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用于制造透明導(dǎo)電氧化物多層的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7249029

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本申請涉及用于光電轉(zhuǎn)換裝置的多部件透明導(dǎo)電氧化鋅層以及其制造方法。透明導(dǎo)電氧化鋅層包括具有不同硼摻雜和濃度的至少一個(gè)基本層序列,所述基本層序列包括較薄的透明導(dǎo)電氧化鋅較高硼摻雜層(72;74)和較厚的透明導(dǎo)電氧化鋅較低硼摻雜層(73;75)。在本發(fā)明中,通過每個(gè)單獨(dú)的導(dǎo)電氧化鋅層(72,73;74,75)的摻雜密度基本上恒定,這通過有意地?fù)诫s較厚的透明導(dǎo)電氧化鋅較低硼摻雜層(73;75)來實(shí)現(xiàn)。任選地,在所述至少一個(gè)基本層序列與所述基底(71)或n摻雜硅層...
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