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半導體元件及其制作方法技術資料下載

技術編號:7182672

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本發(fā)明涉及一種,且特別涉及可以避免浮置基體效應 (floating body effect)的一種。背景技術在半導體制造產(chǎn)業(yè)中,如何增加半導體集成電路的操作速度為相當重要課題。絕 緣層上覆硅金屬氧化物半導體(SOI M0S)晶體管即是一種相較于體金屬氧化物半導體 (bulk M0S)晶體管具有低漏電、低柵極寄生電容、無閉鎖(latch-up free)以及高操作速度 的一種半導體元件。圖1為已知一種絕緣層上覆硅元件的剖面示意圖。請參照圖1,絕緣層上覆硅元件...
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