技術(shù)編號(hào)：7248162
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供，預(yù)先測(cè)出退火爐內(nèi)恒溫區(qū)的位置，并在碳化硅舟槳上標(biāo)識(shí)出與該位置對(duì)應(yīng)的區(qū)域，然后將兩個(gè)固定器分別固定在碳化硅舟槳上該區(qū)域的兩端。本發(fā)明通過在碳化硅舟槳對(duì)應(yīng)于退火爐內(nèi)恒溫區(qū)的區(qū)域兩端設(shè)置固定器，對(duì)恒溫區(qū)進(jìn)行明確的固定，起到防呆防錯(cuò)的效果，簡(jiǎn)化了操作，降低了管理的成本，徹底解決了硅片超出恒溫區(qū)造成電阻率不合格的問題。專利說明[0001 ] 本發(fā)明涉及。背景技術(shù)[0002]硅片是現(xiàn)代超大規(guī)模集成電路的主要襯底材料，一般通過拉晶、切片、倒角、磨片、腐蝕、熱...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。