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技術(shù)編號(hào)：7115216

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本發(fā)明一般涉及半導(dǎo)體系統(tǒng)和制造工藝的領(lǐng)域。更具體地說，本發(fā)明涉及具有肖特基壁壘金屬氧化物半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)晶體管(MOSFET)的半導(dǎo)體集成電路(IC)及其制造工藝，該肖特基壁壘金屬氧化物半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)晶體管(MOSFET)包括肖特基壁壘P型MOSFET(PMOS)，肖特基壁壘N型MOSFET(NMOS)和肖特基壁壘互補(bǔ)MOSFET(CMOS)。背景技術(shù) 自從1940年晶體管發(fā)明以來，在半導(dǎo)體和微電子領(lǐng)域表現(xiàn)出巨大的優(yōu)越性。今天，取得支配地位的半導(dǎo)體技術(shù)是CMOS...
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