòng)地識(shí)別可定制分發(fā)系統(tǒng)中的變化并且根據(jù)新配置和/或新應(yīng)用來(lái)操作。在一些實(shí)施例中，在此公開(kāi)的可定制分發(fā)系統(tǒng)的智能控制器可以被配置成操作敏感于印刷圖案中的缺陷的半導(dǎo)體制造工序中的多個(gè)泵。所述多個(gè)泵可以包括至少一個(gè)氣動(dòng)泵和至少一個(gè)電動(dòng)泵。該可定制分發(fā)系統(tǒng)還可以包括多條線，所述多條線連接該智能控制器與軌道和各種裝置。在一些實(shí)施例中，所述各種裝置可以包括 具有射頻識(shí)別標(biāo)簽的過(guò)濾器、傳感器、以及泵頭部。在一些實(shí)施例中，該智能控制器還被配置成，當(dāng)將所述多條線中的一條線從與第一泵連通切換至與第二泵連通時(shí)，自動(dòng)識(shí)別該第二泵，并且應(yīng)用與該第二泵相對(duì)應(yīng)的控制方案，以便在不需要最小停機(jī)時(shí)間(若有的話)的情況下精確且準(zhǔn)確地控制該第二泵。在一些實(shí)施例中，該切換可以發(fā)生在電動(dòng)泵之間、氣動(dòng)泵之間、或者氣動(dòng)泵與電動(dòng)泵的混合體之間。例如，用戶可以拔掉氣動(dòng)泵而插入電動(dòng)泵來(lái)接管那些氣動(dòng)泵的特定功能。示例功能可以包括化學(xué)品饋送和分發(fā)。在一些實(shí)施例中，可能不需要物理斷開(kāi)/連接，并且該切換完全經(jīng)由軟件完成。在一些實(shí)施例中，該智能控制器可以被配置成，當(dāng)與新連接的泵接口連接時(shí)，自動(dòng)識(shí)別該新連接的泵，并且應(yīng)用與該新連接的泵相對(duì)應(yīng)的控制方案，該新連接的泵可以是電動(dòng)泵或氣動(dòng)泵。該智能控制器可以包括存儲(chǔ)有與多個(gè)泵相關(guān)聯(lián)的信息的板載數(shù)據(jù)庫(kù)。在一些實(shí)施例中，該智能控制器可以被配置成控制一個(gè)或多個(gè)集成泵。在一些實(shí)施例中，集成泵可以包括物理地組合為一個(gè)單元的兩個(gè)或更多個(gè)氣動(dòng)泵。該單元中的所述兩個(gè)或更多個(gè)氣動(dòng)泵可以彼此獨(dú)立地操作。在一些實(shí)施例中，該智能控制器還可以進(jìn)一步被配置成獨(dú)立地控制該單元中的所述兩個(gè)或更多個(gè)氣動(dòng)泵。在一些實(shí)施例中，可定制分發(fā)系統(tǒng)可以包括一組饋送泵和一組分發(fā)泵。在一些實(shí)施例中，智能控制器可以被配置成操作可以包括一個(gè)或多個(gè)集成泵的該組饋送泵和該組分發(fā)泵。在此公開(kāi)的軟件實(shí)現(xiàn)的實(shí)施例可以按可以駐留在一個(gè)或多個(gè)非暫時(shí)計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)上的合適的計(jì)算機(jī)可執(zhí)行指令來(lái)實(shí)現(xiàn)。在本公開(kāi)內(nèi)，術(shù)語(yǔ)“計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)”涵蓋所有類型的可以通過(guò)諸如處理器或控制器的處理單元讀取的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)介質(zhì)。計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)的示例可以包括隨機(jī)存取存儲(chǔ)器、只讀存儲(chǔ)器、硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器、數(shù)據(jù)盒式磁帶、軟盤(pán)、閃速存儲(chǔ)驅(qū)動(dòng)器等。在此公開(kāi)的實(shí)施例可以提供許多優(yōu)點(diǎn)。例如，代替固定數(shù)量的泵，在此公開(kāi)的可定制分發(fā)系統(tǒng)可以支持隨著時(shí)間數(shù)量可變的不同類型的泵。這種混合和匹配靈活性允許該系統(tǒng)針對(duì)每一個(gè)特定應(yīng)用特制，縮減維護(hù)該系統(tǒng)的成本，并向新類型的泵和/或新系統(tǒng)機(jī)構(gòu)提供一種容易升級(jí)的方法。當(dāng)結(jié)合下面描述和附圖考慮時(shí)，本公開(kāi)的這些方面和其它方面將被更好地懂得和理解。然而，應(yīng)當(dāng)明白，下面的描述在指示本公開(kāi)的各種實(shí)施例及其許多特定細(xì)節(jié)時(shí)，通過(guò)例示的方式而非限制的方式給出。在不脫離本公開(kāi)的精神的情況下，可以在本公開(kāi)的范圍內(nèi)進(jìn)行許多置換、修改、添加和/或重新配置，并且本公開(kāi)包括所有這種置換、修改、添加和
/或重新配置。


附圖和本說(shuō)明書(shū)的形成部分被包括以描繪本公開(kāi)的特定方面。應(yīng)注意到，圖中例示的特征不必按比例繪制。通過(guò)參照結(jié)合附圖的下列描述，可以獲取對(duì)本公開(kāi)及其優(yōu)點(diǎn)的更完整理解，附圖中，相同標(biāo)號(hào)指示相同特征，并且其中圖I描繪了示例多級(jí)式泵(“多級(jí)泵”)的圖解表示圖；圖2和3描繪了示例多級(jí)泵的立體圖；圖4描繪了示例單級(jí)泵的立體圖；圖5描繪了用于可定制分發(fā)系統(tǒng)的模塊化架構(gòu)的一個(gè)示例實(shí)施例的圖解表示圖；圖6描繪了具有控制氣動(dòng)饋送泵和氣動(dòng)分發(fā)泵的智能控制器的可定制分發(fā)系統(tǒng) 的一個(gè)示例實(shí)施例的圖解表示圖；圖7描繪了具有控制氣動(dòng)饋送泵和電動(dòng)分發(fā)泵的智能控制器的可定制分發(fā)系統(tǒng)的一個(gè)示例實(shí)施例的圖解表示圖；圖8描繪了具有控制電動(dòng)饋送泵和電動(dòng)分發(fā)泵的智能控制器的可定制分發(fā)系統(tǒng)的一個(gè)示例實(shí)施例的圖解表示圖；圖9描繪了具有氣動(dòng)至氣動(dòng)配置的可定制分發(fā)系統(tǒng)的一個(gè)示例實(shí)施例的圖解表示圖；圖10-15例示了可定制分發(fā)系統(tǒng)的一個(gè)示例實(shí)施例的泵控制和序列操作；圖16-17描繪了集成泵的示例實(shí)施例的圖解表示圖；圖18描繪了集成泵的一個(gè)示例實(shí)施例的透視俯視圖；以及圖19描繪了集成泵的一個(gè)示例實(shí)施例中的氣動(dòng)泵的分解圖。
具體實(shí)施例方式參照在附圖中例示并且在以下描述中詳細(xì)說(shuō)明的示例性并由此非限制性的實(shí)施例，對(duì)本公開(kāi)及其各種特征和有利細(xì)節(jié)進(jìn)行更全面的說(shuō)明。可以省略對(duì)已知編程技術(shù)、計(jì)算機(jī)軟件、硬件、操作平臺(tái)以及協(xié)議的描述，以不會(huì)在細(xì)節(jié)上不必要地使本公開(kāi)變模糊。然而，應(yīng)當(dāng)明白，該詳細(xì)描述和具體示例在指示優(yōu)選實(shí)施例時(shí)，僅通過(guò)例示的方式而非通過(guò)限制的方式給出。根據(jù)本公開(kāi)，處于潛在發(fā)明構(gòu)思的精神和/或范圍內(nèi)的各種置換、修改、添加和/或重新布置對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員是顯而易見(jiàn)的。圖I描繪了示例多級(jí)泵100的圖解表示圖。多級(jí)泵100包括饋送級(jí)部分105和分離分發(fā)級(jí)部分110。從流體流動(dòng)觀點(diǎn)來(lái)看，定位在饋送級(jí)部分105與分發(fā)級(jí)部分110之間的是用于從加工流體濾出雜質(zhì)的過(guò)濾器120。許多閥可以控制流體流動(dòng)通過(guò)多級(jí)泵100，例如，包括入口閥125、隔離閥130、隔板閥135、清除閥140、排放閥145以及出口閥147。多級(jí)泵100的閥打開(kāi)或閉合以允許或限制流體流向多級(jí)泵100的各個(gè)部分。這些閥可以是氣動(dòng)致動(dòng)(即，氣體驅(qū)動(dòng))的、根據(jù)施加的是壓力還是真空來(lái)打開(kāi)或閉合的隔膜閥。分發(fā)級(jí)部分110還可以包括確定分發(fā)級(jí)110處的流體的壓力的壓力傳感器112。通過(guò)壓力傳感器112確定的壓力可以被用于控制如下所述的各種泵的速度。示例壓力傳感器包括陶瓷和聚合物壓電式和電容式壓力傳感器，包括由德國(guó)Metallux AG，of Korb制造的那些。壓力傳感器112的接觸加工流體的面可以是全氟聚合物(perfluoropolymer)。泵100可以包括附加壓力傳感器，如確定饋送級(jí)105處的流體的壓力的壓力傳感器、和/或用于讀取饋送室155中的壓力的壓力傳感器。饋送級(jí)105和分發(fā)級(jí)110可以包括用于在多級(jí)泵100中泵送流體的滾動(dòng)隔膜泵。饋送級(jí)泵150 (“饋送泵150”)例如包括用于收集流體的饋送室155、用于在饋送室155內(nèi)移動(dòng)并轉(zhuǎn)移流體的饋送級(jí)隔膜160、用于移動(dòng)饋送級(jí)隔膜160的活塞165、導(dǎo)螺桿170以及步進(jìn)電動(dòng)機(jī)175。導(dǎo)螺桿170通過(guò)螺母、齒輪或其它機(jī)械結(jié)構(gòu)耦接至步進(jìn)電動(dòng)機(jī)175，以將來(lái)自電動(dòng)機(jī)的能量傳予導(dǎo)螺桿170。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，饋送電動(dòng)機(jī)170旋轉(zhuǎn)螺母，其再致動(dòng)導(dǎo)螺桿170，使活塞165致動(dòng)。分發(fā)級(jí)泵180 (“分發(fā)泵180”)可以類似地包括分發(fā)室185、分發(fā)級(jí)隔膜190、活塞192、導(dǎo)螺桿195、以及分發(fā)電動(dòng)機(jī)200。饋送級(jí)105和分發(fā)級(jí)110皆可以包括各種泵，包括氣動(dòng)致動(dòng)泵、液壓泵或其它泵。例如，可以將氣動(dòng)致動(dòng)泵用于饋送級(jí)，而可以將步進(jìn)電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)液壓泵用于分發(fā)級(jí)。在圖I所示示例中，多級(jí)泵100實(shí)現(xiàn)饋送級(jí)與分發(fā)級(jí)之間的電動(dòng)機(jī)至電動(dòng)機(jī)配置。饋送電動(dòng)機(jī)175和分發(fā)電動(dòng)機(jī)200可以是任何合適的電動(dòng)機(jī)。例如，分發(fā)電動(dòng)機(jī)200可以是永磁同步電動(dòng)機(jī)(“PMSM”)。PMSM可以通過(guò)利用場(chǎng)定向控制(“F0C”)的數(shù)字信號(hào)處理器(“DSP”)或其它位置/速度控制方案來(lái)控制。在一些實(shí)施例中，多級(jí)泵100中的智能控制器 被配置成利用控制方案來(lái)控制分發(fā)電動(dòng)機(jī)200。分發(fā)電動(dòng)機(jī)200還可以包括用于實(shí)時(shí)反饋分發(fā)電動(dòng)機(jī)200的位置的編碼器(例如，細(xì)線旋轉(zhuǎn)位置編碼器)。使用位置傳感器使能實(shí)現(xiàn)對(duì)活塞192的位置的準(zhǔn)確且可重復(fù)控制，其導(dǎo)致對(duì)分發(fā)室185中的流體移動(dòng)的準(zhǔn)確且可重復(fù)的控制。例如，利用2000線編碼器(其可以向DSP提供8000個(gè)脈沖)，可以按O. 045度的旋轉(zhuǎn)來(lái)準(zhǔn)確地測(cè)量和控制分發(fā)電動(dòng)機(jī)200的位置。另外，PMSM可以在很少有或沒(méi)有振動(dòng)的情況下以低速運(yùn)行。饋送電動(dòng)機(jī)175也可以是PMSM或步進(jìn)電動(dòng)機(jī)。例如,饋送電動(dòng)機(jī)175可以是EAD Motors of Dover, N. H. steppermotor part no. L1LAB-005,而分發(fā)電動(dòng)機(jī) 200 可以是 EAD Motors brushless DC Motorpart no. DA23DBBL-13E17A。圖2和3描繪了針對(duì)多級(jí)泵100的泵組件的示例的立體圖。多級(jí)泵100可以包括限定通過(guò)多級(jí)泵100的各種流體流徑的分發(fā)塊205。分發(fā)泵塊205可以是由PTFEdt^PTFE或其它材料制成的單一塊。因?yàn)檫@些材料不與許多加工流體起反應(yīng)或者可最低限度地起反應(yīng)，所以使用這些材料允許以最低限度的附加硬件將流道和泵室直接機(jī)器加工到分發(fā)塊205中。分發(fā)塊205因而通過(guò)提供流體歧管來(lái)縮減針對(duì)管道的需要。分發(fā)塊205可以包括各種外部入口和出口，例如包括接收流體的入口 210、用于在排放段期間排出流體的排放閥215、以及在分發(fā)段期間分發(fā)流體的分發(fā)出口 220。在圖2的示例中，由于被清除流體被路由回至饋送室，因而分發(fā)塊205不包括外部清除出口。然而，在其它實(shí)現(xiàn)中，可以外部地清除流體。分發(fā)塊205將流體路由至饋送泵、分發(fā)泵以及過(guò)濾器120。泵蓋225可以保護(hù)饋送電動(dòng)機(jī)175和分發(fā)電動(dòng)機(jī)200不受損壞，而活塞外殼227可以向活塞165和活塞192提供保護(hù)。在這個(gè)示例中，閥板230向閥(例如，圖I的入口閥125、隔離閥130、隔板閥135、清除閥140以及排放閥145)系統(tǒng)提供閥外殼，該閥系統(tǒng)可以被配置成引導(dǎo)流體流向多級(jí)泵100的各個(gè)部件。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，入口閥125、隔離閥130、隔板閥135、清除閥140以及排放閥145中的每一個(gè)閥都部分地集成到閥板230中，并且是隔膜閥，該隔膜閥根據(jù)是否向?qū)?yīng)隔膜施加壓力或真空而打開(kāi)或閉合。
閥板230包括針對(duì)每一個(gè)閥的閥控制入口，以向?qū)?yīng)隔膜施加壓力或真空。例如，入口 235對(duì)應(yīng)于隔板閥135，入口 240對(duì)應(yīng)于清除閥140，入口 245對(duì)應(yīng)于隔離閥130，入口250對(duì)應(yīng)于排放閥145，而入口 255對(duì)應(yīng)于入口閥125。通過(guò)向入口選擇施加壓力或真空，對(duì)應(yīng)閥打開(kāi)或閉合。這些閥可以按對(duì)于不同應(yīng)用而改變的各種序列打開(kāi)和閉合。閥板230可以被配置成縮減閥的滯留容量、消除因真空波動(dòng)而造成的容量變化、縮減真空需求以及縮減閥隔膜上的應(yīng)力。閥控制氣體和真空經(jīng)由閥控制供應(yīng)線260提供給閥板230，該閥控制供應(yīng)線從閥控制歧管(被歧管蓋263或外殼 蓋225覆蓋)起通過(guò)分發(fā)塊205行進(jìn)至閥板230。閥控制氣體供應(yīng)入口 265向閥控制歧管提供壓縮氣體，而真空入口 270向閥控制歧管提供真空(或低壓)。閥控制歧管充當(dāng)三通閥，以經(jīng)由供應(yīng)線260將壓縮氣體或真空路由至閥板230的合適入口，來(lái)致動(dòng)對(duì)應(yīng)閥。在圖3中，分發(fā)塊205被制成透明的，以顯示其中限定的流體流道。分發(fā)塊205限定用于多級(jí)泵100的各種腔室和流體流道?？梢詫佀褪?55和分發(fā)室185直接機(jī)器加工到分發(fā)模塊205中。另外，可以將各種流道機(jī)器加工到分發(fā)塊205中。流體流道從入口 210起行進(jìn)至入口閥。流體流道280從入口閥起行進(jìn)至饋送室155，以完整化從入口 210至饋送泵150的路徑。閥外殼230中的入口閥125調(diào)節(jié)入口 210與饋送泵150之間的流動(dòng)。流道285將流體從饋送泵150路由至閥板230中的隔離閥130。隔離閥130的輸出通過(guò)另一流道路由至過(guò)濾器120。流體從過(guò)濾器120起通過(guò)連接過(guò)濾器120與排放閥145和隔板閥135的流道。排放閥145的輸出被路由至排放出口 215，而隔板閥135的輸出經(jīng)由流道290路由至分發(fā)泵180。在分發(fā)段期間，分發(fā)泵可以經(jīng)由流道295將流體輸出至出口 220，或者，在清除段，通過(guò)流道300將流體輸出至清除閥。在清除段期間，流體可以通過(guò)流道305返回至饋送泵150。因?yàn)榭梢詫⒘黧w流道直接形成在PTFE (或其它材料)的塊中，所以分發(fā)塊205可以充當(dāng)用于多級(jí)泵100的各個(gè)組件之間的加工流體的管道，消除或縮減了針對(duì)附加管道的需要。在其它情況下，可以將管道插入到分發(fā)塊205中以限定流體流道。圖3還示出了用于向閥板230提供壓力或真空的供應(yīng)線260。閥的致動(dòng)通過(guò)閥控制歧管302來(lái)控制，該閥控制歧管將壓力或真空引導(dǎo)至每個(gè)供應(yīng)線260。每個(gè)供應(yīng)線260可以包括具有小節(jié)流孔(orifice)(即，限制)的配件(在318處指示了一示例配件)。每一個(gè)供應(yīng)線中的節(jié)流孔幫助減輕向該供應(yīng)線施加壓力與真空之間的急劇壓差的影響。這允許閥更平滑且更緩慢地打開(kāi)和閉合。除了圖1-3所示示例以外,包括氣動(dòng)至電動(dòng)和氣動(dòng)至氣動(dòng)的其它多級(jí)泵配置也是可以的。而且，盡管按照多級(jí)泵進(jìn)行了描述，但在此公開(kāi)的實(shí)施例也可以在單級(jí)泵中利用。圖4描繪了針對(duì)單級(jí)泵4000的示例泵組件的立體圖。泵4000可以類似于上述多級(jí)泵100中的一級(jí)，比方說(shuō)分發(fā)級(jí)。泵4000可以包括氣動(dòng)致動(dòng)泵或通過(guò)步進(jìn)電動(dòng)機(jī)、無(wú)刷DC電動(dòng)機(jī)或其它電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的滾動(dòng)隔膜泵。泵4000可以包括限定通過(guò)泵4000的各種流體流徑并且至少部分地限定泵室的分發(fā)塊4005。分發(fā)泵塊4005可以是由PTFEdf^ PTFE或其它材料制成的單一塊。因?yàn)檫@些材料不與許多加工流體起反應(yīng)或者可最低限度地起反應(yīng)，所以使用這些材料允許以最低限度的附加硬件將流道和泵室直接機(jī)器加工到分發(fā)塊4005中。分發(fā)塊4005因而通過(guò)提供集成流體歧管來(lái)縮減針對(duì)管道的需要。壓力傳感器可以被定位成讀取泵室中的壓力。
分發(fā)塊4005可以包括各種外部入口和出口，例如包括接收流體的入口 4010、用于清除/排出流體的清除/排放出口 4015、以及在分發(fā)段期間分發(fā)流體的分發(fā)出口 4020。在圖4的示例中，分發(fā)塊4005由于泵僅具有一個(gè)腔室而包括外部清除出口 4010。可以利用諸如免O形環(huán)小尺寸(low profile)配件的合適配件來(lái)將分發(fā)塊4005的外部入口和出口連接至流體線。分發(fā)塊4005將流體從入口路由至入口閥(例如，至少部分地由閥板4030限定)，從入口閥路由至泵室，從泵室路由至排放/清除閥以及從泵室路由至出口 4020。泵蓋4025可以保護(hù)泵電動(dòng)機(jī)不受損壞，而活塞外殼4027可以向活塞提供保護(hù)。蓋子/外殼可以由聚乙烯或其它聚合物形成。閥板4030向閥(例如，入口閥和清除/排放閥)系統(tǒng)提供閥外殼，該閥系統(tǒng)可以被配置成引導(dǎo)流體流向泵4000的各個(gè)組件。閥板4030和對(duì)應(yīng)閥可以與上面討論的結(jié)合閥板230描述的方式類似地形成。清除閥可以和入口閥尺寸相同，比其小，或者比其大。然而，利用更小的清除閥，可以縮減返回至如上所述腔室的滯留體積(ho I dup vo Iume )。入口閥和清除/排放閥中的每一個(gè)閥都可以部分地集成到閥板4030中，并且可以是根據(jù)是否向?qū)?yīng)隔膜施加壓力或真空而打開(kāi)或閉合的隔膜閥。在某些實(shí)現(xiàn)中，這些閥中的一些 可以在分發(fā)模塊4005外部或者布置在附加閥板中。作為一示例，可以將PTFE板夾在閥板4030與分發(fā)塊4005之間，以形成各個(gè)閥的隔膜。閥板4030包括針對(duì)每一個(gè)閥的閥控制入口(未示出)，以向?qū)?yīng)隔膜施加壓力或真空。在一些實(shí)施例中，代替固定數(shù)量的泵，可定制系統(tǒng)可以支持隨著時(shí)間的過(guò)去數(shù)量可變的泵。該可定制分發(fā)系統(tǒng)采用靈活的、模塊化架構(gòu)?？啥ㄖ品职l(fā)系統(tǒng)的實(shí)施例可以在任何給定時(shí)間支持不同類型的泵，包括氣動(dòng)和電動(dòng)機(jī)。例如，在多級(jí)泵系統(tǒng)中，第一級(jí)泵可以氣動(dòng)地驅(qū)動(dòng)，而第二級(jí)泵可以通過(guò)電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)。這種混合和匹配靈活性允許該系統(tǒng)針對(duì)每一個(gè)特定應(yīng)用定制。圖5描繪了用于可定制分發(fā)系統(tǒng)的模塊化架構(gòu)500的一個(gè)示例實(shí)施例的圖解表不圖。如圖5所示，不同應(yīng)用可以具有不同需要，這或許取決于所使用的化學(xué)品、所希望級(jí)別的質(zhì)量/性能、和在實(shí)現(xiàn)所希望級(jí)別的質(zhì)量/性能方面涉及的成本等。例如，在化學(xué)品的成本較高并且最終產(chǎn)品對(duì)缺陷敏感的情況下，該系統(tǒng)可以利用電動(dòng)機(jī)至電動(dòng)機(jī)配置，對(duì)于具有最低可能缺陷的最佳可能過(guò)濾控制來(lái)說(shuō)，圖8示出了其示例。因?yàn)檫@種電動(dòng)機(jī)至電動(dòng)機(jī)配置可以固有地昂貴，所以在某些情況下，可以利用氣動(dòng)至電動(dòng)機(jī)配置，以縮減系統(tǒng)的成本，同時(shí)保留希望級(jí)別的吞吐量和用于監(jiān)測(cè)和控制分發(fā)速率和容積的能力。圖7示出了氣動(dòng)至電動(dòng)機(jī)配置的示例。在某些情況下，氣動(dòng)至氣動(dòng)配置可能是希望，特別是在與分發(fā)容積相對(duì)的成本是所關(guān)切的事情的情況下和/或在不需要或不要求高質(zhì)量性能的情況下。圖6示出了氣動(dòng)至氣動(dòng)配置的示例。在這里公開(kāi)的實(shí)施例中，模塊化架構(gòu)500包括智能控制器，其允許混合和匹配(有時(shí)動(dòng)態(tài)且在運(yùn)行中(on-the-fly)的)氣動(dòng)和電動(dòng)泵。這樣，在此公開(kāi)的可定制分發(fā)系統(tǒng)的實(shí)施例可以捕獲針對(duì)許多不同應(yīng)用的性能級(jí)別的整個(gè)頻譜，以滿足半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的分發(fā)需要。這種靈活的模塊化架構(gòu)可以向在此公開(kāi)的分發(fā)系統(tǒng)提供許多優(yōu)點(diǎn)。例如，系統(tǒng)擁有者可以從氣動(dòng)至氣動(dòng)機(jī)構(gòu)開(kāi)始。隨著時(shí)間的推移，該擁有者的需要可能改變，和/或在評(píng)估之后，該氣動(dòng)至氣動(dòng)機(jī)構(gòu)可能需要升級(jí)。這些氣動(dòng)泵中的一個(gè)或多個(gè)可以容易地?fù)Q出并替換以電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)泵和/或替換氣動(dòng)泵。擁有者不必替換整個(gè)分發(fā)系統(tǒng)。
針對(duì)分發(fā)系統(tǒng)的這類即插即用修改至少部分地因可操作以自動(dòng)且動(dòng)態(tài)地控制各類泵的通用智能控制器而成為可能。例如，可以將第一泵拔掉、將第二泵插上、探測(cè)線(plumb the line)、以及開(kāi)始或恢復(fù)操作。在與第二泵的泵頭部接口連接時(shí)，控制器可操作以自動(dòng)識(shí)別第二泵，并且應(yīng)用與第二泵相對(duì)應(yīng)的控制方案。在一些實(shí)施例中，從一個(gè)泵至另一個(gè)泵的切換可以完全經(jīng)由軟件完成，而不必物理地插拔泵。例如，用戶可能想要使泵A和泵B離線，并且指定泵C和泵D接管并充任新的泵A和新的泵B。在一些實(shí)施例中，可以利用電子可讀標(biāo)簽或代碼，來(lái)向智能控制器提供寬泛種類的信息。在一些實(shí)施例中，智能控制器可以連接至可經(jīng)由電子可讀標(biāo)簽標(biāo)識(shí)的各種裝置，該電子可讀標(biāo)簽可以或可能不直接貼附于或嵌入那些裝置/封裝。例如，智能控制器可以經(jīng)由其許多端口中的一個(gè)連接至智能過(guò)濾器，并且有關(guān)智能過(guò)濾器的信息可以經(jīng)由與智能過(guò)濾器相關(guān)聯(lián)的電子可讀標(biāo)簽提供給該智能控制器。作為另一示例，智能控制器可以連接至包裝或封裝，并且有關(guān)其中所含內(nèi)容的信息可以經(jīng)由與該包裝或封裝相關(guān)聯(lián)的電子可讀標(biāo)簽提供給該智能控制器。該包裝可以包含針對(duì)特定應(yīng)用所需的化學(xué)品或物質(zhì)。其它裝置/封裝可以按類似方式連接至智能控制器?！?br> 在半導(dǎo)體制造中，不同應(yīng)用通常對(duì)于化學(xué)品層厚度和涂覆面積具有不同需要。對(duì)應(yīng)地，可能需要分發(fā)容積和速率的寬的陣列。由于每一個(gè)泵都必須能夠包含針對(duì)單個(gè)分發(fā)所需的所有流體，因而滿足這些需求涉及針對(duì)所有不同軌道尺寸的許多不同尺寸的泵。這些軌道和泵可以依靠用于通信的離散線，其意指每一個(gè)輸入線和每一個(gè)輸出線將需要物理導(dǎo)線或線纜。布線的復(fù)雜性對(duì)于分發(fā)系統(tǒng)中的已經(jīng)復(fù)雜化的流體連接增加了另一層的挑戰(zhàn)。解決這些挑戰(zhàn)的一種方法是設(shè)置可以在單個(gè)泵控制器與軌道之間提供串行通信的輸入/輸出(I/o)接口裝置。這樣，針對(duì)相同類型的泵的單個(gè)泵控制器可以通過(guò)I/O接口裝置與不同軌道通信。更具體地說(shuō)，I/o接口裝置可以在前端取得來(lái)自軌道的信號(hào)，并且按可以被泵控制器理解的格式在后端向泵控制器串行地傳送該信號(hào)。在此公開(kāi)的智能控制器的實(shí)施例可以提供另一可行解決方案。在一些實(shí)施例中，智能控制器可以包括用于物理連接至軌道和多種裝置的多個(gè)通信端口。在一些實(shí)施例中，智能控制器可以具有用于電動(dòng)泵、氣動(dòng)泵、過(guò)濾器、傳感器等的24個(gè)通信端口，其中每一個(gè)都可以插入24個(gè)端口中的任一個(gè)，并且利用板載數(shù)據(jù)庫(kù)通過(guò)智能控制器自動(dòng)識(shí)別。智能控制器與裝置之間的通信線可以是軟件可配置的。在一些實(shí)施例中，每一種類型的裝置都可以指配給智能控制器的特定端口。在一些實(shí)施例中，智能控制器可以包括不同類型的接口，以向各種裝置(包括軌道、泵、閥、傳感器、標(biāo)簽讀取器、泵頭部以及其它組件)和從其傳送串行、并行或模擬信號(hào)/數(shù)據(jù)。在一些實(shí)施例中，針對(duì)軌道的接口可以利用專有協(xié)議或工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議。作為另一示例，針對(duì)軌道的接口可以是具有DeviceNet的控制器區(qū)域網(wǎng)絡(luò)(CAN)接口、工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)以太網(wǎng)、或某些其它工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議。例如，智能控制器可以利用傳輸控制協(xié)議/因特網(wǎng)協(xié)議(TCP/IP)來(lái)與軌道通信。智能控制器的其它接口可用于按一種或多種協(xié)議與各種裝置(包括單個(gè)泵頭部)通信。在一些實(shí)施例中，所述各種裝置可以包括CAN裝置。在一些實(shí)施例中，針對(duì)所述各種裝置的接口可以包括精簡(jiǎn)(stripped down)的簡(jiǎn)單專有接口。在許多軌道中，可以利用以太網(wǎng)和DeviceNet或類似某物來(lái)控制泵的I/O信號(hào)。例如，軌道將向DeviceNet并行I/O板發(fā)送DeviceNet命令，以設(shè)置一些信號(hào)，并且那些信號(hào)將經(jīng)過(guò)去往特定泵接口模塊的連接器和線纜。這種連接架構(gòu)除了軟件編程以外還需要精密且復(fù)雜的硬件排布結(jié)構(gòu)。在一些實(shí)施例中，智能控制器可以實(shí)現(xiàn)用于與泵接口連接/通信的專有通信協(xié)議。在一些實(shí)施例中，智能控制器可以實(shí)現(xiàn)軌道接口，以代替通常被用于觸發(fā)泵并獲得基本狀況的并行I/o。在一些實(shí)施例中，泵可以被實(shí)現(xiàn)為相同的并行裝置類型，并且智能控制器可以操作以直接解釋該協(xié)議。這將消除針對(duì)有關(guān)泵以及軌道 硬件板和線纜的并行信號(hào)的需要，同時(shí)提供許多軌道當(dāng)前使用的實(shí)質(zhì)上相同的編程功能。在上述示例之后，軌道可以通過(guò)智能控制器向泵發(fā)送相同DeviceNet命令，而不需要附加硬件。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)清楚，這只是一個(gè)可能的示例。在一些實(shí)施例中，可以將現(xiàn)有Entegris網(wǎng)絡(luò)協(xié)議用于與智能控制器或泵通信。在某些現(xiàn)有分發(fā)系統(tǒng)中，主控制器可以連接至多個(gè)泵，并且每一個(gè)泵都可以具有耦接至其的專用泵控制器。這種類型的專用泵控制器的功能可以被分類成兩個(gè)級(jí)別高和低。高級(jí)控制功能可以包括運(yùn)行分發(fā)泵所需的功能。低級(jí)控制功能可以包括諸如將電動(dòng)機(jī)從點(diǎn)A移動(dòng)至點(diǎn)B的簡(jiǎn)單功能。這些泵控制器具有大量處理功率。遺憾的是，現(xiàn)有分發(fā)系統(tǒng)未按有效方式來(lái)利用這種泵控制器的處理功率。例如，在具有多個(gè)泵(比方說(shuō)30-40個(gè))的分發(fā)系統(tǒng)中，可能多達(dá)三個(gè)泵在同一時(shí)間操作，而其余泵處于空閑狀態(tài)。這種低效率可以是浪費(fèi)的?，F(xiàn)有分發(fā)系統(tǒng)的另一缺點(diǎn)在于其不能容易修改的固定架構(gòu)。主控制器通常利用與連接至其的泵控制器的類型相對(duì)應(yīng)的控制方案來(lái)編程。因?yàn)榭刂品桨笇Ｓ糜谠擃惐?，所以如果氣?dòng)泵被拔出并且替換以電動(dòng)泵，則主控制器將無(wú)法識(shí)別該電動(dòng)泵，主控制器也不能獲知怎樣控制該電動(dòng)泵。在此公開(kāi)的智能控制器的實(shí)施例可以采取泵控制器之外的高級(jí)功能，以使它們可以智能地共享處理功率，以便縮減空閑時(shí)間和對(duì)應(yīng)成本。低級(jí)功能停留在泵頭部處。高級(jí)功能和低級(jí)功能之間的區(qū)別可能是可軟件配置以針對(duì)特定實(shí)現(xiàn)定制分發(fā)系統(tǒng)。例如，在一些實(shí)施例中，智能控制器可以向泵頭部發(fā)送簡(jiǎn)單“DISPENSE (分發(fā))”命令，并且泵頭部具有用于執(zhí)行該命令并在任務(wù)完成時(shí)向智能控制器報(bào)告的足夠智能。作為另一示例，智能控制器可以向泵控制器(在泵處或泵的部分)給出一般命令“DISPENSE RECIPE4 (分發(fā)配方4)”，并且已經(jīng)被配置成分發(fā)這種特定配方的泵控制器按指令執(zhí)行該任務(wù)。在一些實(shí)施例中，泵頭部可以僅具有足夠驅(qū)動(dòng)耦接至其的泵的初步或基本功能，并且智能控制器可以向泵頭部提供特定指令，以便執(zhí)行手頭的任務(wù)。在一些實(shí)施例中，泵的操作利用有關(guān)連接至泵的過(guò)濾器的信息，通過(guò)智能控制器來(lái)控制。在一些實(shí)施例中，過(guò)濾器是可去除過(guò)濾器，其設(shè)置在泵入口與泵出口之間的流體流徑中。該可去除過(guò)濾器可以實(shí)現(xiàn)用于連接至泵的快速改變或快速連接機(jī)制。在一些實(shí)施例中，該智能控制器被配置成接收過(guò)濾器信息，接收諸如化學(xué)品類型的加工流體信息，基于該過(guò)濾器信息和加工流體信息訪問(wèn)操作例程(控制方案)的庫(kù)來(lái)選擇針對(duì)泵的操作例程，并且根據(jù)所選擇的操作例程來(lái)操作泵。所選擇操作例程可以包括起動(dòng)(priming)例程、分發(fā)周期、其它例程的分發(fā)周期的所選擇段。圖6描繪了具有智能控制器610的可定制分發(fā)系統(tǒng)600的一個(gè)示例實(shí)施例的圖解表示圖，該智能控制器控制處于饋送級(jí)601的氣動(dòng)饋送泵630和處于分發(fā)級(jí)602的氣動(dòng)分發(fā)泵640。在這個(gè)示例中，控制器610以通信方式鏈接至軌道620、氣動(dòng)饋送泵630、過(guò)濾器650以及分發(fā)泵640。在這個(gè)示例中，采用電子調(diào)節(jié)器635來(lái)調(diào)節(jié)氣動(dòng)致動(dòng)饋送泵630，而采用電子調(diào)節(jié)器645來(lái)調(diào)節(jié)氣動(dòng)致動(dòng)分發(fā)泵640。圖7描繪了具有智能控制器610的可定制分發(fā)系統(tǒng)700的一個(gè)示例實(shí)施例的圖解表示圖，該智能控制器610控制處于饋送級(jí)601的氣動(dòng)饋送泵630和處于分發(fā)級(jí)602的電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)分發(fā)泵740。在上述示例之后，控制器610以通信方式鏈接至軌道620、氣動(dòng)饋送泵630、過(guò)濾器650以及分發(fā)泵740。在分發(fā)系統(tǒng)700中，采用電子調(diào)節(jié)器635來(lái)調(diào)節(jié)氣動(dòng)致動(dòng)饋送泵630。在這個(gè)示例中，智能控制器610可以被配置成在不需要電子調(diào)節(jié)器的情況下控制分發(fā)泵740。在一些實(shí)施例中，可定制分發(fā)系統(tǒng)700仍然可以包括電子調(diào)節(jié)器作為標(biāo)準(zhǔn)組件。這允許針對(duì)分發(fā)泵740混合并匹配不同類型的泵，若希望的話，其中分發(fā)泵740中的一個(gè)或多個(gè)氣動(dòng)泵連接至電子調(diào)節(jié)器。圖8描繪了具有智能控制器610的可定制分發(fā)系統(tǒng)800的一個(gè)示例實(shí)施例的圖解 表示圖，該智能控制器610控制處于饋送級(jí)601的電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)饋送泵830和處于分發(fā)級(jí)602的電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)分發(fā)泵740。在上述示例之后，控制器610以通信方式鏈接至軌道620、饋送泵830、過(guò)濾器650，以及分發(fā)泵740。智能控制器610可以按與上述多級(jí)泵100相似的方式控制電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)饋送泵830和電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)分發(fā)泵740。在一些實(shí)施例中，可定制分發(fā)系統(tǒng)800可以包括用于饋送級(jí)601的電子調(diào)節(jié)器和用于饋送級(jí)602的電子調(diào)節(jié)器，作為標(biāo)準(zhǔn)組件。這允許針對(duì)饋送泵830和分發(fā)泵740混合并匹配不同類型的泵，若希望的話，其中饋送泵830中的一個(gè)或多個(gè)氣動(dòng)泵連接至饋送級(jí)601處的電子調(diào)節(jié)器，并且分發(fā)泵740中的一個(gè)或多個(gè)氣動(dòng)泵連接至饋送級(jí)602處的電子調(diào)節(jié)器。圖6-8示范了可以操縱饋送級(jí)601處的氣動(dòng)饋送泵630、分發(fā)級(jí)602處的氣動(dòng)分發(fā)泵640、分發(fā)級(jí)602處的電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)饋送泵740、饋送級(jí)602處的電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)饋送泵830、和各種過(guò)濾器650的智能控制器的靈活性和通用性。智能控制器610提供與多個(gè)物理接口(端口)的即插即用接口，以連接至軌道620和各種裝置?？梢允褂孟嗤B接線來(lái)與不同類型的泵通信。這縮減/簡(jiǎn)化了針對(duì)基本可定制分發(fā)系統(tǒng)的布線。智能控制器可以提供專有或內(nèi)部標(biāo)準(zhǔn)化的通信線路，以與各種裝置通信，包括氣動(dòng)泵、電動(dòng)泵、過(guò)濾器等。在與這些裝置通信中，智能控制器可以在連接時(shí)標(biāo)識(shí)每一種類型的裝置，查尋對(duì)應(yīng)控制方案，并由此進(jìn)行。例如，為將與一個(gè)泵的通信切換至另一個(gè)，智能控制器可以訪問(wèn)內(nèi)部或本地?cái)?shù)據(jù)庫(kù)以獲得信息，包括與新連接的泵相關(guān)聯(lián)的控制方案，并相應(yīng)地應(yīng)用該控制方案。在一些實(shí)施例中，智能控制器可以連接至具有包含過(guò)濾器信息的電子可讀過(guò)濾器信息標(biāo)簽的過(guò)濾器。電子可讀過(guò)濾器信息標(biāo)簽的一些示例可以實(shí)現(xiàn)射頻識(shí)別(RFID)技術(shù)。這些過(guò)濾器可以具有實(shí)現(xiàn)快速改變或快速連接機(jī)制的可去除類型。在一些實(shí)施例中，過(guò)濾器信息標(biāo)簽可以是有源或無(wú)源RFID標(biāo)簽、條形碼或其它可光學(xué)讀取碼。射頻識(shí)別(RFID)通常具有兩個(gè)部分讀取器和標(biāo)簽。利用無(wú)線電波，一些RFID標(biāo)簽可以從幾米遠(yuǎn)并在RFID讀取器的視線以外被讀取。在一些實(shí)施例中，合適的RFID標(biāo)簽的范圍被有意縮短以縮減讀取每一個(gè)其它標(biāo)簽的相鄰泵的串?dāng)_。例如，在一個(gè)實(shí)施例中，RFID標(biāo)簽的范圍被縮減至大約一英寸。根據(jù)RFID讀取器和標(biāo)簽的距離和/或布置，其它范圍也是可以的。圖10示出了具有RFID標(biāo)簽952a的示例過(guò)濾器950a和具有RFID標(biāo)簽952b的不例過(guò)濾器950b。在一些實(shí)施例中，RFID標(biāo)簽可以直接貼附于或嵌入過(guò)濾器。在一些實(shí)施例中，RFID標(biāo)簽可能不需要物理地附接至過(guò)濾器。RFID技術(shù)是本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的，并由此在這里未進(jìn)一步描述。過(guò)濾器信息的示例可以包括但不限于，零件號(hào)、設(shè)計(jì)風(fēng)格、隔膜類型、保留等級(jí)(retention rating)、過(guò)濾器的世代(generation of device)、過(guò)濾器薄膜的構(gòu)造、批號(hào)、序列號(hào)、裝置流速、薄膜厚度、薄膜起泡點(diǎn)、顆粒質(zhì)量、過(guò)濾器制造商質(zhì)量信息或其它信息。設(shè)計(jì)風(fēng)格指為其設(shè)計(jì)過(guò)濾器的泵的類型、過(guò)濾器的容量/尺寸、過(guò)濾器中的薄膜材料的量、或者有關(guān)過(guò)濾器設(shè)計(jì)的其它信息。薄膜類型指薄膜的材料和/或厚度。保留等級(jí)指可以通過(guò)薄膜以特定效率去除的顆粒的尺寸。過(guò)濾器的世代指該過(guò)濾器是過(guò)濾器設(shè)計(jì)的第一代、第二代、第三代，還是其它世代。過(guò)濾器薄膜的構(gòu)造指過(guò)濾器是否打褶、打褶的類型或有關(guān)薄膜設(shè)計(jì)的其它信息。序列號(hào)提供單個(gè)過(guò)濾器的序列號(hào)。批號(hào)可以指定過(guò)濾器或薄膜的制造批次。裝置流速指過(guò)濾器在產(chǎn)生良好的分發(fā)的同時(shí)可以處理的流速。裝置流速可以在單個(gè)過(guò)濾器的制造期間確定。薄膜起泡點(diǎn)提供過(guò)濾器可以處理并仍產(chǎn)生良好的分發(fā)的流速/ 壓力的另一度量。薄膜起泡點(diǎn)也可以在單個(gè)過(guò)濾器的制造期間確定。上面的示例通過(guò)說(shuō)明的方式來(lái)提供，而不是對(duì)可以包含在過(guò)濾器信息中的信息的限制。包含在過(guò)濾器信息中的零件號(hào)可以傳達(dá)各種信息。例如，示例零件號(hào)格式“Aabcdefgh”中的每一個(gè)字母都可以傳達(dá)一條不同的信息。下表I提供了由零件號(hào)傳達(dá)的信息的示例表I
權(quán)利要求
1.一種可定制分發(fā)系統(tǒng)，包括 智能控制器，被配置成操作敏感于印刷圖案中的缺陷的半導(dǎo)體制造工序中的多個(gè)泵，所述多個(gè)泵包括至少一個(gè)氣動(dòng)泵和至少一個(gè)電動(dòng)泵；和 多條線，所述多條線連接該智能控制器與軌道和各種裝置，包括用于所述至少一個(gè)氣動(dòng)泵和所述至少一個(gè)電動(dòng)泵的泵頭部，其中，該智能控制器被配置成，當(dāng)將所述多條線中的一條線從與第一泵連通切換至與第二泵連通時(shí)，自動(dòng)識(shí)別該第二泵，并且應(yīng)用與該第二泵相對(duì)應(yīng)的控制方案。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的可定制分發(fā)系統(tǒng)，其中，該第一泵是氣動(dòng)泵，而該第二泵是電動(dòng)泵。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的可定制分發(fā)系統(tǒng)，其中，該第一泵和第二泵都是電動(dòng)泵。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的可定制分發(fā)系統(tǒng)，其中，該第一泵和第二泵都是氣動(dòng)泵。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的可定制分發(fā)系統(tǒng)，其中，該智能控制器還被配置成，當(dāng)與新連接的泵接口連接時(shí)，自動(dòng)識(shí)別該新連接的泵，并且應(yīng)用與該新連接的泵相對(duì)應(yīng)的控制方案，其中，該新連接的泵是電動(dòng)泵或氣動(dòng)泵。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的可定制分發(fā)系統(tǒng)，其中，該智能控制器包括存儲(chǔ)與所述多個(gè)泵相關(guān)聯(lián)的信息的板載數(shù)據(jù)庫(kù)。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的可定制分發(fā)系統(tǒng)，其中，所述各種裝置包括具有射頻識(shí)別標(biāo)簽的過(guò)濾器。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的可定制分發(fā)系統(tǒng)，其中，所述多個(gè)泵包括一個(gè)或多個(gè)集成泵，其中，所述一個(gè)或多個(gè)集成泵中的每一個(gè)都包括物理地組合為一個(gè)單元的兩個(gè)或更多個(gè)氣動(dòng)泵，其中，該單元中的所述兩個(gè)或更多個(gè)氣動(dòng)泵彼此獨(dú)立地操作，并且其中，該單元中的所述兩個(gè)或更多個(gè)氣動(dòng)泵通過(guò)該智能控制器獨(dú)立地控制。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的可定制分發(fā)系統(tǒng)，其中，所述一個(gè)或多個(gè)集成泵充任饋送泵。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的可定制分發(fā)系統(tǒng)，其中，所述一個(gè)或多個(gè)集成泵充任分發(fā)栗。
11.根據(jù)權(quán)利要求I所述的可定制分發(fā)系統(tǒng)，其中，所述切換由該第一泵的物理斷開(kāi)和該第二泵的物理連接而造成。
12.根據(jù)權(quán)利要求I所述的可定制分發(fā)系統(tǒng)，其中，所述切換由在該智能控制器處接收到的指令而造成。
13.—種可定制分發(fā)系統(tǒng),包括 一組饋送泵，用于引導(dǎo)在半導(dǎo)體制造工序中使用的化學(xué)品； 一組分發(fā)泵，用于分發(fā)該化學(xué)品；以及 智能控制器，被配置成操作該組饋送泵和該組分發(fā)泵，其中，該組饋送泵和該組分發(fā)泵包括一個(gè)或多個(gè)集成泵，所述一個(gè)或多個(gè)集成泵中的每一個(gè)都包括物理地組合為一個(gè)單元的兩個(gè)或更多個(gè)氣動(dòng)泵，其中，該單元中的所述兩個(gè)或更多個(gè)氣動(dòng)泵彼此獨(dú)立地操作，并且其中，該單元中的所述兩個(gè)或更多個(gè)氣動(dòng)泵通過(guò)該智能控制器獨(dú)立地控制。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的可定制分發(fā)系統(tǒng)，其中，該智能控制器被配置成當(dāng)從與第一泵連通切換至與第二泵連通時(shí)，自動(dòng)識(shí)別該第二泵并且應(yīng)用與該第二泵相對(duì)應(yīng)的控制方案。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的可定制分發(fā)系統(tǒng)，其中，該第一泵是氣動(dòng)泵，而該第二泵是電動(dòng)泵。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的可定制分發(fā)系統(tǒng)，其中，該第一泵和第二泵都是電動(dòng)泵。
17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的可定制分發(fā)系統(tǒng)，其中，該第一泵和第二泵都是氣動(dòng)泵。
18.根據(jù)權(quán)利要求13所述的可定制分發(fā)系統(tǒng)，其中，該智能控制器還被配置成，當(dāng)與新連接的泵接口連接時(shí)，自動(dòng)識(shí)別該新連接的泵，并且應(yīng)用與該新連接的泵相對(duì)應(yīng)的控制方案，其中，該新連接的泵是電動(dòng)泵或氣動(dòng)泵。
19.一種可定制分發(fā)系統(tǒng),包括 一組饋送泵，用于引導(dǎo)在半導(dǎo)體制造工序中使用的化學(xué)品； 一組分發(fā)泵，用于分發(fā)該化學(xué)品； 智能控制器，被配置成操作該組饋送泵和該組分發(fā)泵，其中，該組饋送泵和該組分發(fā)泵包括一個(gè)或多個(gè)集成泵，所述一個(gè)或多個(gè)集成泵中的每一個(gè)都包括物理地組合為一個(gè)單元的兩個(gè)或更多個(gè)氣動(dòng)泵，其中，該單元中的所述兩個(gè)或更多個(gè)氣動(dòng)泵彼此獨(dú)立地操作，其中，該單元中的所述兩個(gè)或更多個(gè)氣動(dòng)泵通過(guò)該智能控制器獨(dú)立地控制，并且其中，該智能控制器還被配置成當(dāng)與新連接的泵接口連接時(shí)，自動(dòng)識(shí)別該新連接的泵，并且應(yīng)用與該新連接的泵相對(duì)應(yīng)的控制方案，其中，該新連接的泵是電動(dòng)泵或氣動(dòng)泵。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的可定制分發(fā)系統(tǒng)，其中，該智能控制器還被配置成，當(dāng)將從與第一泵連通切換至與第二泵連通時(shí)，自動(dòng)識(shí)別該第二泵，并且應(yīng)用與該第二泵相對(duì)應(yīng)的控制方案。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的可定制分發(fā)系統(tǒng)，其中，該第一泵是氣動(dòng)泵，而該第二泵是電動(dòng)泵。
22.根據(jù)權(quán)利要求20所述的可定制分發(fā)系統(tǒng)，其中，該第一泵和第二泵都是電動(dòng)泵。
23.根據(jù)權(quán)利要求20所述的可定制分發(fā)系統(tǒng)，其中，該第一泵和第二泵都是氣動(dòng)泵。
24.根據(jù)權(quán)利要求20所述的可定制分發(fā)系統(tǒng)，其中，所述切換由該第一泵的物理斷開(kāi)和該第二泵的物理連接而造成。
25.根據(jù)權(quán)利要求20所述的可定制分發(fā)系統(tǒng)，其中，所述切換由在該智能控制器處接收到的指令而造成。
26.一種過(guò)濾方法，包括以下步驟 在具有饋送泵和分發(fā)泵的分發(fā)系統(tǒng)的控制器處，確定從位于該饋送泵與該分發(fā)泵之間的過(guò)濾器的上游針對(duì)流體的上游壓力； 設(shè)置針對(duì)該上游壓力的饋送級(jí)流體壓力； 設(shè)置針對(duì)過(guò)濾壓力設(shè)置點(diǎn)的分發(fā)級(jí)流體壓力； 打開(kāi)閥以允許該流體從饋送側(cè)通過(guò)該過(guò)濾器流向分發(fā)側(cè)，其中，該饋送級(jí)流體壓力和該分發(fā)級(jí)流體壓力導(dǎo)致橫跨該過(guò)濾器的壓差，由此，該流體從饋送側(cè)通過(guò)該過(guò)濾器移動(dòng)至分發(fā)側(cè)；以及 基于該分發(fā)級(jí)處的流體壓力的變化來(lái)確定過(guò)濾的結(jié)束。
全文摘要
所公開(kāi)的實(shí)施例提供了一種實(shí)現(xiàn)模塊化架構(gòu)的可定制分發(fā)系統(tǒng)，該可定制分發(fā)系統(tǒng)包括智能控制器，該智能控制器被配置成，操作敏感于印刷圖案中的缺陷的各種半導(dǎo)體制造工序中的各種氣動(dòng)泵和電動(dòng)泵。該智能控制器被配置成，當(dāng)將與第一泵的連通切換至第二泵時(shí)，自動(dòng)識(shí)別該第二泵，并且應(yīng)用用于控制該第二泵的控制方案，該第二泵可以是電動(dòng)泵或氣動(dòng)泵。所述切換可以因該第一泵的物理斷開(kāi)和該第二泵的物理連接而造成，或者其可以完全經(jīng)由軟件來(lái)進(jìn)行。該智能控制器可以連接至軌道和多種裝置，包括智能過(guò)濾器。
文檔編號(hào)H01L21/302GK102959683SQ201180032168
公開(kāi)日2013年3月6日 申請(qǐng)日期2011年6月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月28日
發(fā)明者J·塞德羅恩, I·加什蓋, P·J·瑪谷恩, J·M·布拉格恩, G·L·格內(nèi)爾拉, J·O·維爾 申請(qǐng)人:恩特格里公司