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邊緣裂縫檢測系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9471964

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在管芯鋸切期間,管芯經(jīng)常產(chǎn)生邊緣裂縫。用于檢測邊緣裂縫的傳統(tǒng)的方法是目測,在晶圓級封裝工藝(諸如,帶和卷(tape and reel,TnR))之后,目測就不能實現(xiàn)了。因此,需要開發(fā)一種用于檢測邊緣裂縫的新方法。發(fā)明內(nèi)容為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的問題,本發(fā)明提供了一種在測試中檢測管芯中的邊緣裂縫的方法,包括接收指令信號;由所述指令信號提供功率;基于所述指令信號提供響應(yīng)信號;以及基于所述指令信號自毀。在上述方法中,還包括比較所述指令信號與查找表以確定是否提供所述響...
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