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本發(fā)明涉及碳化硅半導(dǎo)體裝置，特別涉及包括JTE (Junction Termination Extension 結(jié)終端擴(kuò)展)或者FLR (Field Limiting Ring 場限環(huán))的半導(dǎo)體元件的終端結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)作為能夠?qū)崿F(xiàn)高耐壓、低損失以及高耐熱性的下一代的開關(guān)元件，使用碳化硅(SiC)形成的半導(dǎo)體元件(MOSFET (Metal oxide semiconductor field effect transistor)或 IGBT (Insulat...
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