技術(shù)編號(hào)：7546386
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。半導(dǎo)體加工工藝傳感器以及表征用來形成半導(dǎo)體加工工藝傳感器的半導(dǎo)體加工工藝的方法。所述半導(dǎo)體加工工藝傳感器包括恒定參考電壓源，配置為產(chǎn)生恒定參考電壓信號(hào)；加工工藝傳感器元件，其耦接到所述恒定參考電壓源，并被配置為接收所述恒定參考電壓信號(hào)，感測表示用來形成所述半導(dǎo)體加工工藝傳感器的半導(dǎo)體加工工藝的加工工藝參數(shù)，并基于該感測的加工工藝參數(shù)產(chǎn)生表征用來將半導(dǎo)體加工工藝傳感器形成為額定、高于額定或低于額定中的一種的半導(dǎo)體加工工藝的加工工藝測量信號(hào)。專利說明[0001...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。