技術(shù)編號：7030345
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型提供一種可以降低晶圓表面沾污的倒片機(jī)，該倒片機(jī)包括槽體、以及設(shè)置在該槽體內(nèi)的倒片翻轉(zhuǎn)裝置，該倒片翻轉(zhuǎn)裝置包括支架和底板，該底板通過轉(zhuǎn)軸安裝在支架上，該底板的一側(cè)安裝有一把手，推動該把手可使底板繞轉(zhuǎn)軸擺動。本實用新型在晶圓轉(zhuǎn)移過程中晶圓完全浸沒在水中，晶圓通過重力自然滑落到清洗花籃中，除花籃外晶圓不與其他物體接觸，最大限度降低了晶圓沾污機(jī)會，提高了晶圓清洗效果。專利說明一種可以降低晶圓表面沾污的倒片機(jī)[0001]本實用新型涉及一種倒片機(jī)，尤其涉及一...
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