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具有順?lè)繉拥撵o電夾盤的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7209658

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本發(fā)明大體涉及半導(dǎo)體處理系統(tǒng),具體涉及制造靜電夾盤的設(shè)備和方法,該靜電夾盤用于夾箝基板和傳導(dǎo)相關(guān)聯(lián)的熱能。背景技術(shù)在制造現(xiàn)代的微電子器件中,硅晶片的處理是司空見慣。此種處理(包括等離子體處理和離子注入)可能是在低壓下進(jìn)行,其中RF或微波等離子體或者高能粒子束傳遞至晶片,從而在處理期間在晶片處產(chǎn)生高溫。然而,此種高溫可以對(duì)晶片造成有害的影響。半導(dǎo)體處理中的晶片溫度控制已經(jīng)利用靜電夾盤(electrostatic chuck, ESC) 一段時(shí)間了。典型的單極...
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