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GaN基發(fā)光二極管的外延片及其制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7049770

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本發(fā)明公開了一種,屬于半導(dǎo)體。所述外延片包括襯底、生長(zhǎng)在襯底上的緩沖層、N型氮化鎵層、多量子阱層、復(fù)合層和P型氮化鎵層,復(fù)合層包括多個(gè)周期,每個(gè)周期中的復(fù)合層包括插入層和電子阻擋層,從多量子阱層一側(cè)開始,插入層和電子阻擋層依次層疊布置,插入層為Al元素?fù)诫s的氧化鋅層。本發(fā)明通過Al元素?fù)诫s的ZnO插入層成為載流子的蓄積層,蓄積后的載流子迅速在二維平面內(nèi)鋪展,增強(qiáng)抗靜電擊穿能力,電子阻擋層可以有效地阻擋電子溢流,且ZnO與多量子阱層中的采用GaN層的量子壘層...
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