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低介材料及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7171901

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背景技術(shù)本發(fā)明一般涉及適用于電子器件中的材料。更具體地,本發(fā)明涉及材料以及包含所述材料的薄膜,所述薄膜具有通過(guò)較高的標(biāo)準(zhǔn)壁彈性模量(normalized wall elastic modulus)表示的改善的彈性模量和較低介電常數(shù),并涉及其制造方法。背景技術(shù)在微電子工業(yè)中,提高多層集成電路器件如存儲(chǔ)器和邏輯片中的電路密度以改善運(yùn)行速度并降低功率消耗,存在著持續(xù)的要求。為了繼續(xù)減小集成電路上的器件尺寸,使用具有低介電常數(shù)的絕緣體以降低互連金屬化的阻容(“RC...
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