專利名稱：腔式石墨舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及石墨舟技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種腔式石墨舟。
背景技術(shù)：
石墨舟是給太陽能電池片中的硅片鍍膜的載體，現(xiàn)有的太陽能電池片PECVD所用石墨舟均為管式石墨舟，其舟片數(shù)通常為11至19片，且石墨舟的兩個(gè)電極均在石墨舟的同一側(cè)，分為上電極和下電極?，F(xiàn)有的管式石墨舟，由于其舟片數(shù)相對(duì)較少，兩個(gè)電極在同一側(cè)，而且管式石墨舟的容量較小，導(dǎo)致石墨舟加工硅片時(shí)反應(yīng)速度慢，加工時(shí)間長，生產(chǎn)效率低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于提供一種載片量大、生產(chǎn)效率高的腔式石墨舟。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提出一種腔式石墨舟，包括舟片、位于所述石墨舟左右兩端的左、右電極，所述舟片包括與所述左電極導(dǎo)電連接的左電極片以及與所述右電極導(dǎo)電連接的右電極片。優(yōu)選地，所述左電極片與右電極片間隔排列，各左電極片及右電極片之間通過陶瓷桿連接；所述陶瓷桿上套有陶瓷套。優(yōu)選地，所述舟片通過設(shè)置在該舟片一側(cè)的連接片與相應(yīng)電極導(dǎo)電連接。優(yōu)選地，每一舟片一側(cè)的連接片包括上下兩個(gè)，各舟片的連接片之間通過石墨隔塊隔離。優(yōu)選地，位于舟片上面的連接片之間的石墨隔塊上設(shè)有用于測(cè)定石墨舟舟號(hào)并記錄石墨舟使用次數(shù)的舟號(hào)柱。優(yōu)選地，還包括支撐腳，在石墨舟的左右兩端各設(shè)有兩個(gè)，每一端的兩所述支撐腳分別設(shè)置在所述左電極或右電極的兩側(cè)。優(yōu)選地，所述支撐腳底部設(shè)有與外部運(yùn)轉(zhuǎn)小車上固定柱配合的圓弧形凹槽。優(yōu)選地，所述舟片數(shù)量為21-41片。優(yōu)選地，所述舟片上設(shè)有裝載硅片的硅片位，每個(gè)舟片上設(shè)有至少6個(gè)硅片位。優(yōu)選地，所述硅片位為凹槽；所述凹槽為鏤空或不鏤空。本發(fā)明提出的一種腔式石墨舟，通過將石墨舟的兩電極設(shè)置在石墨舟的左右兩端，改變現(xiàn)有的石墨舟的電極結(jié)構(gòu)，各舟片相應(yīng)分為與左電極連接的左電極片以及與右電極連接的右電極片，使得石墨舟工作時(shí)反應(yīng)速度快，鍍膜時(shí)間短，而且石墨舟的舟片數(shù)可以增加至21到41片，同時(shí)還在石墨舟的石墨隔塊上設(shè)置用于測(cè)定石墨舟舟號(hào)并記錄石墨舟使用次數(shù)的舟號(hào)柱，使得石墨舟更加智能化，其自動(dòng)化程度更高；另外石墨舟的支撐腳可以固定在運(yùn)轉(zhuǎn)小車上，提高了石墨舟的使用安全性，因此，本發(fā)明不僅結(jié)構(gòu)新穎，安全可靠，而且極大的提高了生產(chǎn)效率。


圖1是本發(fā)明腔式石墨舟一實(shí)施例的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明腔式石墨舟一實(shí)施例的主視圖。為了使本發(fā)明的技術(shù)方案更加清楚、明了，下面將結(jié)合附圖作進(jìn)一步詳述。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明技術(shù)方案總體思路是通過在。以下將結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)實(shí)現(xiàn)發(fā)明目的的技術(shù)方案作詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。如圖1及圖2所示，本發(fā)明一實(shí)施例提出一種腔式石墨舟，包括舟片10、位于石墨舟左右兩端的左、右電極40、50，舟片10包括與左電極40導(dǎo)電連接的左電極片102以及與右電極40導(dǎo)電連接的右電極片103。其中，左電極片102與右電極片103間隔排列，各左電極片102及右電極片103之間通過陶瓷桿(圖中未示出)連接；陶瓷桿上套有陶瓷套。在本實(shí)施例中，每一舟片10的一側(cè)均設(shè)有兩個(gè)連接片101，通過該連接片101與相應(yīng)電極導(dǎo)電連接。具體地，對(duì)于左電極片102，在其左端上下分別設(shè)有兩個(gè)連接片101，各左電極片102的連接片101之間通過石墨隔塊60隔離，各連接片101通過石墨隔塊60與位于下方的左電極40導(dǎo)電連接。同理，對(duì)于右電極片103依此原理設(shè)置。石墨舟的左右兩端各設(shè)有兩個(gè)支撐腳20，每一端的兩支撐腳20分別設(shè)置在左電極40或右電極50的兩側(cè)，即左電極40的兩側(cè)分別設(shè)置有一個(gè)支撐腳20 ；右電極50的兩側(cè)分別設(shè)置有一個(gè)支撐腳20。本實(shí)施例中，支撐腳20的底部設(shè)有圓弧形凹槽201，其作用是在運(yùn)輸石墨舟至 PECVD真空鍍膜設(shè)備時(shí)，通過支撐腳20底部的圓弧形凹槽201與外部運(yùn)轉(zhuǎn)小車上固定柱配合，將石墨舟固定在運(yùn)轉(zhuǎn)小車上，然后通過運(yùn)轉(zhuǎn)小車將石墨舟送至PECVD真空鍍膜設(shè)備對(duì)硅片進(jìn)行鍍膜加工，從而提高了石墨舟的使用安全性。此外，為了實(shí)現(xiàn)石墨舟的智能化工作，提高石墨舟的自動(dòng)化程度，本實(shí)施例在位于舟片10上面的連接片101之間的石墨隔塊上設(shè)有舟號(hào)柱70，用于測(cè)定石墨舟舟號(hào)并記錄石墨舟使用次數(shù)。具體地，可以在石墨舟的一側(cè)石墨隔塊上設(shè)置八個(gè)舟號(hào)柱70，使PECVD真空鍍膜設(shè)備自動(dòng)測(cè)定石墨舟舟號(hào)并記錄石墨舟的使用次數(shù)，其中，舟號(hào)柱70可以通過螺紋固定在石墨隔塊60上，并可拆卸。PECVD真空鍍膜設(shè)備根據(jù)石墨舟上是否有舟號(hào)柱70進(jìn)行編號(hào)， 其編號(hào)的原理與計(jì)算機(jī)二進(jìn)制一樣，編號(hào)包括1和0，石墨舟上有舟號(hào)柱時(shí)為1，沒有舟號(hào)柱時(shí)為0，通過舟號(hào)柱上標(biāo)識(shí)的編號(hào)即可測(cè)定石墨舟舟號(hào)并記錄石墨舟的使用次數(shù)。本實(shí)施例腔式石墨舟的舟片數(shù)量可達(dá)21-41片。每個(gè)舟片10可以設(shè)置至少6個(gè)用于裝載硅片的硅片位30。具體地，比如，對(duì)于裝載125mm*125mm尺寸規(guī)格的硅片的石墨舟而言，每個(gè)舟片10可以具有7-14個(gè)硅片位30 ；對(duì)于裝載156mm*156mm尺寸規(guī)格的硅片的石墨舟而言，每個(gè)舟片10可以具有6-13個(gè)硅片位30。其中，硅片位30可以為凹槽；凹槽可以為鏤空或不鏤空。先比現(xiàn)有的管式石墨舟，本發(fā)明腔式石墨舟，通過將石墨舟的兩電極設(shè)置在石墨舟的左右兩端，改變現(xiàn)有的石墨舟的電極結(jié)構(gòu)，各舟片相應(yīng)分為與左電極連接的左電極片以及與右電極連接的右電極片，使得石墨舟工作時(shí)反應(yīng)速度快，鍍膜時(shí)間短，而且石墨舟的舟片數(shù)可以增加至21到41片，同時(shí)還在石墨舟的石墨隔塊上設(shè)置用于測(cè)定石墨舟舟號(hào)并記錄石墨舟使用次數(shù)的舟號(hào)柱，使得石墨舟更加智能化，其自動(dòng)化程度更高；另外石墨舟的支撐腳可以固定在運(yùn)轉(zhuǎn)小車上，提高了石墨舟的使用安全性，因此，本發(fā)明不僅結(jié)構(gòu)新穎， 安全可靠，而且極大的提高了生產(chǎn)效率。 以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是利用本發(fā)明說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種腔式石墨舟，包括舟片，其特征在于，還包括位于所述石墨舟左右兩端的左、 右電極，所述舟片包括與所述左電極導(dǎo)電連接的左電極片以及與所述右電極導(dǎo)電連接的右電極片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述左電極片與右電極片間隔排列，各左電極片及右電極片之間通過陶瓷桿連接；所述陶瓷桿上套有陶瓷套。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述舟片通過設(shè)置在該舟片一側(cè)的連接片與相應(yīng)電極導(dǎo)電連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的腔式石墨舟，其特征在于，每一舟片一側(cè)的連接片包括上下兩個(gè)，各舟片的連接片之間通過石墨隔塊隔離。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的腔式石墨舟，其特征在于，位于舟片上面的連接片之間的石墨隔塊上設(shè)有用于測(cè)定石墨舟舟號(hào)并記錄石墨舟使用次數(shù)的舟號(hào)柱。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的腔式石墨舟，其特征在于，還包括支撐腳，在石墨舟的左右兩端各設(shè)有兩個(gè)，每一端的兩所述支撐腳分別設(shè)置在所述左電極或右電極的兩側(cè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述支撐腳底部設(shè)有與外部運(yùn)轉(zhuǎn)小車上固定柱配合的圓弧形凹槽。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述舟片數(shù)量為21-41片。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述舟片上設(shè)有裝載硅片的硅片位，每個(gè)舟片上設(shè)有至少6個(gè)硅片位。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的腔式石墨舟，其特征在于，所述硅片位為凹槽；所述凹槽為鏤空或不鏤空。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種腔式石墨舟，包括舟片、位于石墨舟左右兩端的左、右電極，舟片包括與左電極導(dǎo)電連接的左電極片以及與右電極導(dǎo)電連接的右電極片。本發(fā)明通過將石墨舟的兩電極設(shè)置在石墨舟的左右兩端，改變現(xiàn)有的石墨舟的電極結(jié)構(gòu)，各舟片相應(yīng)分為與左電極連接的左電極片以及與右電極連接的右電極片，使得石墨舟工作時(shí)反應(yīng)速度快，鍍膜時(shí)間短，而且石墨舟的舟片數(shù)可以增加至21到41片，同時(shí)還在石墨舟的石墨隔塊上設(shè)置用于測(cè)定石墨舟舟號(hào)并記錄石墨舟使用次數(shù)的舟號(hào)柱，使得石墨舟更加智能化；另外石墨舟的支撐腳可以固定在運(yùn)轉(zhuǎn)小車上，提高了石墨舟的使用安全性，因此，本發(fā)明不僅結(jié)構(gòu)新穎，安全可靠，而且極大的提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)H01L31/18GK102181846SQ20111008240
公開日2011年9月14日 申請(qǐng)日期2011年4月1日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月1日
發(fā)明者張志勇 申請(qǐng)人:石金精密科技(深圳)有限公司