技術(shù)編號：7717372
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于基于硅工藝的微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)領(lǐng)域，具體涉及一種電容式微 型硅麥克風(fēng)及其制造方法。背景技術(shù)MEMS技術(shù)是近年來高速發(fā)展的一項高新技術(shù)，與傳統(tǒng)對應(yīng)器件相比，MEMS器件在 體積、功耗、重量及價格方面都有十分明顯的優(yōu)勢，而且其采用先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝，可 以實現(xiàn)MEMS器件的批量制造，目前市場上，MEMS器件的主要應(yīng)用實例包括壓力傳感器、加 速度計及硅麥克風(fēng)等。對于硅麥克風(fēng)，將其裝配至電路板通常采用自動化表面貼裝工藝，該工藝需經(jīng)歷 高溫，而傳...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。