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技術(shù)編號：7037399

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一種MOSFET(1)，設(shè)置有襯底(10)；柵極絕緣膜(20)；柵電極(30)；形成在柵極絕緣膜(20)上以圍繞柵電極(30)的層間絕緣膜(40)；包含Ti和N且不包含Al的緩沖膜(51)；以及包含Ti、Al和Si的源電極(52)。MOSFET(1)具有其中形成的接觸孔(80)，所述接觸孔貫穿層間絕緣膜(40)，暴露襯底(10)的主表面(10A)，并且與柵電極(30)隔開。緩沖膜(51)形成為與接觸孔(80)的側(cè)壁表面(80A)接觸。在襯底(10)的主表面...
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