技術(shù)編號(hào)：7212312
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體元件，特別是涉及一種控制晶體管中應(yīng)力，以提高元件的操作性能的。背景技術(shù) 現(xiàn)有習(xí)知改善晶體管操作性能的方式，是選擇性地使晶體管中通道區(qū)承受應(yīng)力。應(yīng)力會(huì)扭曲(也就是應(yīng)變)晶體管結(jié)晶晶格，且此扭曲可以依序影響能帶排列(band alignment)以及晶體管價(jià)數(shù)傳輸?shù)奶匦?。藉由控制?yīng)力的大小與分布，可以增加載子的遷移率且提高元件的操作效能。有幾種方法可以使晶體管通道區(qū)受應(yīng)力。C.H.Ge et al.等人在Process-Strained S...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。