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技術(shù)編號(hào)：7212028

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本發(fā)明屬于電子功能薄膜材料領(lǐng)域，涉及一種Si基鐵電薄膜的制備工藝，特別涉及一種Si基Bi4Ti3O12鐵電薄膜的溶膠—凝膠(“Sol-Gel”)制備方法。文獻(xiàn)[1]-[4]報(bào)道了國(guó)外sol-gel工藝制備硅基BIT鐵電薄膜的研究狀況溶膠的配制按Bi4Ti3O12(BIT)名義成分配料；采用多次勻膠，一次退火的方案成膜；退火溫度較高；基片材料多為金屬薄膜，單晶硅或陶瓷襯底。{[1]W.Wu，K.Fumoto，Y.Oishi et al.Bismuth tit...
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