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一種銅鎳金ic封裝凸塊結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9328711

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驅(qū)動IC封裝上使用的凸塊普遍為純金,成本高,目前有一種采用銅鎳金組合來代替純金的IC封裝凸塊,可以有效降低成本,其結(jié)構(gòu)包括從下向上依次設(shè)置的載體、導(dǎo)電層、絕緣層、鈦層、第一銅層、第二銅層、鎳層和金層,所述絕緣層上設(shè)有孔,露出部分導(dǎo)電層,所述鈦層底面貼合部分導(dǎo)電層以及絕緣層的表面,但是由于不同金屬的膨脹系數(shù)不一樣,在溫度變化時,各金屬層之間產(chǎn)生應(yīng)力,很容易引起基體變形或產(chǎn)生裂紋,甚至?xí)冸x脫落,因此這種銅鎳金IC封裝凸塊的可靠性差。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明要解決的技術(shù)...
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