技術(shù)編號：7053962
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種多晶硅薄膜晶體管陣列基板及其制備方法、顯示裝置，所述方法包括形成所述多晶硅薄膜晶體管的柵電極、柵絕緣層、半導(dǎo)體層、源電極和漏電極，存儲電容的第一電極和第二電極，以及柵線和數(shù)據(jù)線的步驟，該步驟中，通過一次構(gòu)圖工藝形成所述半導(dǎo)體層及所述存儲電容的第一電極；通過一次構(gòu)圖工藝形成所述柵電極、柵線及所述存儲電容的第二電極。使用本發(fā)明的方案能夠降低掩膜板的使用數(shù)量，使得工藝簡化，降低了生產(chǎn)成本。專利說明—種多晶硅薄膜晶體管陣列基板及其制備方法、顯示裝置 ...
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