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晶圓劈裂攝像裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7876847

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技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及一種晶圓劈裂攝像裝置,特別涉及一種設(shè)于晶圓劈裂機(jī)上并對(duì)晶圓輪廓攝像的晶圓劈裂攝像裝置。背景技術(shù)晶圓 通過(guò)晶圓劈裂機(jī)分割為多個(gè)晶粒,將晶粒固設(shè)于載體上并執(zhí)行電路布設(shè),接著進(jìn)行封裝作業(yè)而制成半導(dǎo)體元件,其中,晶圓在運(yùn)送途中,會(huì)因碰撞而造成破片,由于晶圓的價(jià)格昂貴,因此破片的晶圓仍需要進(jìn)入晶圓劈裂機(jī)進(jìn)行分割作業(yè),晶圓在進(jìn)行劈裂之前,需要通過(guò)雷射切割出橫向、縱向的預(yù)切線,接續(xù)保護(hù)處理之后,再放置在晶圓劈裂機(jī)的工作臺(tái)上,并以一影像擷取單元擷取晶圓的輪廓影像,并將資料傳輸至一運(yùn)算單元,接著晶圓劈裂機(jī)上的劈...
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