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腔式石墨舟的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6998243

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本發(fā)明涉及石墨舟,尤其涉及一種腔式石墨舟。 背景技術(shù)石墨舟是給太陽(yáng)能電池片中的硅片鍍膜的載體,現(xiàn)有的太陽(yáng)能電池片PECVD所用石墨舟均為管式石墨舟,其舟片數(shù)通常為11至19片,且石墨舟的兩個(gè)電極均在石墨舟的同一側(cè),分為上電極和下電極?,F(xiàn)有的管式石墨舟,由于其舟片數(shù)相對(duì)較少,兩個(gè)電極在同一側(cè),而且管式石墨舟的容量較小,導(dǎo)致石墨舟加工硅片時(shí)反應(yīng)速度慢,加工時(shí)間長(zhǎng),生產(chǎn)效率低。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的主要目的在于提供一種載片量大、生產(chǎn)效率高的腔式石墨舟。為了達(dá)到上述目的...
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