技術編號：7059354
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。提供一種用于EB或EUV平版印刷的化學放大正性抗蝕劑組合物，其包括(A)聚合物或聚合物共混物，其中聚合物或聚合物共混物的薄膜不可溶于堿性顯影劑，但是在酸的作用下變?yōu)榭扇苡谄渲校?B)酸產生劑，(C)堿性化合物，和(D)溶劑。堿性化合物(C)為包括帶有側鏈的重復單元的聚合物，并且構成作為組分(A)的一種聚合物或多種聚合物的一部分或全部，所述側鏈具有仲胺或叔胺結構作為堿性活性位點。專利說明用于EB或EUV平版印刷的化學放大正性抗蝕劑組合物和圖 案化方法[000...
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