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半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8363151

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存儲(chǔ)裝置是使用于許多產(chǎn)品之中,例如MP3播放器、數(shù)碼相機(jī)、計(jì)算機(jī)檔案等等的儲(chǔ)存元件中。隨著存儲(chǔ)器制造技術(shù)的進(jìn)步,對(duì)于存儲(chǔ)裝置的需求也趨向較小的尺寸、較大的存儲(chǔ)容量。因應(yīng)這種需求,是需要制造高元件密度的存儲(chǔ)裝置。設(shè)計(jì)者開發(fā)一種提高存儲(chǔ)裝置密度的方法是使用三維疊層存儲(chǔ)裝置,以達(dá)到更高的存儲(chǔ)容量,同時(shí)降低每一比特的成本。因此,發(fā)展出低制造成本三維結(jié)構(gòu)集成電路存儲(chǔ)器,包括可靠度高、極小的存儲(chǔ)元件且改善與鄰近具有柵極結(jié)構(gòu)的存儲(chǔ)單元的疊層。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是有關(guān)于一種,...
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