一種硅片熱處理恒溫區(qū)的固定方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種硅片熱處理恒溫區(qū)的固定方法，預(yù)先測出退火爐內(nèi)恒溫區(qū)的位置，并在碳化硅舟槳上標(biāo)識出與該位置對應(yīng)的區(qū)域，然后將兩個固定器分別固定在碳化硅舟槳上該區(qū)域的兩端。本發(fā)明通過在碳化硅舟槳對應(yīng)于退火爐內(nèi)恒溫區(qū)的區(qū)域兩端設(shè)置固定器，對恒溫區(qū)進行明確的固定，起到防呆防錯的效果，簡化了操作，降低了管理的成本，徹底解決了硅片超出恒溫區(qū)造成電阻率不合格的問題。
【專利說明】一種硅片熱處理恒溫區(qū)的固定方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種硅片熱處理恒溫區(qū)的固定方法。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片是現(xiàn)代超大規(guī)模集成電路的主要襯底材料，一般通過拉晶、切片、倒角、磨片、腐蝕、熱處理、拋光、清洗等工藝過程制作而成。硅片熱處理是硅器件襯底加工過程中一個重要的工序，熱處理可以使硅片中的氧形成沉積，從而形成新施主，從而穩(wěn)定硅片的電阻率，對集成電路制備性能有著極為重要的影響。
[0003]硅片在熱處理過程中最主要的工藝參數(shù)是熱處理溫度650°C，熱處理需要在一個恒定且條件統(tǒng)一的溫度下進行，但是由于熱處理爐的溫場是有限的，如果硅片不能在恒定的溫場下進行退火，則無法達(dá)到熱處理的效果，導(dǎo)致氧不能完全沉淀，電阻率的穩(wěn)定性和均勻性都會受到很大的影響，大大降低了退火的效率和產(chǎn)品率。
[0004]傳統(tǒng)的恒溫區(qū)固定方法是標(biāo)識標(biāo)記法，在舟槳與設(shè)備相對的位置對退火爐內(nèi)的恒溫區(qū)對應(yīng)位置用標(biāo)簽進行標(biāo)識定位，如圖1所示，所做標(biāo)識為A、B。這種方法在實際操作中產(chǎn)生諸多問題:1、舟槳與設(shè)備的位置會有相對性，由于人員拉出舟槳不到位，則導(dǎo)致舟槳對應(yīng)恒溫區(qū)的位置變化，從而使硅片的位置超出恒溫區(qū)，導(dǎo)致退火電阻率的不合格；2、人員容易忽視標(biāo)識的位置，操作的隨意性導(dǎo)致人員對石英舟不能很好按照標(biāo)識進行擺放，導(dǎo)致個別硅片超出恒溫區(qū)的范圍，從而引起退火電阻率不合格。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種硅片熱處理恒溫區(qū)的固定方法，在硅片熱處理過程中，防止人員誤操作導(dǎo)致的硅片的電阻率均勻性不合格。
[0006]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
[0007]一種硅片熱處理恒溫區(qū)的固定方法，預(yù)先測出退火爐內(nèi)恒溫區(qū)的位置，并在碳化硅舟槳上標(biāo)識出與該位置對應(yīng)的區(qū)域，然后將兩個固定器分別固定在碳化硅舟槳上該區(qū)域的兩端。
[0008]所述固定器為石英材質(zhì)，形狀為梯形實心結(jié)構(gòu)，該梯形實心結(jié)構(gòu)的底面為粗糙面，上表面及側(cè)面為光滑面。
[0009]所述固定器的底面(粗糙面)與碳化硅舟漿的表面(磨砂面)之間的摩擦力可以實現(xiàn)固定器與碳化娃舟衆(zhòng)之間的相對固定。
[0010]本發(fā)明的優(yōu)點在于:
[0011]本發(fā)明通過在碳化硅舟槳上對應(yīng)于恒溫區(qū)的區(qū)域兩端設(shè)置固定器，對退火爐內(nèi)的恒溫區(qū)進行確定，起到防呆防錯的效果，簡化了操作，降低了管理的成本，徹底解決了硅片超出恒溫區(qū)造成電阻率不合格的問題。
【專利附圖】

【附圖說明】[0012]圖1為傳統(tǒng)的恒溫區(qū)標(biāo)記法中標(biāo)識的恒溫區(qū)位置的示意圖。
[0013]圖2為本發(fā)明的恒溫區(qū)固定器的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖3為采用本發(fā)明的恒溫區(qū)固定的效果圖。
【具體實施方式】
[0015]本發(fā)明的硅片熱處理恒溫區(qū)的固定方法包括:通過爐管溫區(qū)測試裝置預(yù)先測出退火爐內(nèi)恒溫區(qū)的位置，并在碳化硅舟槳上標(biāo)識出與該位置對應(yīng)的區(qū)域，然后將兩個固定器分別固定在碳化硅舟槳上該區(qū)域的兩端。
[0016]如圖2所示，固定器選擇梯形結(jié)構(gòu)的石英體，其底面為粗糙面，上表面及側(cè)面為光滑面，該粗糙面與碳化硅舟漿的上表面(磨砂面)之間的摩擦力可以實現(xiàn)二者之間的相對固定。固定器的尺寸根據(jù)碳化硅舟槳的尺寸進行設(shè)計。
[0017]如圖3所示，石英舟3置于碳化硅舟漿內(nèi)兩個固定器1、2之間的區(qū)域內(nèi)，碳化硅舟槳經(jīng)傳動裝置送入退火爐內(nèi)，兩個固定器1、2之間的區(qū)域恰與退火爐內(nèi)的恒溫區(qū)相對應(yīng)，使得石英舟3完全處于恒溫區(qū)內(nèi)，硅片在恒定的溫場下進行退火，大大提高了電阻率的穩(wěn)定性和均勻性，大大提高了退火的效率和產(chǎn)品率，電阻率不合格比率由原來的3.25%降到O0
[0018]由于固定器在碳化硅舟槳上準(zhǔn)確的定位出與退火爐恒溫區(qū)對應(yīng)的區(qū)域，使得操作人員每次操作均能準(zhǔn)確的將碳化硅舟槳拉至準(zhǔn)確的位置，起到防呆防錯的效果，簡化了操作，降低了管理的成本，徹底解決了硅片超出恒溫區(qū)造成電阻率不合格的問題。
【權(quán)利要求】
1.一種硅片熱處理恒溫區(qū)的固定方法，其特征在于，預(yù)先測出退火爐內(nèi)恒溫區(qū)的位置，并在碳化硅舟槳上標(biāo)識出與該位置對應(yīng)的區(qū)域，然后將兩個固定器分別固定在碳化硅舟槳上該區(qū)域的兩端。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片熱處理恒溫區(qū)的固定方法，其特征在于，所述固定器為石英材質(zhì)，形狀為梯形實心結(jié)構(gòu)，該梯形實心結(jié)構(gòu)的底面為粗糙面，上表面及側(cè)面為光滑面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片熱處理恒溫區(qū)的固定方法，其特征在于，所述固定器與碳化硅舟槳通過二者之間的摩擦力實現(xiàn)相對固定。
【文檔編號】H01L21/324GK103871872SQ201210545483
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2012年12月14日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月14日
【發(fā)明者】劉佐星, 王海濤, 魯進軍 申請人:有研半導(dǎo)體材料股份有限公司