技術(shù)編號：7041158
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種卡盤工作臺，裝備于加工裝置且能可靠確認(rèn)形成于被加工物的分割槽。該卡盤工作臺具備保持被加工物的保持工作臺和支承保持工作臺的工作臺基座，保持工作臺包括復(fù)合玻璃板，具有多孔質(zhì)板和收納板，多孔質(zhì)板由允許空氣從正面流動至背面的多孔質(zhì)玻璃形成，收納板由玻璃形成,具有收納多孔質(zhì)板的收納凹部并具備向多孔質(zhì)板傳遞抽吸力的抽吸孔；和環(huán)狀支承座，具備復(fù)合玻璃板支承部和圍繞復(fù)合玻璃板形成的環(huán)狀支承部，復(fù)合玻璃板支承部支承復(fù)合玻璃板外周部并具備與抽吸孔連通的連通孔，工...
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