專利名稱：流延模、模頭的制造方法及膜的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及ー種流延模(casting die)、模頭的制造方法及膜的制造方法。
背景技術(shù)：
由于包含透光性的聚合物膜(以下稱為膜)輕質(zhì)且容易成型，因此作為光學(xué)膜廣泛利用。其中，利用纖維素?；锏鹊睦w維素酯類膜除了用作照片感光用膜以外，還用作液晶顯示裝置的光學(xué)膜。液晶顯示裝置的光學(xué)膜是指例如偏光板保護(hù)膜或相位差膜等。作為膜的主要制造方法已知有溶液制膜方法。溶液制膜方法中，依次進(jìn)行流延膜形成エ序、流延膜干燥エ序、剝離エ序及濕潤(rùn)膜干燥エ序。流延膜形成エ序中，利用流延模從流延模流出包含聚合物與溶劑的聚合物溶液(以下稱為濃液)，在移動(dòng)的支撐體上形成流延膜。流延膜干燥エ序中，使溶劑從流延膜蒸發(fā)直到流延膜能夠獨(dú)立傳送。剝離エ序中， 從支撐體剝下經(jīng)流延膜干燥エ序的流延膜來作成濕潤(rùn)膜。濕潤(rùn)膜干燥エ序中，使溶劑從濕潤(rùn)膜蒸發(fā)來作成膜。流延模具有I對(duì)模唇板、I對(duì)側(cè)板及流道。I對(duì)模唇板設(shè)置成靠近支撐體的移動(dòng)方向而排列。I對(duì)側(cè)板設(shè)置成從一方的模唇板橫跨另一方的模唇板而延伸。流道被I對(duì)模唇板及I對(duì)側(cè)板包圍而成。在與濃液的流動(dòng)方向正交的面上，流道形成為短邊向支撐體的移動(dòng)方向延伸且長(zhǎng)邊向支撐體移動(dòng)路的寬度方向延伸的矩形。該模唇板和側(cè)板由熱膨脹率小且相對(duì)于溶劑溶解性較低的不銹鋼(例如SUS316L等)形成。流延模從流道出ロ朝向移動(dòng)的支撐體流出濃液。其結(jié)果，一方的模唇板的前端部與支撐體之間形成液珠。在流延膜形成エ序中，若液珠變得不穩(wěn)定，則會(huì)導(dǎo)致流延膜發(fā)生厚度不均。因此，通過使成為液珠形成的起點(diǎn)的相應(yīng)模唇板的前端部尖鋭化來謀求液珠的穩(wěn)定化。不均是指不均勻的狀態(tài)或不均勻。但是，由于SUS316L的維氏硬度為Hvl80左右比較柔軟，因此很難通過機(jī)械加工使前端部尖鋭化。因此，有在模唇板的前端部設(shè)置比SUS316L更硬質(zhì)的層(以下稱為硬質(zhì)層) 之后，實(shí)施預(yù)定的機(jī)械加工的方法。由此，能夠使模唇板的前端部尖鋭化。作為該硬質(zhì)層， 已知有例如如日本專利公開2003-200097號(hào)公報(bào)中記載的碳化鎢層。并且，模唇板的前端部的優(yōu)選形狀根據(jù)膜的制造條件而變化。因此，將模唇板分為形成流道入ロ的模唇板主體與形成流道出ロ的前端部(以下稱為模頭)，在模唇板主體拆卸自如地設(shè)置模頭。通過利用這樣的模頭，可輕松在I個(gè)生產(chǎn)線切換制造多種膜。但是，若長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)進(jìn)行流延膜形成エ序，則設(shè)置于模頭上的碳化鎢層會(huì)腐蝕。碳化鎢層的腐蝕由粘合劑金屬(鈷原子等)的洗脫引起。若以碳化鎢層腐蝕的狀態(tài)使用流延摸，則會(huì)因碳化鎢層的剝落而導(dǎo)致膜表面發(fā)生條紋的故障。因此，每進(jìn)行一定時(shí)間的流延膜形成エ序后不得不停止流延膜形成エ序而更換新的模頭，這樣會(huì)導(dǎo)致膜的生產(chǎn)效率下降。 從這樣的背景考慮優(yōu)選將壽命長(zhǎng)于碳化鶴層且穩(wěn)定的類金剛石(Diamond Like Carbon, DLC)膜形成于模頭。DLC膜優(yōu)選利用熱化學(xué)氣相蒸鍍(Chemical Vapor Deposition, CVD) 形成于模頭。但是，若利用熱CVD在模頭形成DLC膜，則會(huì)導(dǎo)致模頭發(fā)生翹曲。發(fā)生翹曲的模頭很難安裝于模唇板主體。近幾年，隨著液晶顯示裝置的大型化，制造寬度寬的光學(xué)膜成為光學(xué)膜供應(yīng)商的新課題。為了制造寬度寬的光學(xué)膜必須將I對(duì)側(cè)板的間隔設(shè)成比以往大，且加長(zhǎng)模唇板主體或模頭。但是，因模頭的長(zhǎng)度加長(zhǎng)，形成DLC膜時(shí)發(fā)生的模頭的翹曲量也増大。因此，很難制造對(duì)應(yīng)膜寬幅化的流延模。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決這樣的課題，其目的在于，提供一種對(duì)應(yīng)寬幅化的流延模及其制造方法以及膜的制造方法。本發(fā)明的流延模設(shè)置有包含聚合物及溶劑的濃液的流道，流出所述濃液，且包含有I對(duì)側(cè)板、I對(duì)模唇板及DLC膜。I對(duì)側(cè)板分離并相互対向。I對(duì)模唇板從一方的所述側(cè)板朝向另一方的所述側(cè)板而設(shè)置并相互対向。所述流道被所述I對(duì)側(cè)板及所述I對(duì)模唇板包圍而成。所述模唇板具有模唇板主體和模頭，所述模唇板主體構(gòu)成所述流道入口。所述模頭安裝于所述模唇板主體并構(gòu)成所述流道出口。所述模頭為不銹鋼制。所述模頭的截面為楔形。所述I對(duì)側(cè)板的排列方向上的所述模頭的長(zhǎng)度除以與所述排列方向正交的方向上的所述模頭的長(zhǎng)度的值為50以上。DLC膜設(shè)置于所述模頭的前端，且在130°C以上200°C以下的處理溫度下形成。優(yōu)選在所述排列方向上的所述模頭的長(zhǎng)度為1500mm以上。優(yōu)選所述模頭包含由不銹鋼構(gòu)成的模頭主體和碳化鎢層。所述碳化鎢層設(shè)置于截面為楔形的所述模頭主體的前端。優(yōu)選所述DLC膜的厚度為2 m以下。本發(fā)明的膜的制造方法包含流延膜形成步驟、流延膜干燥步驟、剝離步驟、濕潤(rùn)膜干燥步驟。流延膜形成步驟從流延模流出濃液并在支撐體上形成由所述濃液構(gòu)成的流延膜。所述濃液包含聚合物及溶剤。所述流延模具有I對(duì)側(cè)板和I對(duì)模唇板。所述I對(duì)側(cè)板分離并相互対向。所述I對(duì)模唇板從一方的所述側(cè)板朝向另一方的所述側(cè)板而設(shè)置并相互對(duì)向。所述濃液的流道被所述I對(duì)側(cè)板及所述I對(duì)模唇板包圍而成。所述模唇板具有模唇板主體和模頭。所述模唇板主體構(gòu)成所述流道入口。所述模頭安裝于所述模唇板主體并構(gòu)成所述流道出口。所述模頭為不銹鋼制。所述模頭的截面為楔形。所述I對(duì)側(cè)板的排列方向上的所述模頭的長(zhǎng)度除以與所述排列方向正交的方向上的所述模頭的長(zhǎng)度的值為50以上。所述模頭的前端設(shè)置有在130°C以上200°C以下的處理溫度下形成的DLC膜。流延膜干燥步驟使所述溶劑從所述流延膜蒸發(fā)直到所述流延膜能夠獨(dú)立傳送。剝離步驟從所述支撐體剝離所述流延膜來作成濕潤(rùn)膜。濕潤(rùn)膜干燥步驟使所述溶劑從所述濕潤(rùn)膜蒸發(fā)來作成膜。本發(fā)明的模頭的制造方法為構(gòu)成形成于流延模的所述濃液的流道出口的模頭的制造方法。所述濃液包含聚合物及溶剤。所述流道被I對(duì)側(cè)板和I對(duì)模唇板包圍而成。所述I對(duì)側(cè)板分離并相互対向。所述I對(duì)模唇板從一方的所述側(cè)板朝向另一方的所述側(cè)板而設(shè)置并相互対向。所述模唇板具有構(gòu)成所述流道入ロ的模唇板主體和表面設(shè)置有DLC膜的不銹鋼制的所述模頭。該模頭的制造方法包含準(zhǔn)備步驟(A步驟)和固化膜形成步驟(B步驟)。A步驟準(zhǔn)備不銹鋼制的模頭主體。B步驟通過氣相蒸鍍法在所述模頭主體的表面設(shè)置所述DLC膜來獲得所述模頭。所述I對(duì)側(cè)板的排列方向上的所述模頭的長(zhǎng)度除以與所述排列方向正交的方向上的所述模頭的長(zhǎng)度的值為50以上。所述氣相蒸鍍法的處理溫度為 130°C以上200°C以下。所述氣相蒸鍍法優(yōu)選離子化蒸鍍、離子鍍及等離子CVD中的任一方法。所述B步驟中，通過實(shí)施氟涂布的固定件固定靶電極和所述模頭主體，利用螺栓緊固所述模頭主體與所述固定件。優(yōu)選在所述B步驟中，在所述I對(duì)側(cè)板的排列方向上并列設(shè)置的緊固部位上通過所述螺栓緊固所述模頭主體與所述支撐部件。隨著從所述I對(duì)側(cè)板的排列方向的中央部朝向兩端側(cè)所述螺栓的擰緊轉(zhuǎn)矩變得越來越小。根據(jù)本發(fā)明，能夠抑制模頭的翹曲的同時(shí)在模頭形成壽命長(zhǎng)的DLC膜。能夠通過利用包含這種模頭的流延模有效地制造寬度寬的膜。本領(lǐng)域技術(shù)人員通過參考附圖并閱讀優(yōu)選實(shí)施例的詳細(xì)說明，可以容易理解上述目的及優(yōu)點(diǎn)。


圖I是表示溶液制膜設(shè)備的概要的說明圖。圖2是表示配置于流延室內(nèi)的流延模等的概要的說明圖。圖3是表示流延模的前端部分的概要的局部截面圖。圖4是表示模具主體的概要的立體圖。圖5是表示模具主體的概要的分解立體圖。圖6是表示設(shè)置于流延模的流道的概要的立體圖。圖7是表示狹縫流道的概要的截面圖。圖8是表示具有模唇板主體和模頭的模唇板的概要的立體圖。圖9是表示具有模唇板主體和模頭的模唇板的概要的分解立體圖。圖10是表示模頭的概要的截面圖。圖11是表示模頭主體的概要的截面圖。圖12是表示構(gòu)成出口的模唇板的前端部分的概要的截面圖。圖13是表示DLC膜形成裝置的概要的截面圖。圖14是表示安裝于固定件的模頭的概要的立體圖。圖15是表示固定件與安裝于固定件的模頭的概要的立體圖。
具體實(shí)施例方式(溶液制膜設(shè)備)如圖I所示，溶液制膜設(shè)備10具有流延室12、針板拉幅機(jī)13、干燥室15、冷卻室 16及卷取室17。如圖I及圖2所示，流延室12中設(shè)置流延模21、流延滾筒22、減壓室23 及剝離棍24。流延滾筒22由水平配設(shè)的驅(qū)動(dòng)軸22a和軸著(固定)于驅(qū)動(dòng)軸22a的滾筒主體 22b構(gòu)成。驅(qū)動(dòng)軸22a與驅(qū)動(dòng)裝置(未圖示)連接。流延滾筒22優(yōu)選不銹鋼制，從具有充分的耐腐蝕性和強(qiáng)度這一點(diǎn)來看更優(yōu)選SUS316L制。
如圖2及圖3所示，具有濃液28流通的流道29的流延模21具有前端尖銳的模具主體30。流延模21通過托架(未圖示)安裝于流延室12以便模具主體30朝向預(yù)定的方向。流道29的出口 29o在模具主體30的下方前端部分開ロ。模具主體30配設(shè)成出ロ 29o 靠近周面22bx。在后面詳細(xì)敘述流延模21。在出口 29o附近，流延滾筒22的周面22bx通過驅(qū)動(dòng)軸22a的驅(qū)動(dòng)以預(yù)定速度向恒定方向移動(dòng)。以下將周面22bx的移動(dòng)方向稱為Zl方向。流延模21從出口 29o流出濃液 28 (參考圖I)。從出ロ 29o流出且到達(dá)周面22bx之前的濃液28形成液珠33 (參考圖3)。 使到達(dá)周面22bx的濃液28在周面22bx上向Zl方向延長(zhǎng)的結(jié)果形成帯狀的流延膜34。這樣，在流延室12中進(jìn)行通過流延模21及流延滾筒22在周面22bx上形成由濃液28構(gòu)成的流延膜34的流延膜形成エ序。另外，在流延滾筒22中進(jìn)行使溶劑從流延膜34蒸發(fā)的流延膜干燥エ序。減壓室23配置于比流延模21更靠Zl方向的上游。在控制部(未圖示)的控制下，減壓室23吸引靠液珠33的Zl方向上游側(cè)的氣體。通過吸引該氣體形成液珠33的上游側(cè)的壓力低于液珠33的下游側(cè)的壓カ的狀態(tài)。能夠通過減壓室23吸引隨著周面22bx的移動(dòng)而發(fā)生且在周面22bx附近流向Zl方向的攜帯風(fēng)。因此，能夠抑制由與攜帯風(fēng)的沖突引起的液珠33的振動(dòng)。另外，能夠縮短液珠33的長(zhǎng)度，因此能夠抑制液珠33的振動(dòng)。優(yōu)選液珠33的上游側(cè)及下游側(cè)的壓カ差A(yù)P為IOPa以上2000Pa以下。在流延滾筒22連接有調(diào)溫裝置32。調(diào)溫裝置32內(nèi)置有調(diào)節(jié)傳熱介質(zhì)的溫度的溫度調(diào)節(jié)部。調(diào)溫裝置32使調(diào)節(jié)成所希望的溫度的傳熱介質(zhì)在溫度調(diào)節(jié)部及設(shè)置于流延滾筒22內(nèi)的流道之間循環(huán)。通過該傳熱介質(zhì)的循環(huán)能夠?qū)⒘餮訚L筒22的周面22bx的溫度保持成所希望的溫度。并且，通過設(shè)置冷凝流延室12內(nèi)的氛圍中所含的溶劑的冷凝裝置 (未圖示)及回收冷凝的溶劑的回收裝置(未圖示)，能夠?qū)⒘餮邮?2內(nèi)的氛圍中所含的溶劑的濃度保持在恒定的范圍內(nèi)。剝離輥24配設(shè)在比流延模21更靠Zl方向的下游側(cè)。剝離輥24進(jìn)行剝離形成在周面22bx上的流延膜34來作成濕潤(rùn)膜35的剝離エ序。濕潤(rùn)膜35引導(dǎo)至流延室12的下游側(cè)。在流延室12的下游從上游側(cè)依次設(shè)置有針板拉幅機(jī)13、干燥室15、冷卻室16及卷取室17。在流延室12與針板拉幅機(jī)13之間的轉(zhuǎn)送部40排列有多個(gè)支承濕潤(rùn)膜35的支撐輥41。支撐輥41通過未圖示的馬達(dá)以軸為中心旋轉(zhuǎn)。支撐輥41支承從流延室12送出的濕潤(rùn)膜35并引導(dǎo)至針板拉幅機(jī)13。圖I中，表示在轉(zhuǎn)送部40排列有2個(gè)支撐輥41的情況。但是，本發(fā)明不限于此，可在轉(zhuǎn)送部40排列3個(gè)以上的支撐輥41。另外，支撐輥41也可為自由輥。針板拉幅機(jī)13具有保持部件(未圖示)、帶輪(未圖示)及干燥風(fēng)供給機(jī)(未圖示)。保持部件設(shè)為環(huán)狀，且具有貫穿濕潤(rùn)膜35的寬度方向的兩端來進(jìn)行保持的多個(gè)銷 (未圖示)。帶輪使保持部件循環(huán)行駛。干燥風(fēng)供給機(jī)將干燥風(fēng)供給至通過銷保持的濕潤(rùn)膜35。針板拉幅機(jī)13的入口設(shè)置有使?jié)駶?rùn)膜35的寬度方向的兩端嚙入于銷的毛刷(未圖示)。銷通過毛刷的按壓貫穿濕潤(rùn)膜35的寬度方向的兩端。并且，通過銷保持兩端的濕潤(rùn)膜35通過保持部件的循環(huán)行駛而被傳送。溶劑通過與干燥風(fēng)的接觸而從濕潤(rùn)膜35蒸發(fā)， 結(jié)果能夠從濕潤(rùn)膜35獲得膜45。這樣，從轉(zhuǎn)送部40到針板拉幅機(jī)13進(jìn)行使溶劑從濕潤(rùn)膜35蒸發(fā)來作成膜45的濕潤(rùn)膜干燥エ序。在針板拉幅機(jī)13與干燥室15之間設(shè)置有切邊裝置47。送出至切邊裝置47的膜 45的寬度方向的兩端形成有由銷形成的貫穿痕。切邊裝置47切開具有該貫穿痕的兩端部分。該被切開的部分通過送風(fēng)依次送至截?cái)囡L(fēng)機(jī)(未圖示)及破碎機(jī)(未圖示)，被較細(xì)地切割并作為濃液等的原料進(jìn)行再利用。干燥室15中設(shè)置有多個(gè)棍49,膜45卷在這些棍上被傳送。干燥室15內(nèi)的氛圍的溫度或濕度等通過未圖示的空調(diào)機(jī)調(diào)節(jié)。干燥室15中進(jìn)行膜45的干燥處理。在干燥室 15連接有吸附回收裝置52。吸附回收裝置52通過吸附回收從膜45蒸發(fā)的溶剤。冷卻室16對(duì)膜45進(jìn)行冷卻直到膜45的溫度成為大致室溫。在冷卻室16與卷取室17之間，從上游側(cè)依次設(shè)置除電棒54、滾花賦予輥55及切邊裝置56。除電棒54進(jìn)行對(duì)從冷卻室16送出且?guī)щ姷哪?5進(jìn)行除電的除電處理。滾花賦予輥55向膜45的寬度方向兩端賦予卷取用滾花。切邊裝置56以在切割后的膜45的寬度方向兩端留有滾花的方式切割膜45的寬度方向兩端。卷取室17中設(shè)置有具有壓輥61和卷芯62的卷取機(jī)63。被送至卷取室17的膜 45通過壓輥61按壓的同時(shí)卷取在卷芯62而呈輥狀。如圖4及圖5所示，模具主體30具有不銹鋼制(SUS316或SUS316L等)的I對(duì)側(cè)板71與I對(duì)模唇板72。I對(duì)模唇板72從周面22bx的一端橫跨另一端延設(shè)。I對(duì)模唇板 72以相對(duì)周面22bx豎立的姿勢(shì)在Zl方向上分開排列。I對(duì)側(cè)板71從一方的模唇板72橫跨另一方的模唇板72延設(shè)。I對(duì)側(cè)板71以相對(duì)周面22bx豎立的姿勢(shì)在滾筒主體22b的軸向(以下稱為Z2方向)上分開排列。這樣，I對(duì)模唇板72的流道形成面72a正面相對(duì)，且 I對(duì)側(cè)板71的流道形成面71a正面相対。并且，I對(duì)流道形成面71a的間隔大于I對(duì)流道形成面72a的間隔。如圖5及圖6所示，流道29被I對(duì)流道形成面71a與I對(duì)流道形成面72a包圍而成。如圖6所示，流道29上，從在模具主體30的上部開ロ的入口 29i朝向出ロ 29o依次設(shè)置有入口流道29a、歧管29b及狹縫流道29c。入口流道29a將從入口 29i流入的濃液28 送至歧管29b。歧管29b使?jié)庖?8向Z2方向擴(kuò)展的同時(shí)緩輕濃液28中所含的聚合物分子的變形后將濃液28送至狹縫流道29c。狹縫流道29c將濃液28送至出口 29o。如圖7所示，狹縫流道29c在與流道29內(nèi)的濃液28的流動(dòng)方向Z3正交的面上形成為矩形。在與方向Z3正交的面上，狹縫流道29c的截面形狀的I對(duì)長(zhǎng)邊由流道形成面 72a構(gòu)成，短邊由流道形成面71a構(gòu)成。如圖8及圖9所示，模唇板72可分割成模唇板主體81與模頭82。模唇板主體81 為不銹鋼制(SUS316或SUS316L等)，為入口 29i的構(gòu)成部件。模頭82的截面為楔形，為出 ロ 29o的構(gòu)成部件。模頭82在模唇板主體81上裝卸自如。模唇板72的分割位置在流道形成部72a中狹縫流道29c的中途。(模頭)如圖9及圖10所示，模頭82包含模頭主體85和設(shè)置于模頭主體85的DLC膜86。 如圖10、圖11所示，楔形的模頭主體85包含構(gòu)成出ロ 29o的前端部90和用于在模唇板主體81安裝的安裝部91。前端部90朝向Z3方向尖銳地形成。如圖11所示，前端部90由作為流道形成面72a(參考圖7)的一部分的接液面90a和在外部露出的露出面90b構(gòu)成。模頭主體85為不銹鋼制(SUS316或SUS316L等)，且形成為大致楔形。在模頭主體85的前端部90以露出的方式設(shè)置硬質(zhì)層92。硬質(zhì)層92的維氏硬度 Hv大于模頭主體85的維氏硬度Hv。并且，硬質(zhì)層92的維氏硬度Hv小于DLC膜86的維氏硬度Hv。優(yōu)選硬質(zhì)層92的維氏硬度Hv在1000以上2000以下。并且，優(yōu)選DLC膜86的維氏硬度Hv為1200以上2500以下。維氏硬度Hv為以IS014577壓痕硬度(indentation hardness, Oliver&Pharr計(jì)算方法)換算的值。硬質(zhì)層92 的形成材料可舉出碳化鶴(Tungsten Carbide, WC)、A1203、TiN、Cr2O3 等，尤其優(yōu)選WC。此外，作為WC，除了添加有作為粘合劑金屬的鈷的WC-Co系之外，還可舉出WC-Ni系、WC-TiC系及WC-TaC系等并均可利用于本發(fā)明。硬質(zhì)層92例如可通過熱噴涂形成。硬質(zhì)層92的厚度例如為50 ii m以上200 y m以下。示出具有硬質(zhì)層92的模頭主體85的形成方法的一例。首先，在楔形的模頭主體 85的尖鋭部分凹設(shè)硬質(zhì)層形成區(qū)。接著，在設(shè)置成凹狀的硬質(zhì)層形成區(qū)設(shè)置硬質(zhì)層92。并且，形成硬質(zhì)層92后，以模頭主體85形成為硬質(zhì)層92在前端部90露出的楔形的方式對(duì)整個(gè)模頭主體85進(jìn)行預(yù)定的機(jī)械加工。如圖11所示，在將Z3方向上的模頭82的長(zhǎng)度設(shè)為L(zhǎng)z3且Z3方向的正交方向上的模頭82的長(zhǎng)度設(shè)為L(zhǎng)x時(shí)，優(yōu)選(Lx/LZ3)的值為50以上400以下。并且Lx優(yōu)選在1500mm以上，更優(yōu)選在2000mm以上。在此，Z3方向的正交方向可為Z2方向也可為Zl方向。因此， 在將Zl方向上的模頭82的長(zhǎng)度設(shè)為L(zhǎng)zi且Z2方向上的模頭82的長(zhǎng)度設(shè)為L(zhǎng)z2吋，(LX/LZ3)
可表^]^為(しぬ/しロ)或(Lzi/Lz3)。安裝部91上沿Z2方向并列設(shè)置有貫穿模頭主體85的貫穿孔95。如圖12所示， 在模唇板主體81設(shè)置螺紋孔96。這樣，通過貫穿孔95將緊固螺栓97螺固于螺紋孔96，由此緊固模唇板主體81和模頭82。另外，圖12中，為了避免圖面的復(fù)雜化，省略表示DLC膜 86。(DLC 膜)如圖10所不,DLC膜86設(shè)置在模頭主體85的整個(gè)表面。能夠利用公知的氣相蒸鍍法作為DLC膜86的形成處理。為了縮小處理后的模頭82的翹曲量，優(yōu)選處理時(shí)的模頭主體85的溫度Tl為130°C以上200°C以下。作為氣相蒸鍍方法具體有等離子CVD、離子鍍、 離子化蒸鍍法等，其中優(yōu)選離子化蒸鍍法。優(yōu)選DLC膜86的厚度D例如為I ii m以上2 ii m 以下。如圖13所示，DLC膜形成裝置99具有反射體100、陽(yáng)極101、陰極102、靶電極103 及氣體導(dǎo)入管104。反射體100為具有底部的圓筒狀。陽(yáng)極101以與反射體100電性絕緣的狀態(tài)設(shè)置于反射體100內(nèi)。陰極102與反射體100電性絕緣地設(shè)置于比陽(yáng)極101更靠反射體100的開ロ端側(cè)。靶電極103由不銹鋼構(gòu)成并設(shè)置于反射體100的開ロ端的前方。氣體導(dǎo)入管104在反射體100的內(nèi)部空間具有開ロ端。在靶電極103通過固定件106安裝有模頭主體85。以陰極102的電位為基準(zhǔn)時(shí)反射體100、陽(yáng)極101及靶電極103的各電位分別為負(fù)電位，且電位以陽(yáng)極101、反射體100、靶電極103順序變低。如圖14及圖15所示，不銹鋼制的固定件106包含固定板110、2個(gè)足板111及固定螺栓112。固定板110與模頭主體85緊固。2個(gè)足板111從固定板110突出設(shè)置。固定螺栓112緊固模頭主體85和固定板110。固定板100上沿Z2方向并列設(shè)置有螺紋孔115。
9通過貫穿孔95將固定螺栓112螺固于螺紋孔115，由此緊固固定件106與模頭主體85。如圖13所示，反應(yīng)氣體(C6H6等)117從氣體導(dǎo)入管104導(dǎo)入至反射體100的內(nèi)部空間。在陽(yáng)極101與陰極102之間因直流電弧放電而發(fā)生等離子體。根據(jù)該等離子體從反應(yīng)氣體117生成碳化氫離子。所生成的碳化氫離子朝向靶電極103。這樣，碳化氫離子碰撞安裝于靶電極103的模頭主體85，結(jié)果在模頭主體85形成DLC膜86。這樣，DLC膜形成裝置99中進(jìn)行通過預(yù)定的氣相蒸鍍法從模頭主體85獲得模頭82的固化膜形成エ序。在此，模頭主體85通過氣相蒸鍍法加熱至預(yù)定溫度。并且，在進(jìn)行氣相蒸鍍方法之后冷卻至室溫。該加熱及冷卻的過程中在模頭主體85產(chǎn)生翹曲。因此，對(duì)固定板110的表面實(shí)施氟涂布，并且將摩擦性低于模頭主體85的形成材料(例如SUS316L)的氟膜設(shè)置于固定板110的表面。以通過低摩擦性的氟膜固定模頭主體85的狀態(tài)進(jìn)行氣相蒸鍍方法， 由此能夠抑制模頭主體85的翹曲的同時(shí)在模頭主體85形成DLC膜86 (參考圖10)。并且， 優(yōu)選隨著從Z2方向中央部朝向Z2方向兩端部，固定螺栓112 (參考圖15)的擰緊轉(zhuǎn)矩變得越來越小。例如，Z2方向中央部的中央部固定螺栓(尺寸為M6)的擰緊轉(zhuǎn)矩為ION m, Z2 方向端部的端部固定螺栓(尺寸為M6)的擰緊轉(zhuǎn)矩為3N*m。并且，中央部固定螺栓及端部固定螺栓之間的固定螺栓(尺寸為M6)的擰緊轉(zhuǎn)矩為5N m。由此，能夠抑制模頭主體85 的翹曲的同時(shí)在模頭主體85形成DLC膜86 (參考圖10)。上述實(shí)施方式中，將形成DLC膜86的范圍設(shè)為模頭主體85的整個(gè)表面，但設(shè)為至少模頭主體85的前端部90即可。上述實(shí)施方式中，為了將流延膜34設(shè)為可獨(dú)立傳送的狀態(tài)而對(duì)流延膜34進(jìn)行冷卻，但本發(fā)明不限于此，可使溶劑從流延膜34蒸發(fā)。上述實(shí)施方式中，利用流延滾筒22作為支撐體。但是，支撐體不限于流延滾筒22， 可利用掛繞于以軸向呈水平的方式配置的輥上的流延帶。當(dāng)流延濃液時(shí)本發(fā)明能夠進(jìn)行如下流延，即將2種以上的濃液同時(shí)共流延來使其層疊的同時(shí)層疊共流延，或者將多個(gè)濃液逐次共流延來使其層疊的逐次層疊共流延。另外， 可組合兩種共流延。進(jìn)行同時(shí)層疊共流延時(shí)，可利用安裝有進(jìn)料頭的流延模，也可利用多凹槽型流延模。(聚合物)作為聚合物能夠利用纖維素?；锘颦h(huán)狀聚烯烴等。(纖維素酰化物)在本發(fā)明的纖維素?；镏惺褂玫孽；蔀閮HI種或者也可使用2種以上的?；?。利用2種以上的?；鶗r(shí)，優(yōu)選其中I個(gè)為こ?；?。優(yōu)選由羧酸酯化纖維素的羥基的比例，即酰基的取代度滿足整個(gè)下述公式(I) (III)。另外，在以下公式(I) (III)中，A 及B表示酰基的取代度，A為こ酰基的取代度且B為碳原子數(shù)3 22的?；娜〈取Ａ硗?，優(yōu)選，三醋酸纖維素(cellulose triacetate,TAC)的90質(zhì)量％以上為0. Imm 4mm的顆粒。(I) 2. 0 彡 A+B 彡 3. 0(II) I. 0 ^ A ^ 3. 0(III)O ^ B ^ 2. 0酰基的總?cè)〈華+B更優(yōu)選為2. 20以上2. 90以下，尤其優(yōu)選為2. 40以上2. 88以下。并且，碳原子數(shù)3 22的酰基的取代度B更優(yōu)選為0. 30以上，尤其優(yōu)選為0. 5以上。作為纖維素?；锏脑系睦w維素可為從棉絨纖維、漿料中的任何I個(gè)獲得的纖維素。作為本發(fā)明的纖維素酰化物的碳數(shù)為2以上的?；梢允侵咀寤部梢允欠蓟?，不特別限定。這些例如為纖維素的烷羰基酷、烯羰基酯或芳香族羰基酯、芳香族烷羰基酷等，可以分別具有進(jìn)ー步被取代的基團(tuán)。作為這些的優(yōu)選例子，可以舉出丙酰、丁酰、戊酰、己酰、辛酰、癸酰、十二烷酰、十三烷酰、十四烷酰、十六烷酰、十八烷酰、異丁酰、叔丁酰、 環(huán)己烷羰、油酰、苯甲酰、萘羰、肉桂酰等。這些當(dāng)中，更優(yōu)選丙酰、丁酰、十二烷酰、十八烷酰、叔丁酰、油酰、苯甲酰、萘羰、肉桂酰等，尤其優(yōu)選丙酰、丁酰。(溶劑)作為制備濃液的溶劑可以舉出芳香族烴(例如，苯、甲苯等)、鹵代烴(例如，ニ氯甲烷、氯苯等)、醇(例如，甲醇、こ醇、正丙醇、正丁醇、ニ甘醇等)、酮(例如，丙酮、甲こ酮等)、酷(例如，こ酸甲酷、こ酸こ酷、こ酸丙酯等)及醚(例如，四氫呋喃、甲基溶纖劑等) 等。另外，本發(fā)明中，濃液是指將聚合物溶解或分散于溶劑而獲得的聚合物溶液、分散液。這些中優(yōu)選使用碳原子數(shù)為I 7的鹵代烴，最優(yōu)選使用ニ氯甲烷。從TAC的溶解性、流延膜從支撐體的剝離性、膜的機(jī)械強(qiáng)度及膜的光學(xué)特性等物性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選除了ニ氯甲烷之外還混合ー種乃至數(shù)種碳原子數(shù)為I 5的醇。醇的含量?jī)?yōu)選相對(duì)于整個(gè)溶劑為2質(zhì)量％ 25質(zhì)量％，更優(yōu)選為5質(zhì)量％ 20質(zhì)量％。作為醇的具體例可以舉出甲醇、こ醇、正丙醇、異丙醇、正丁醇等，優(yōu)選使用甲醇、こ醇、正丁醇或它們的混合物。但是，最近以將對(duì)環(huán)境的影響抑制到最小限度為目的，對(duì)不使用ニ氯甲烷時(shí)的溶劑組成也正在進(jìn)行研究，對(duì)于該目的，優(yōu)選使用碳原子數(shù)為4 12的醚、碳原子數(shù)為3 12 的酮、碳原子數(shù)為3 12的酷、碳原子數(shù)為I 12的醇。有時(shí)適當(dāng)?shù)鼗旌线@些來使用。例如，可以舉出こ酸甲酷、丙酮、こ醇、正丁醇的混合溶剤。這些醚、酮、酷及醇可以具有環(huán)狀結(jié)構(gòu)。而且，具有2個(gè)以上醚、酮、酷及醇的官能團(tuán)(即，-O-、-CO-、-C00-及-0H)中的任意一種的化合物也能夠用作溶剤。(添加劑)可向濃液添加預(yù)定的添加剤。作為本發(fā)明中使用的添加劑有增塑劑、紫外線吸收劑等。作為增塑劑優(yōu)選使用縮聚酷。膜45的厚度優(yōu)選在20 ii m以上120 u m以下，更優(yōu)選40 y m以上100 u m以下。膜45的寬度優(yōu)選在700mm以上3000mm以下，更優(yōu)選IOOOmm以上2800mm以下，尤其優(yōu)選1500mm以上2500mm以下。另外，膜45的寬度也可為2500mm以上。(霧度)膜45的霧度優(yōu)選不到0. 20%，更優(yōu)選不到0. 15%，尤其優(yōu)選不到0. 10%。將霧度設(shè)為不到0. 2%，由此能夠改善組裝于液晶顯示裝置時(shí)的對(duì)比度比。并且，還有膜的透明性變得更高，更易用作光學(xué)膜之類的優(yōu)點(diǎn)。并且，膜45的面內(nèi)延遲Re優(yōu)選在20nm以上300nm以下，膜45的厚度方向延遲 Rth優(yōu)選在-IOOnm以上300nm以下。面內(nèi)延遲Re的測(cè)定方法為如下。面內(nèi)延遲Re使用了在溫度25°C、濕度60% RH 下調(diào)濕樣品膜2小吋，并用自動(dòng)雙折射儀(K0BRA21DH王子計(jì)量(株))從632. 8nm的垂直方向測(cè)定的延遲值。另外，Re由以下公式表示。Re= nl-n2 | X dnl表示慢軸的折射率，n2表示進(jìn)相軸2的折射率，d表示膜的厚度(膜厚)。厚度方向延遲Rth的測(cè)定方法為如下。從在溫度25°C、濕度60% RH下調(diào)濕樣品膜2小時(shí)，并用橢圓偏振計(jì)(M150日本分光株式會(huì)社制)根據(jù)632. Snm從垂直方向測(cè)定的值和傾斜膜面的同時(shí)相同地測(cè)定的延遲值的外插值，根據(jù)下述公式計(jì)算。Rth= {(nl+n2)/2~n3} Xdn3表示厚度方向的折射率。[實(shí)施例](實(shí)驗(yàn)I)在圖13所示的DLC膜形成裝置99中通過離子化蒸鍍法在模頭主體85形成DLC膜 86來獲得模頭82 (參考圖10)。模頭主體85利用了整個(gè)為SUS316L制，且在前端部90具有WC-Co系硬質(zhì)層92的模頭主體。硬質(zhì)層92的維氏硬度Hv為1300。關(guān)于模頭主體85， 長(zhǎng)度Lzi為2mm，長(zhǎng)度Lz2為2000mm，長(zhǎng)度Lz3為20mm。利用在不銹鋼(SUS316L)制的固定板110的表面設(shè)置有氟膜的固定件106 (參考圖14及圖15),將模頭主體85固定于祀電極 103。硬化膜形成エ序中的模頭主體85的溫度Tl為150°C 200°C。DLC膜86的膜厚D為
I. 6 レ m0(實(shí)驗(yàn)2 7)實(shí)驗(yàn)2 7中，除了表I所示的內(nèi)容之外，與實(shí)驗(yàn)I相同，在模頭主體85形成DLC 膜86獲得模頭82。[表 I]
權(quán)利要求
1.ー種流延模，其設(shè)置有包含聚合物及溶劑的濃液的流道，流出所述濃液，其特征在于包含分離并相互對(duì)向的I對(duì)側(cè)板；I對(duì)模唇板，從一方的所述側(cè)板朝向另一方的所述側(cè)板而設(shè)置并相互對(duì)向，其中，所述流道被所述I對(duì)側(cè)板及所述I對(duì)模唇板包圍而成，所述模唇板具有模唇板主體和模頭，所述模唇板主體構(gòu)成所述流道入ロ，所述模頭安裝于所述模唇板主體并構(gòu)成所述流道出ロ，所述模頭為不銹鋼制，所述模頭的截面為楔形，所述I對(duì)側(cè)板的排列方向上的所述模頭的長(zhǎng)度除以與所述排列方向正交的方向上的所述模頭的長(zhǎng)度的值為50以上；及DLC膜，設(shè)置于所述模頭的前端，且在130°C以上200°C以下的處理溫度下形成。
2.如權(quán)利要求I所述的流延模，其特征在干，所述排列方向上的所述模頭的長(zhǎng)度為1500mm以上。
3.如權(quán)利要求I所述的流延模，其特征在干，所述模頭包含由不銹鋼構(gòu)成的模頭主體和碳化鎢層，所述碳化鎢層設(shè)置于截面為楔形的所述模頭主體的前端。
4.如權(quán)利要求I所述的流延模，其特征在干，所述DLC膜的厚度為2 ii m以下。
5.一種膜的制造方法，其特征在于包含以下步驟從流延模流出濃液并在支撐體上形成由所述濃液構(gòu)成的流延膜，其中，所述濃液包含聚合物及溶劑，所述流延模具有I對(duì)側(cè)板和I對(duì)模唇板，所述I對(duì)側(cè)板分離并相互對(duì)向，所述I對(duì)模唇板從一方的所述側(cè)板朝向另一方的所述側(cè)板而設(shè)置并相互對(duì)向，所述濃液的流道被所述I對(duì)側(cè)板及所述I對(duì)模唇板包圍而成，所述模唇板具有模唇板主體和模頭，所述模唇板主體構(gòu)成所述流道入ロ，所述模頭安裝于所述模唇板主體并構(gòu)成所述流道出ロ，所述模頭為不銹鋼制，所述模頭的截面為楔形，所述I對(duì)側(cè)板的排列方向上的所述模頭的長(zhǎng)度除以與所述排列方向正交的方向上的所述模頭的長(zhǎng)度的值為50以上，所述模頭的前端上設(shè)置有在130°C以上200°C以下的處理溫度下形成的DLC膜；使所述溶劑從所述流延膜蒸發(fā)直到所述流延膜能夠獨(dú)立傳送；從所述支撐體剝離所述流延膜來作成濕潤(rùn)膜；及使所述溶劑從所述濕潤(rùn)膜蒸發(fā)來作成膜。
6.一種模頭的制造方法，其為構(gòu)成形成于流延模的所述濃液的流道出口的模頭的制造方法，所述濃液包含聚合物及溶劑，所述流道被I對(duì)側(cè)板和I對(duì)模唇板包圍而成，所述I對(duì)側(cè)板分離并相互對(duì)向，所述I對(duì)模唇板從一方的所述側(cè)板朝向另一方的所述側(cè)板而設(shè)置并相互對(duì)向，所述模唇板具有構(gòu)成所述流道入口的模唇板主體和表面設(shè)置有DLC膜的不銹鋼制的所述模頭，其特征在于，所述模頭的制造方法包含以下步驟(A)準(zhǔn)備不銹鋼制的模頭主體；及(B)通過氣相蒸鍍法在所述模頭主體的表面設(shè)置所述DLC膜來獲得所述模頭，其中，所述I對(duì)側(cè)板的排列方向上的所述模頭的長(zhǎng)度除以與所述排列方向正交的方向上的所述模頭的長(zhǎng)度的值為50以上，所述氣相蒸鍍法的處理溫度為130°C以上200°C以下。
7.如權(quán)利要求6所述的模頭的制造方法，其特征在干，所述氣相蒸鍍法為離子化蒸鍍、離子鍍及等離子CVD中的任一方法。
8.如權(quán)利要求6所述的模頭的制造方法，其特征在干，所述B步驟中，通過實(shí)施氟涂布的固定件固定靶電極和所述模頭主體，利用螺栓緊固所述模頭主體與所述固定件。
9.如權(quán)利要求8所述的模頭的制造方法，其特征在干，所述B步驟中，在所述I對(duì)側(cè)板的排列方向上并列設(shè)置的緊固部位上通過所述螺栓緊固所述模頭主體與所述支撐部件，隨著從所述I對(duì)側(cè)板的排列方向的中央部朝向兩端側(cè)所述螺栓的擰緊轉(zhuǎn)矩變得越來越小。
全文摘要
本發(fā)明提供一種流延模、模頭的制造方法及膜的制造方法，流道入口在設(shè)置有濃液流通的流道的流延模的上部開口。流道出口在流延模的下方前端部開口。流延模具有1對(duì)側(cè)板和1對(duì)模唇板。流道被1對(duì)側(cè)板與1對(duì)模唇板包圍而成。模唇板由流道的入口的構(gòu)成部件即模唇板主體和出口的構(gòu)成部件即模頭構(gòu)成。模頭通過螺栓與模唇板主體緊固。模頭包含楔形模頭主體和設(shè)置于模頭主體的整個(gè)表面的DLC膜。DLC膜通過離子蒸鍍法設(shè)置于模頭主體。
文檔編號(hào)B29C41/38GK102601906SQ20111044948
公開日2012年7月25日 申請(qǐng)日期2011年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月18日
發(fā)明者上田忠, 樋口次郎, 池邉賢治 申請(qǐng)人:富士膠片株式會(huì)社