技術(shù)編號(hào)：7727333
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及MEMS麥克風(fēng)領(lǐng)域，具體闡述的是MEMS麥克風(fēng)的封裝結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)通過微加工技術(shù)制造的硅麥克風(fēng)具有易實(shí)現(xiàn)小型化、高性能、多功能和集成化的優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)逐漸被廣泛應(yīng)用，但是由于需要將傳聲裝置封裝起來，所以MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems,微機(jī)電系統(tǒng))麥克風(fēng)的封裝也備受關(guān)注。[0003] 2007年7月25日公開的申請?zhí)枮?00580028321的專利，其發(fā)明名稱為"硅電容器麥克風(fēng)及制造方法"。上述專利中介...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。