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多晶硅提純用真空電子束熔煉爐的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8120415

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及多晶硅的提純設(shè)備,具體是一種多晶硅提純用真空電子束熔煉爐。 背景技術(shù)目前全球能源緊張,太陽能需求大幅度增加,制造太陽能電池的高純度硅片的需要量也大 幅度增加。原有的提純方法主要是用硅含量大于99%的金屬硅為原料,用氣相蒸餾提純法將 其提純,再經(jīng)凝固處理而獲得更高純度的硅材料。該材料主要用于半導(dǎo)體行業(yè),而切片后所 余的下腳料則可作為太陽能電池的材料使用,這樣的下腳料數(shù)量有限,滿足不了生產(chǎn)太陽能 電池的要求。另外,該方法無法避免地產(chǎn)生大量的硅垸、氯化物等污染環(huán)境的物質(zhì)。用于太陽能的硅材料中含有磷、硼、...
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