技術(shù)編號：8197980
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及通過碳纖維強(qiáng)化的膨脹石墨膜以及在將該膨脹石墨膜用 作覆蓋碳質(zhì)坩堝的內(nèi)表面的中墊的碳質(zhì)坩堝的保護(hù)方法以及單晶拉制裝 置。背景技術(shù)膨脹石墨膜由于耐熱性良好且氣液不滲透性良好，因此在填料、閥座、 墊圈、燃料電池用分離器等中使用。另外，在專利文獻(xiàn)l中公開了一種技術(shù)，其將該膨脹石墨膜在200(TC以上的鹵素氣體氣氛下進(jìn)行高純度化處 理，從而獲得雜質(zhì)的含有量為15ppm以下的高純度膨脹石墨膜，該高純度 膨脹石墨膜也可以用于半導(dǎo)體制造工序。以下，以在半導(dǎo)體制造工序中使用的高純度膨脹石墨膜為例進(jìn)行說 明。在該半導(dǎo)...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。