技術(shù)編號：6997641
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及，特別是涉及具有接觸窗的。背景技術(shù)隨著集成電路的發(fā)展，從大型集成電路(large scale integration)、超大型集成電！？各(very large scale integration)/^ ! ^ ^)(ultra largescale integration)，半導(dǎo)體元件尺寸皆大幅縮小，以配合日益縮減的集成電路面積。集成度的提升為半導(dǎo)體制作工藝帶來許多的挑戰(zhàn)。隨著微縮化的趨勢，技術(shù)的發(fā)展方向主要是集中在使用淺接面(shallow)...
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