技術(shù)編號：7015043
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種TCO（透明導(dǎo)電氧化物）薄膜及其制備方法。該TCO薄膜由下至上包括三層含有摻雜物的氧化鋅薄膜層，且每層氧化鋅薄膜層中摻雜物在氧化鋅中的原子比例各不相同。該制備方法在薄膜生長過程中通過調(diào)節(jié)摻雜氣體流量，形成中間和界面不同摻雜濃度的多層結(jié)構(gòu)，調(diào)制TCO薄膜表面微觀結(jié)構(gòu)和光學(xué)性能。本發(fā)明在維持TCO膜層及其界面良好導(dǎo)電性的同時，可大大提高膜層的陷光效果，改善近紅外光區(qū)域的光學(xué)透過率，其400-1100nm波段霧度平均值由27.3%提升至34.9%...
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