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技術(shù)編號：7000712

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本發(fā)明涉及，特別涉及使用鐵電材料作為電容器的介電膜的非易失性半導(dǎo)體存儲器(FeRAM鐵電隨機存取存儲器)的制造方法。背景技術(shù) 制造FeRAM的存儲芯片之后，進行監(jiān)控器測試(monitor test)和器件測試(device test)以便確定是否可以將芯片交貨。附圖說明圖1示出了含有這些測試的FeRAM制造步驟的流程圖。通過依次進行形成控制MOS晶體管的CMOS工藝、在控制MOS晶體管上形成鐵電容器的鐵電工藝、以及在電容器上形成布線的布線工藝而完成FeRA...
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