技術(shù)編號：7059309
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的目的在于提供能夠抑制在于干燥爐內(nèi)干燥涂布有擴散劑組合物的半導(dǎo)體基板時、在干燥爐的爐內(nèi)及排氣口產(chǎn)生沉積物的擴散劑組合物、以及使用該擴散劑組合物的雜質(zhì)擴散層的形成方法。為此，本發(fā)明在含有雜質(zhì)擴散成分(A)和有機溶劑(S)的擴散劑組合物中配合作為雜質(zhì)擴散成分(A)的包含下述式(1)所示結(jié)構(gòu)單元的聚合物。式(1)中，R為氫原子或碳原子數(shù)1～5的烷基，Y為單鍵、-O-、酯鍵、或者可以具有-O-、-NH-、-C(＝O)-或酯鍵的碳原子數(shù)1～10的2價烴基，R1...
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