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基板前處理方法及裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7050794

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本發(fā)明提供一種基板前處理方法及裝置,所述方法包括如下步驟步驟1、提供待前處理的基板、UV室及裝載室;步驟2、在UV室與裝載室之間設(shè)置一傳遞室連接該UV室與裝載室,在UV室與傳遞室之間連接處設(shè)置第一封閉門(mén),在傳遞室與裝載室之間連接處設(shè)置第二封閉門(mén);所述傳遞室在關(guān)閉第一與第二封閉門(mén)后形成密閉室。步驟3、將待前處理的基板送入U(xiǎn)V室;步驟4、關(guān)閉UV室,在UV室內(nèi)通入干燥的氧氣后進(jìn)行UV處理;步驟5、UV處理結(jié)束后,打開(kāi)第一封閉門(mén),將基板送入傳遞室;步驟6、在基板...
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