技術(shù)編號：9250131
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在液晶顯示裝置、有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting D1de，0LED)顯示裝置等中，陣列基板是重要部件之一。陣列基板包括多個薄膜晶體管，每個薄膜晶體管主要包括柵極、有源層、源極、漏極，柵極和有源層間設(shè)有柵絕緣層，另外薄膜晶體管還可包括設(shè)于源極/漏極和有源層間的層間絕緣層(inter-level dielectric, ILD)等其他絕緣層。在現(xiàn)有陣列基板的薄膜晶體管中，柵絕緣層由氧化硅、氮化硅等構(gòu)成，這些材料的介電常數(shù)較低，約在...
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