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硅晶片制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7211449

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本發(fā)明涉及硅晶片的制造方法,它特別能減小當(dāng)晶片在處理爐中加熱到較高溫度時(shí),從傳送片安裝面伸出的晶片部分的向下彎曲量。背景技術(shù) 對(duì)于普通(100)面的硅晶片,具有標(biāo)明<011>取向的槽位置的產(chǎn)品(以下稱為<011>槽產(chǎn)品)是主流。近來為了提高裝置的速度,開始使用旋轉(zhuǎn)45°的晶片而標(biāo)明<010>或<001>取向的槽位置的產(chǎn)品(以下稱為<...
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