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技術(shù)編號：7099003

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本發(fā)明涉及功率半導體器件，具體是一種SOI橫向超結(jié)功率MOSFET器件。背景技術(shù)功率半導體器件在國民經(jīng)濟和社會生活中發(fā)揮著越來越重要的作用，其大量用于消費類電子、工業(yè)控制和國防裝備。其中，以LDM0S(Lateral Double-diffused M0SFET)為代表的橫向功率MOSFET器件作為功率集成電路(PIC,Power Integrated Circuit)中的關(guān)鍵器件，已經(jīng)在電機控制、平板顯示驅(qū)動、電腦外設控制等領(lǐng)域得到廣泛應用。隨著功率電子...
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