技術(shù)編號(hào)：7080616
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種用于制備抗PID薄膜的裝置，包括臭氧發(fā)生器和箱體，箱體內(nèi)具有密閉的容置空間；所述箱體側(cè)面設(shè)有門；所述門的底部與箱體鉸接；門和箱體之間設(shè)有開門限位器，使門打開的角度為45~90度；所述門的內(nèi)表面設(shè)有至少1對(duì)支架，所述支架與小花籃配合，使小花籃掛設(shè)于支架上，且關(guān)門時(shí)小花籃在箱體內(nèi)處于豎直狀態(tài)。本實(shí)用新型裝置適用于目前采用干法刻蝕的太陽能電池片生產(chǎn)線，該裝置可以直接對(duì)裝載在小花籃里面的硅片進(jìn)行處理，無需任何附加的上下片操作，因此不會(huì)增加碎片風(fēng)險(xiǎn)。專利說明 ...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。